Контроллер осаждения тонких пленок INFICON серии Guardian EIES купить по цене производителя

Одновременное нанесение до восьми материалов

Идеально подходит для тонких пленок CIGS

Guardian может контролировать скорость осаждения от 0,1 до 10 000 Å/с. Он управляет одним или двумя датчиками, имеет до 8 оптических входов и контролирует до 8 источников напыления, что позволяет совмещать до 8 материалов в покрытии.

INFICON Guardian идеально подходит для таких применений, как изготовление фотоэлектрических модулей, OLED дисплеев, фотоэлектрических элементов, сверхпроводящих тонких пленок и MBE.

Система совместного осаждения Guardian основана на спектроскопии эмиссии электронного удара (EIES). При использовании EIES осаждаемый материал возбуждается термоэлектронным эмиттером, что приводит к выделению фотонов. Создаваемый свет проходит через оптический фильтр к детектору с фотоумножителем (ФЭУ), который измеряет интенсивность излучения на прошедшей длине волны. Затем INFICON Guardian Controller генерирует сигнал для управления источником этого материала. Дополнительные детекторы с соответствующими оптическими фильтрами используются для нескольких материалов.

Полноценная система Guardian состоит как минимум из одного датчика, одного детектора ФЭУ, оптического фильтра, блока контроллера Guardian и ПК (предоставляется пользователем) с программным обеспечением Guardian. EIES обычно используется для управления осаждением нескольких материалов, поэтому большинство систем EIES включают дополнительные датчики, детекторы, оптические компоненты, такие как светоделители, и QCM датчики для калибровки или контроля скорости осаждения некоторых материалов. Более подробную информацию о системах можно найти в Руководстве по настройке Guardian.
Чтобы настроить систему одновременного осаждения Guardian, примите во внимание следующее:
Какая длина волн первичного и вторичного излучения ваших материалов осаждения?

Если у разных материалов пики слишком близки друг к другу, вам может потребоваться следить за длиной волны вторичной эмиссии, которая имеет более низкий уровень сигнала.

Какие фоновые газы присутствуют в вашей вакуумной камере в процессе осаждения и какие длины волн излучения этих газов?

Если эмиссия фоновых газов влияет на осаждаемые материалы, рекомендуется использовать газокомпенсирующий датчик.

EIES наиболее эффективен с однозначно определенными спектрами атомных частиц. Молекулярные частицы, которые генерируют нестабильные или широкие спектры излучения, не могут быть точно измерены. EIES не рекомендуется для органических материалов. Эти и другие факторы определяют оптимальную конфигурацию системы EIES для каждого конкретного применения..

Особенности

Мониторинг и контроль одновременного нанесения до 8 материалов;
Скорость осаждения от 0,1 до 10 000 Å/с;
Интегрированный контроль процесса тонких пленок EIES и QCM;
12 релейных выходов и 12 цифровых входов;
Программное обеспечение на базе Windows для настройки и работы;
Совместимость с сенсорами INFICON Sentinel.

Характеристики

Тип	Контроллер Guardian EIES
Артикул	782-900-031 Контроллер Guardian для одного датчика (стандартный или с газовой компенсацией) 782-900-050 Контроллер Guardian для двух датчиков (стандартный или с газовой компенсацией)
Сенсоры
Рабочее давление	<5x10^-4 Торр
Температура	450 °C максимум во время работы или во время прогрева
Размер (приблизительно)	0.75 дюйм. x 1.25 дюйм. x 1.75 дюйм. (19 мм x 32 мм x 45 мм)
Срок службы Нити накаливания (стандартно)	~1000 часов при эмиссии 2мA (Иттрий), 4мA для Тория
Сквозное соединение датчика	Жесткая трубка из нержавеющей стали, регулируемая от 175 до 550 мм (от 7 до 22 дюймов)
Ввод / Фланец	Один оптический и четыре электрических ввода на 2,75 дюйма CF (NW35CF)
Детектор
Фотоэлектронный умножитель (ФЭУ)	Hamamatsu R7518 или аналогичный
Спектральный отклик	185 до 730 нм
Предел обнаружения	Входная оптическая мощность не более 5 фВт
Усиление PMT	10³ до 10⁷ (детекторы настраиваются независимо)
Выходное разрешение	20-бит
Оптический входной порт	Встроенный держатель фильтра. Подходит для фильтров диаметром до 1 дюйма (25 мм) и толщиной 0,2 дюйма (5 мм)
Размер	2 дюйм. x 5.5 дюйм. x 2.75 дюйм. (50 мм x 140 мм x 70 мм) монтажные отверстия с трех сторон (доступны дополнительные монтажные кронштейны)
Контроллеры
Датчики	016-600-G22: Стандартный датчик в сборе 22 дюйма 016-601-G22: Датчик газовой компенсации в сборе 22 дюйма.
Детекторы	Восемь оптических детектор-каналов
Управляющие выходы	Восемь выходов управления источником, программируемые от 0 до ± 10 В (DC)
Цифровой ввод / вывод	12 релейных выходов и 12 логических входов
Питание	100-240 В AC, 50/60Гц, 150 Вт
Размер	19 дюйм. x 3.5 дюйм. x 12 дюйм. (483 мм x 89 мм x 305 мм)
Соответствие стандартом	CE
ПО пользовательского интерфейса:	Программа установки на базе Windows^®, установленная на контроллер
ПО отображает скорость осаждения:	4-значное числовое отображение всех каналов от 0,001 до 9999 Å/с и график прокрутки X-Y с возможностью масштабирования.
ПО отображает толщину покрытия:	4-значный цифровой дисплей с возможностью выбора диапазона от 0,001 до 9999 KÅ
Компьютер предоставляется пользователем:	Любой ПК с операционной системой Windows Vista / XP / 2000 и интерфейсом Ethernet или RS-232

Аксессуары

Каталожный номер	Описание
EIES Сенсоры
016-600-G22	Стандартный одинарный датчик Guardian и ввод в сборе, 22 дюйма (539 мм), фланец CF40
016-601-G22	Датчик компенсации газа и ввод, 22 дюйма (539 мм), фланец CF40
Светоотделители	Оптоволоконные светоотделители отделяют луч света от датчика, что позволяет измерять несколько материалов с помощью одного датчика EIES.
782-900-034	Оптоволоконный светоотделитель Guardian (1:3) - 400 мм длина
782-900-034-x-yyy	Оптоволоконный светоотделитель Guardian (1:x) - yyy мм длина
Кабели накаливания	Подключает датчик EIES к контроллеру Guardian
600-1406-P10	Кабель Guardian с 1 нитью, 3 м (10 футов) - для стандартного датчика EIES
600-1406-P40	Кабель Guardian с 1 нитью, 12 м (40 футов) - для стандартного датчика EIES
600-1407-P10	Кабель Guardian с 2 нитями, 10 футов (3 м) - для газокомпенсирующего датчика EIES
600-1407-P40	Кабель Guardian с 2 нитями, 40 футов (12 м) - для газокомпенсирующего датчика EIES
Детектор ФЭУ
782-900-030	Детектор ФЭУ Guardian
Кабели для детекторов ФЭУ	Подключает детектор PMT к контроллеру Guardian
782-505-065	Кабель детектора Guardian 10 футов (3 м)
782-505-065-40	Кабель детектора Guardian 40 футов (12 м)
Оптические фильтры	Выберите длину волны, подходящую для вашего материала
782-900-035-202	Оптический фильтр - 202нм, BP10нм (Zn)
782-900-035-241	Оптический фильтр - 241нм, BP10нм (Co, Au)
782-900-035-252	Оптический фильтр - 252нм, BP10нм, (Si)
782-900-035-265	Оптический фильтр - 265нм, BP10нм, (Ge, Pt, Ta, Ir)
782-900-035-267	Оптический фильтр, 267 нм, Guardian
782-900-035-294	Оптический фильтр 294нм, BP2нм, (Hf) (Ga [при использовании газокомпенсирующего датчика])
782-900-035-304	Оптический фильтр 304нм, BP2нм (Ba, In [при использовании газокомпенсирующего датчика])
782-900-035-325	Оптический фильтр - 325нм, BP10нм (Cu, Cd)
782-900-035-358	Оптический фильтр - 358нм, BP10нм, (Nb, U, Cr)
782-900-035-364	Оптический фильтр - 364нм, BP10нм (Ti, Pb)
782-900-035-396	Оптический фильтр - 396нм, BP10нм, (Al)
782-900-035-417	Оптический фильтр - 417нм, BP2нм, (Ga)
782-900-035-451	Оптический фильтр - 451нм, BP5нм, (In)
782-900-070	Комплект монохроматора Guardian

Запасные части

Каталожный номер	Описание
016-201-G1	Эмиттер в сборе для всех датчиков 016-400-Gx, используемых в 016-600-Gxx и -601-Gxx
782-900-038	Сменная трубка фотоумножителя Guardian
016-509-G22	Вакуумный кабель для датчика Guardian EIES, 22 дюйма (559 мм), доступны другие длины
782-530-015	Сменная нить датчика Guardian (для снятых с производства датчиков 782-900-029 и -052)

Контроллер осаждения тонких пленок INFICON серии Guardian EIES

Одновременное нанесение до восьми материалов

Особенности

Характеристики

Аксессуары

Запасные части

Оформить заказ