- Главная
- Производители
- INFICON
- Системы контроля толщины тонких пленок во время напыления INFICON
- Кварцевые кристаллы для контроля процесса INFICON
- Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом INFICON
Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом INFICON
Описание Одиночные датчики Cool Drawer позволяют устанавливать кристалл в датчик сбоку, что удобно для систем, в которых недостаточно места для устан...
Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом INFICON
Описание
Одиночные датчики Cool Drawer позволяют устанавливать кристалл в датчик сбоку, что удобно для систем, в которых недостаточно места для установки кристалла спереди. В одиночном датчике Cool Drawer используется держатель кристаллов Cool Drawer, который термически защищен корпусом с водяным охлаждением, что позволяет обеспечить отличные характеристики кристаллу.
Особенности:
- Нет внутренних кабелей;
- Держатель кристаллов Cool Drawer;
- Простая установка;
- Возможность прогрева с приварным фланцем CF40;
- Доступен для заказа с фланцем CF40 и отверстиями для болтов 2,54 см (1 дюйм);
- Регулируемая длина при заказе с компрессионными фитингами;
- При заказе с компрессионными фитингами пайка не требуется;
- Доступна комбинация: сенсор / вакуумный ввод, сваренный на длину, указанную заказчиком.
Характеристики
|
Тип |
Одиночный датчик Cool Drawer |
|---|---|
|
Корпус |
Позолоченный охлаждаемый корпус из нержавеющей стали |
|
Охлаждающая вода |
Минимальный расход воды 150 — 200 см3/мин при внешнем диаметре ⅛ дюйма, 30°C макс. (Не допускайте замерзание воды) |
|
Электрическое подключение |
Один стандартный BNC (мама) со стороны атмосферы |
|
Кристалл |
Промышленный стандарт диаметром 0,55 дюйма |
|
Подача воздуха |
Датчики с заслонкой требуют регулировку от 55 до 60 psi |
|
Ввод: компрессионный фитинг и болт 1 дюйм: |
|
|
Материалы |
304 нержавеющая сталь, Тефлон, керамика, никель-бериллий, VITO |
|
Температура |
Условия эксплуатации: до 300°C с водяным охлаждением или до 165°C без |
|
Установка |
Отверстие диаметром 1,015 ± 0,010 дюйма |
|
Приварной ввод CF 40: |
|
|
Материалы |
304 нержавеющая сталь, Teflon, керамика, никель-бериллий |
|
Температура |
Условия эксплуатации: до 450°C с водяным охлаждением или до 200°C без |
|
Установка |
Сопрягается с фланцами типа ConFlat 2¾ дюйма с минимальным внутренним диаметром 1,375 дюйма. |
Артикул
Аксессуары
|
Каталожный номер |
Описание |
|---|---|
|
750-420-G1 |
Электромагнитный клапан, 24 В (для использования с заслонками и многокристальными датчиками) |
Запасные части
|
Каталожный номер |
Описание |
|---|---|
|
123259 |
Фиксатор кристалла датчика Cool Drawer |
|
123260 |
Корпус для сенсора +фиксатор Cool Drawer |
|
123417 |
Кронштейн заслонки |
|
123418 |
Крышка сильфона |
|
147207 |
Сильфон + крышка в сборе (включая все детали, отмеченные *) |
|
147202 |
ПНЕВМАТИЧЕСКИЙ КЛАПАН PSV100 12 В DC |
|
147403 |
* Привод |
|
147406 |
* Кронштейн сильфона |
|
147407 |
* Крышка сильфона |
|
147408 |
* Вал с резьбой |
|
147411 |
Прокладка |
|
147424 |
* Сильфон |
|
084-026 |
* Шестигранная гайка |
|
084-064 |
* Стопорная шайба |
|
084-205 |
* Винт Phillips # 4-40 x 3/16 |
|
800128 |
#4 Стопорная шайба |
|
800371 |
Ступенчатый винт |
|
800372 |
Шайба |
|
800416 |
* Установочный винт 6-32 x 3/16 дюйма |
|
803313 |
* Пружина |
|
123223-1 |
Паяная трубка длинная |
|
123223-2 |
Паяная трубка короткая |
|
123419 |
Заслонка |
|
147206-2 |
* Сильфон с трубкой 35 дюймов |
|
803102 |
Уплотнительное кольцо для регулируемого вакуумного ввода (5 портов) |
|
803261 |
Шайба для регулировки вакуумного ввода (5-портов) |
Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?
