- Главная
- Производители
- Каталог оборудования INFICON
- Системы контроля толщины тонких пленок во время напыления INFICON
- Контроллеры осаждения тонких пленок INFICON
- Контроллер осаждения тонких пленок INFICON серии Guardian EIES
Контроллер осаждения тонких пленок INFICON серии Guardian EIES
Одновременное нанесение до восьми материалов Идеально подходит для тонких пленок CIGS Guardian может контролировать скорость осаждения от 0,1 до 10 0...
Контроллер осаждения тонких пленок INFICON серии Guardian EIES
Одновременное нанесение до восьми материалов
Идеально подходит для тонких пленок CIGS
Guardian может контролировать скорость осаждения от 0,1 до 10 000 Å/с. Он управляет одним или двумя датчиками, имеет до 8 оптических входов и контролирует до 8 источников напыления, что позволяет совмещать до 8 материалов в покрытии.
INFICON Guardian идеально подходит для таких применений, как изготовление фотоэлектрических модулей, OLED дисплеев, фотоэлектрических элементов, сверхпроводящих тонких пленок и MBE.
Система совместного осаждения Guardian основана на спектроскопии эмиссии электронного удара (EIES). При использовании EIES осаждаемый материал возбуждается термоэлектронным эмиттером, что приводит к выделению фотонов. Создаваемый свет проходит через оптический фильтр к детектору с фотоумножителем (ФЭУ), который измеряет интенсивность излучения на прошедшей длине волны. Затем INFICON Guardian Controller генерирует сигнал для управления источником этого материала. Дополнительные детекторы с соответствующими оптическими фильтрами используются для нескольких материалов.
Полноценная система Guardian состоит как минимум из одного датчика, одного детектора ФЭУ, оптического фильтра, блока контроллера Guardian и ПК (предоставляется пользователем) с программным обеспечением Guardian. EIES обычно используется для управления осаждением нескольких материалов, поэтому большинство систем EIES включают дополнительные датчики, детекторы, оптические компоненты, такие как светоделители, и QCM датчики для калибровки или контроля скорости осаждения некоторых материалов. Более подробную информацию о системах можно найти в Руководстве по настройке Guardian.
Чтобы настроить систему одновременного осаждения Guardian, примите во внимание следующее:
- Какая длина волн первичного и вторичного излучения ваших материалов осаждения?
- Если у разных материалов пики слишком близки друг к другу, вам может потребоваться следить за длиной волны вторичной эмиссии, которая имеет более низкий уровень сигнала.
- Какие фоновые газы присутствуют в вашей вакуумной камере в процессе осаждения и какие длины волн излучения этих газов?
- Если эмиссия фоновых газов влияет на осаждаемые материалы, рекомендуется использовать газокомпенсирующий датчик.
EIES наиболее эффективен с однозначно определенными спектрами атомных частиц. Молекулярные частицы, которые генерируют нестабильные или широкие спектры излучения, не могут быть точно измерены. EIES не рекомендуется для органических материалов. Эти и другие факторы определяют оптимальную конфигурацию системы EIES для каждого конкретного применения..
Особенности
- Мониторинг и контроль одновременного нанесения до 8 материалов;
- Скорость осаждения от 0,1 до 10 000 Å/с;
- Интегрированный контроль процесса тонких пленок EIES и QCM;
- 12 релейных выходов и 12 цифровых входов;
- Программное обеспечение на базе Windows для настройки и работы;
- Совместимость с сенсорами INFICON Sentinel.
Характеристики
|
Тип |
Контроллер Guardian EIES |
|---|---|
|
Артикул |
782-900-031 Контроллер Guardian для одного датчика (стандартный или с газовой компенсацией) 782-900-050 Контроллер Guardian для двух датчиков (стандартный или с газовой компенсацией) |
|
Сенсоры |
|
|
Рабочее давление |
<5x10-4 Торр |
|
Температура |
450 °C максимум во время работы или во время прогрева |
|
Размер (приблизительно) |
0.75 дюйм. x 1.25 дюйм. x 1.75 дюйм. (19 мм x 32 мм x 45 мм) |
|
Срок службы Нити накаливания (стандартно) |
~1000 часов при эмиссии 2мA (Иттрий), 4мA для Тория |
|
Сквозное соединение датчика |
Жесткая трубка из нержавеющей стали, регулируемая от 175 до 550 мм (от 7 до 22 дюймов) |
|
Ввод / Фланец |
Один оптический и четыре электрических ввода на 2,75 дюйма CF (NW35CF) |
|
Детектор |
|
|
Фотоэлектронный умножитель (ФЭУ) |
Hamamatsu R7518 или аналогичный |
|
Спектральный отклик |
185 до 730 нм |
|
Предел обнаружения |
Входная оптическая мощность не более 5 фВт |
|
Усиление PMT |
103 до 107 (детекторы настраиваются независимо) |
|
Выходное разрешение |
20-бит |
|
Оптический входной порт |
Встроенный держатель фильтра. Подходит для фильтров диаметром до 1 дюйма (25 мм) и толщиной 0,2 дюйма (5 мм) |
|
Размер |
2 дюйм. x 5.5 дюйм. x 2.75 дюйм. (50 мм x 140 мм x 70 мм) монтажные отверстия с трех сторон (доступны дополнительные монтажные кронштейны) |
|
Контроллеры |
|
|
Датчики |
016-600-G22: Стандартный датчик в сборе 22 дюйма 016-601-G22: Датчик газовой компенсации в сборе 22 дюйма. |
|
Детекторы |
Восемь оптических детектор-каналов |
|
Управляющие выходы |
Восемь выходов управления источником, программируемые от 0 до ± 10 В (DC) |
|
Цифровой ввод / вывод |
12 релейных выходов и 12 логических входов |
|
Питание |
100-240 В AC, 50/60Гц, 150 Вт |
|
Размер |
19 дюйм. x 3.5 дюйм. x 12 дюйм. (483 мм x 89 мм x 305 мм) |
|
Соответствие стандартом |
CE |
|
ПО пользовательского интерфейса: |
Программа установки на базе Windows®, установленная на контроллер |
|
ПО отображает скорость осаждения: |
4-значное числовое отображение всех каналов от 0,001 до 9999 Å/с и график прокрутки X-Y с возможностью масштабирования. |
|
ПО отображает толщину покрытия: |
4-значный цифровой дисплей с возможностью выбора диапазона от 0,001 до 9999 KÅ |
|
Компьютер предоставляется пользователем: |
Любой ПК с операционной системой Windows Vista / XP / 2000 и интерфейсом Ethernet или RS-232 |
Аксессуары
|
Каталожный номер |
Описание |
|---|---|
|
EIES Сенсоры |
|
|
016-600-G22 |
Стандартный одинарный датчик Guardian и ввод в сборе, 22 дюйма (539 мм), фланец CF40 |
|
016-601-G22 |
Датчик компенсации газа и ввод, 22 дюйма (539 мм), фланец CF40 |
|
Светоотделители |
Оптоволоконные светоотделители отделяют луч света от датчика, что позволяет измерять несколько материалов с помощью одного датчика EIES. |
|
782-900-034 |
Оптоволоконный светоотделитель Guardian (1:3) - 400 мм длина |
|
782-900-034-x-yyy |
Оптоволоконный светоотделитель Guardian (1:x) - yyy мм длина |
|
Кабели накаливания |
Подключает датчик EIES к контроллеру Guardian |
|
600-1406-P10 |
Кабель Guardian с 1 нитью, 3 м (10 футов) - для стандартного датчика EIES |
|
600-1406-P40 |
Кабель Guardian с 1 нитью, 12 м (40 футов) - для стандартного датчика EIES |
|
600-1407-P10 |
Кабель Guardian с 2 нитями, 10 футов (3 м) - для газокомпенсирующего датчика EIES |
|
600-1407-P40 |
Кабель Guardian с 2 нитями, 40 футов (12 м) - для газокомпенсирующего датчика EIES |
|
Детектор ФЭУ |
|
|
782-900-030 |
Детектор ФЭУ Guardian |
|
Кабели для детекторов ФЭУ |
Подключает детектор PMT к контроллеру Guardian |
|
782-505-065 |
Кабель детектора Guardian 10 футов (3 м) |
|
782-505-065-40 |
Кабель детектора Guardian 40 футов (12 м) |
|
Оптические фильтры |
Выберите длину волны, подходящую для вашего материала |
|
782-900-035-202 |
Оптический фильтр - 202нм, BP10нм (Zn) |
|
782-900-035-241 |
Оптический фильтр - 241нм, BP10нм (Co, Au) |
|
782-900-035-252 |
Оптический фильтр - 252нм, BP10нм, (Si) |
|
782-900-035-265 |
Оптический фильтр - 265нм, BP10нм, (Ge, Pt, Ta, Ir) |
|
782-900-035-267 |
Оптический фильтр, 267 нм, Guardian |
|
782-900-035-294 |
Оптический фильтр 294нм, BP2нм, (Hf) (Ga [при использовании газокомпенсирующего датчика]) |
|
782-900-035-304 |
Оптический фильтр 304нм, BP2нм (Ba, In [при использовании газокомпенсирующего датчика]) |
|
782-900-035-325 |
Оптический фильтр - 325нм, BP10нм (Cu, Cd) |
|
782-900-035-358 |
Оптический фильтр - 358нм, BP10нм, (Nb, U, Cr) |
|
782-900-035-364 |
Оптический фильтр - 364нм, BP10нм (Ti, Pb) |
|
782-900-035-396 |
Оптический фильтр - 396нм, BP10нм, (Al) |
|
782-900-035-417 |
Оптический фильтр - 417нм, BP2нм, (Ga) |
|
782-900-035-451 |
Оптический фильтр - 451нм, BP5нм, (In) |
|
782-900-070 |
Комплект монохроматора Guardian |
Запасные части
|
Каталожный номер |
Описание |
|---|---|
|
016-201-G1 |
Эмиттер в сборе для всех датчиков 016-400-Gx, используемых в 016-600-Gxx и -601-Gxx |
|
782-900-038 |
Сменная трубка фотоумножителя Guardian |
|
016-509-G22 |
Вакуумный кабель для датчика Guardian EIES, 22 дюйма (559 мм), доступны другие длины |
|
782-530-015 |
Сменная нить датчика Guardian (для снятых с производства датчиков 782-900-029 и -052) |
Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?
