- Главная
- Производители
- Каталог оборудования INFICON
- Системы контроля толщины тонких пленок во время напыления INFICON
- Кварцевые кристаллы для контроля процесса INFICON
- Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума INFICON
Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума INFICON
Описание Прогреваемые датчики сверхвысокого вакуума INFICON обеспечивают подтвержденную надежность и долговечность, а также лучшую термическую стабил...
Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума INFICON
Описание
Прогреваемые датчики сверхвысокого вакуума INFICON обеспечивают подтвержденную надежность и долговечность, а также лучшую термическую стабильность среди всех сенсорных головок на рынке. Изготовленный из нержавеющей стали 304, молибдена, инконеля, никеля и оксида алюминия, прогреваемый сверхвысоковакуумный датчик выдерживает температуру непрерывного отжига до 450 °C (только для отжига, поток воды необходим для фактического контроля осаждения). Конструкция с фронтальной загрузкой позволяет легко менять кристалл в применениях, в которых недостаточно места для боковой вставки.
Особенности:
- Высокотемпературная пайка; сварная конструкция;
- Температура отжига до 450°C;
- Заслонка кристалла (опция);
- Держатель кристалла с загрузкой спереди;
- Легкая установка;
- Вакуумный фланец CF40;
- Не требуется сварка или пайка вакуумного ввода;
- Длина привариваемого вакуумного ввода указывается заказчиком.
Характеристики
|
Тип |
Прогреваемый датчик с заслонкой |
Прогреваемый датчик без заслонки |
|---|---|---|
|
Максимальная температура |
400°C непрерывно (только для прогрева; для текущего контроля осаждений рекомендуется поток воды) |
450°C непрерывно (только для прогрева; для текущего контроля осаждений рекомендуется поток воды) |
|
Размер сенсорной головки (максимальные габариты) |
1.35 дюйм. x 1.38 дюйм. x 1.21 дюйм. высота (34 мм x 35 мм x 31 мм высота) |
1.35 дюйм. x 1.38 дюйм. x 0.94 дюйм. высота (34 мм x 35 мм x 24 мм высота) |
|
Замена кристалла |
Загрузка спереди, упаковка для легкой замены. Кулачковая рукоятка с фиксатором позволяет легко вынимать кристалл, а также обеспечивает хороший тепловой контакт. Затвор с пневматическим управлением сдвигается в сторону, обеспечивая легкую замену кристаллов. |
Загрузка спереди, упаковка для легкой замены. Кулачковая рукоятка с фиксатором позволяет легко вынимать кристалл, а также обеспечивает хороший тепловой контакт. |
|
Монтаж |
a) Стандартно — четыре резьбовых отверстия #4-40 на задней части корпуса. b) Опцилнально — угловой кронштейн; IPN 007-108 |
Четыре резьбовых отверстия #4-40 на задней части корпуса. |
|
Вакуумный ввод |
2¾ дюйма ConFlat®, встроенная в головку сенсора Водяные, воздушные и коаксиальные трубки — полужесткие, но гибкие (минимальный радиус изгиба 2,0 дюйма [50,8 мм]) |
2¾ дюйма ConFlat®, встроенная в головку сенсора Водяные, воздушные и коаксиальные трубки — полужесткие, но гибкие (минимальный радиус изгиба 2,0 дюйма [50,8 мм]) |
|
Средства обеспечения |
1) Минимальный расход воды 150 — 200 cм3/мин, 30°C макс. (Не допускайте замерзания.) (Заказчик должен предусмотреть быстросъемные соединения ?-дюймовых водяных трубок, для легкого снятия во время прогрева.) 2) Фильтрованный, безмасляный воздух с регулируемым давлением до 80 psig (5,5 бар) [552 кПа] 3) Электромагнитный клапан, 750-420-G1, 24 В AC или DC, можно заменить эквивалентным клапаном |
Минимальный расход воды 150-200 cм3/мин, 30°C макс. (Не допускайте замерзания.) (Заказчик должен предусмотреть быстросъемные соединения ?-дюймовых водяных трубок, для легкого снятия во время прогрева.) |
|
Материалы |
||
|
Корпус и держатель |
Нержавеющая сталь 304 |
Нержавеющая сталь 304 |
|
Пружины |
Молибден и инконель X-750 |
Молибден и инконель X-750 |
|
Водяные, воздушные и коаксиальные линии |
Воздушные и водяные трубки бесшовные из нержавеющей стали 304: внешний диаметр 0,125 дюйма (3 мм); толщина стенки 0,015 дюйма (0,4 мм) |
Воздушные и водяные трубки бесшовные из нержавеющей стали 304: внешний диаметр 0,125 дюйма (3 мм); толщина стенки 0,015 дюйма (0,4 мм) |
|
Остальные механические части |
Нержавеющая сталь 304 или 18-8 |
Нержавеющая сталь 304 или 18-8 |
|
Изоляторы |
>99% Al2O3 в вакууме; остальное — керамика высокой плотности |
>99% Al2O3 в вакууме; остальное — керамика высокой плотности |
|
Провода |
1) Ni (в вакууме) 2) Медь с никелевым покрытием (остальное) |
1) Ni (в вакууме) 2) Медь с никелевым покрытием (остальное) |
|
Припой |
Вакуумный высокотемпературный сплав Ni-Cr |
Вакуумный высокотемпературный сплав Ni-Cr |
|
Кристалл |
диаметр 0.550 дюйм. (13.97 мм) |
диаметр 0.550 дюйм. (13.97 мм) |
Артикул
Аксессуары
|
Каталожный номер |
Описание |
|---|---|
|
750-420-G1 |
Электромагнитный клапан, 24 В (для использования с заслонкой и многокристальными датчиками) |
Запасные части
|
Каталожный номер |
Описание |
|---|---|
|
007-007 |
Пружина стопорная (для держателя кристаллов) |
|
007-064 |
Керамический фиксатор |
|
007-094 |
Зажимная пружина |
|
007-095 |
Рукоятка |
|
007-098 |
Разъем-мама (включая наконечники и гайку) |
|
007-099 |
Прогреваемая контактная головка |
|
007-100 |
Изолятор для BNC |
|
007-103 |
Изолятор для прогреваемой контактной головки |
|
007-104 |
BNC корпус |
|
007-147 |
#4-40 X 3/8 крепеж |
|
007-155 |
Пайка в сборе — 12 дюйм. (30.5 см) |
|
007-156 |
Пайка в сборе — 20 дюйм. (50.8 см) |
|
007-157 |
Пайка в сборе — 30 дюйм. (76.2 см) |
|
007-228 |
#4-40 X 5/8 крепеж |
|
007-267-P2 |
Распорка |
|
007-268-P1 |
Изолирующая втулка |
|
007-269-P1 |
Изолирующая втулка |
|
008-007 |
Держатель кристала |
|
059-0084 |
Прокладка VCR |
|
070-201 |
#4 шайба Гровера |
|
084-069-P1 |
#4-40 x 3/16 крепеж |
|
750-018-P3 |
Разъёмный хомут |
|
750-018-P5 |
Разъёмный хомут |
|
750-022-G5 |
Сильфон в сборе — 12 дюйм. (30.5 см) |
|
750-022-G6 |
Сильфон в сборе — 20 дюйм. (50.8 см) |
|
750-022-G7 |
Сильфон в сборе — 30 дюйм. (76.2 см) |
|
750-028-G5 |
Паяный воздуховод в сборе — 12 дюйм. (30.5 см) |
|
750-028-G6 |
Паяный воздуховод в сборе — 20 дюйм. (50.8 см) |
|
750-028-G7 |
Паяный воздуховод в сборе — 30 дюйм. (76.2 см) |
|
750-115-P4 |
Муфта (устанавливается на сильфон) |
|
750-118-P4 |
Опора привода |
|
750-120-G3 |
Вал в сборе |
|
750-216-G1 |
Заслонка в сборе (часть модуля заслонки) |
|
750-218-G1 |
Держатель кристалла |
Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?
