Масс-спектрометры HIDEN

Квадрапульные масс-спектрометры производства компании Hiden Analytical серии RGA применяются для анализа состава остаточных газов в вакуумных камерах, поиска вакуумных течей, анализа газовыделений в вакууме, исследования процессов десорбции, контроля вакуумного отжига, а также для оценки производительности вакуумных насосов, анализа загрязнений (тип и концентрация различных примесей) в технологических газах и контроля качества тонкопленочных оптических покрытий.

Масс-спектрометры серии RGA также широко используются для таких задача, как контроль реактивного ионного напыления в замкнутом цикле, молекулярно-лучевая эпитаксия (МЛЭ), исследование структуры поверхности в высоком и сверхвысоком вакууме (HV/UHV), исследования термо-программируемой десорбции в условиях сверхвысокого вакуума (UHD TPD) и для анализа стабильных изотопов (SIMS).

Квадрапульные масс-спектрометры Hiden имеют диапазон измерения парциального давления от сверхвысокого вакуума до 0,01 Па (10^-4 мбар).

Особенности

• Быстрый доступ к отображению гистограммы, анализ динамики показателей и аналоговых пиков;

• Смешанный режим сканирования, анализ динамики показателей, гистограмма и аналоговые пики в многооконном режиме;

• Вычитание фона, а также вычитание заданного спектра в реальном времени;

• Идентификация видов в вакууме с автоматическим анализом;

• Одновременное отображение в реальном времени графических и табличных данных анализа динамики;

• Сбор данных с нескольких систем через Ethernet;

• Автоматическое выравнивание шкалы масс;

• Встроенная библиотека масс-спектров с возможностью полного редактирования;

• Возможность экспорта данных в формат ASCII и на все устройства Windows® для печати и построения графиков;

• Интерфейс программы управления и передачи динамических данных совместим с приложениями Windows®;

• Встроенный веб-сервер с MASsoft Professional. MASsoft Professional — это Java-апплет, позволяющий упростить работу с RGA в веб-браузере, например, Explorer, Safari или Firefox.