Производитель: Hiden Analytical Ltd.
Диапазон регистрируемых масс, а.е.м.: 300
Нить накаливания: Двойная нить накаливания IrO2
Максимальная скорость измерения : 1000 измерений в секунду
Производитель: Hiden Analytical Ltd.
Диапазон регистрируемых масс, а.е.м.: 1000
Нить накаливания: Двойная нить накаливания IrO2
Максимальная скорость измерения : 650 измерений в секунду
Производитель: Hiden Analytical Ltd.
Диапазон регистрируемых масс, а.е.м.: 510
Нить накаливания: Двойная нить накаливания IrO2
Максимальная скорость измерения : 650 измерений в секунду
Производитель: Hiden Analytical Ltd.
Диапазон регистрируемых масс, а.е.м.: 300
Нить накаливания: Двойная нить накаливания IrO2
Максимальная скорость измерения : 650 измерений в секунду
Производитель: Hiden Analytical Ltd.
Диапазон регистрируемых масс, а.е.м.: 50
Нить накаливания: Двойная нить накаливания IrO2
Максимальная скорость измерения : 650 измерений в секунду
Производитель: Hiden Analytical Ltd.
Диапазон регистрируемых масс, а.е.м.: 100
Нить накаливания: Двойная нить накаливания IrO2
Максимальная скорость измерения : 650 измерений в секунду
Производитель: Hiden Analytical Ltd.
Диапазон регистрируемых масс, а.е.м.: 1:10 а.е.м - зона H
Нить накаливания: Двойная нить накаливания IrO2
Максимальная скорость измерения : 650 измерений в секунду
Производитель: Hiden Analytical Ltd.
Диапазон регистрируемых масс, а.е.м.: 1:200 а.е.м - зона I, 1:20 а.е.м - зона H
Нить накаливания: Двойная нить накаливания IrO2
Максимальная скорость измерения : 650 измерений в секунду
Квадрапульные масс-спектрометры производства компании Hiden Analytical серии RGA применяются для анализа состава остаточных газов в вакуумных камерах, поиска вакуумных течей, анализа газовыделений в вакууме, исследования процессов десорбции, контроля вакуумного отжига, а также для оценки производительности вакуумных насосов, анализа загрязнений (тип и концентрация различных примесей) в технологических газах и контроля качества тонкопленочных оптических покрытий.
Масс-спектрометры серии RGA также широко используются для таких задача, как контроль реактивного ионного напыления в замкнутом цикле, молекулярно-лучевая эпитаксия (МЛЭ), исследование структуры поверхности в высоком и сверхвысоком вакууме (HV/UHV), исследования термо-программируемой десорбции в условиях сверхвысокого вакуума (UHD TPD) и для анализа стабильных изотопов (SIMS).
Квадрапульные масс-спектрометры Hiden имеют диапазон измерения парциального давления от сверхвысокого вакуума до 0,01 Па (10-4 мбар).
Особенности
-
Быстрый доступ к отображению гистограммы, анализ динамики показателей и аналоговых пиков;
-
Смешанный режим сканирования, анализ динамики показателей, гистограмма и аналоговые пики в многооконном режиме;
-
Вычитание фона, а также вычитание заданного спектра в реальном времени;
-
Идентификация видов в вакууме с автоматическим анализом;
-
Одновременное отображение в реальном времени графических и табличных данных анализа динамики;
-
Сбор данных с нескольких систем через Ethernet;
-
Автоматическое выравнивание шкалы масс;
-
Встроенная библиотека масс-спектров с возможностью полного редактирования;
-
Возможность экспорта данных в формат ASCII и на все устройства Windows® для печати и построения графиков;
-
Интерфейс программы управления и передачи динамических данных совместим с приложениями Windows®;
-
Встроенный веб-сервер с MASsoft Professional. MASsoft Professional — это Java-апплет, позволяющий упростить работу с RGA в веб-браузере, например, Explorer, Safari или Firefox.
|
Серия |
Диапазон регистрируемых масс, а.е.м |
Тип детектора |
Максимальное рабочее давление, мбар |
Минимальное детектируемое парциальное давление, мбар |
Особенности применения |
|
Квадрупольные масс-спектрометры HALO100 |
100 |
Цилиндр Фарадея |
1 x 10-4 |
1 х 10-11 |
Анализ остаточных газов |
|
Квадрупольные масс-спектрометры HALO201 |
200, 300 |
Микроканальный электронный умножитель |
1 x 10-4 |
2 х 10-13 |
Анализ остаточных газов |
|
Квадрупольные масс-спектрометры HAL200 |
200 |
Цилиндр Фарадея |
1 x 10-4 |
5х 10-12 |
Анализ остаточных газов в UHV системах |
|
Квадрупольные масс-спектрометры HAL201 |
100, 200, 300 |
Канальный электронный умножитель |
1 x 10-4 |
2 х 10-14 |
Анализ остаточных газов в UHV системах |
|
Квадрупольные масс-спектрометры HAL 3F RC |
50, 200, 300, 500 |
Канальный электронный умножитель |
1 x 10-4 |
2 х 10-14 |
Анализ остаточных газов |
|
Квадрупольные масс-спектрометры HAL 3F PIC |
50, 200, 300, 500 |
Канальный электронный умножитель в счетном режиме |
5 х 10-6 (1 х 10-4 с цилиндром Фарадея) |
5 х 10-15 |
Высоковакуумная серия в счетном режиме регистрации для анализа быстрых действий |
|
Квадрупольные масс-спектрометры HAL 1001-9 RC (9 мм)* |
50, 300, 500, 1000 |
Канальный электронный умножитель |
1 x 10-4 |
2 х 10-14 |
Серия с увеличенным диаметром электродов |
|
Квадрупольные масс-спектрометры HMT 100 |
100 |
Цилиндр Фарадея |
5 х 10-3 |
2 х 10-11 |
Анализ остаточных газов |
|
Квадрупольные масс-спектрометры HMT 101 |
100 |
Микроканальный электронный умножитель |
5 х 10-3 |
2 х 10-13 |
Анализ остаточных газов |
|
*По требованию Заказчика может быть настроена для улучшенного разрешения по массам или увеличенного диапазона анализируемых масс. |
|||||