Полуавтоматические зондовые станции SEMISHARE серии X

Описание

Полуавтоматическая зондовая станция серии X производства SEMISHARE – это лабораторный комплекс, предназначенный для неразрушающего электрического, оптического и высокочастотного контроля полупроводниковых пластин и кристаллов на этапах НИОКР, опытного производства и входного контроля. Станция сочетает в себе высокую точность автоматизированных систем с гибкостью и оперативностью ручного управления. Она способна выполнять тесты 12-дюймовых кремниевых пластин и совместима с подложками из нитрида галлия (GaN) и арсенида галлия (GaAs). Станция может работать при проведении высоко- и низкотемпературных испытаний в диапазоне температур от -60°C до +300°C. Результаты тестирования передаются на ПК, где программное обеспечение выполняет их расчет, анализ и классификацию, после чего дефектные чипы маркируются. Метод классификации и маркировки может быть настроен в соответствии с требованиями Заказчика.

Особенности

• Оборудование поддерживает тестирование различных типов образцов: от классических кремниевых пластин размером около 305 мм (до 12 дюймов) и мощных GaN/GaAs-приборов до MEMS-устройств, солнечных элементов и материалов.
• Интеграция возможностей электрического (DC - ТГц), оптического и СВЧ-тестирования в одной платформе устраняет необходимость во множестве установок.
• Расширенный температурный диапазон (от -60°C до +300°C) позволяет проводить испытания на надежность и снимать характеристики компонентов в условиях, максимально приближенных к эксплуатационным.
• Высокая стабильность и скорость контроля температуры обеспечивают повторяемость результатов и сокращают время на подготовку экспериментов.
• Высокоточная механика с разрешением позиционирования до 0,1 мкм и повторяемостью ±1 мкм гарантирует точный контакт с субмикронными площадками.
• Программное обеспечение с функциями автоматического выравнивания пластины, планирования пути зондирования и бинирования кристаллов значительно повышает эффективность и исключает влияние человеческого фактора.
• Скорость перемещения до 3 мм/с ускоряет процесс тестирования всей пластины.
• Встроенная экранирующая система и виброизоляция обеспечивают высокую точность измерений малых токов (до фемтоампер) и ВЧ-сигналов, минимизируя внешние помехи и шумы.
• Открытая платформа и поддержка опциональных модулей (высоковольтные позолоченные держатели, СВЧ-зонды, боковые камеры, загрузчики) позволяют адаптировать станцию под задачи Заказчика.

Области применения для тестирования

Основные составляющие станции

• Оптическая система (микроскоп и камеры)
  Обеспечивает визуализацию и наведение для точного подвода зондов к контактным площадкам. Позволяет наблюдать процесс в реальном времени и документировать результаты.
• Механическая платформа (основание)
• Прецизионный столик
  Точное позиционирование пластины или образца относительно неподвижных зондов. Ключевые параметры: разрешение (0,1 мкм), повторяемость (±1 мкм) и скорость (до 70 мм/с).
• Держатель образца
  Фиксация образца с помощью вакуума и контроль его температуры в широком диапазоне. Может использоваться как задний электрод для измерений.
• Система зондирования (манипуляторы и зонды)
  Обеспечение электрического контакта между измерительными приборами и конкретными точками на образце. Возможные варианты исполнения: коаксиальное (для ВЧ) и трехосное (для малых токов).
• Система контроля температуры (термостат)
  Создание и поддержание заданной температуры на поверхности образца с высокой точностью (±0,1°C). Такая система необходима для тестов на надежность и снятия характеристик в разных условиях.
• Система экранирования
  Защита от электромагнитных помех для обеспечения точных измерений сверхмалых токов (вплоть до фемтоампер) и высокочастотных сигналов.
• Программное обеспечение (ПО)
  Автоматизация процессов: выравнивание пластины, планирование пути зондирования, проведение измерений, классификация кристаллов (бининг) и генерация отчетов.

Технические характеристики