Приходите на выставку «Нефтегаз-2026», 2-5 марта Подробнее →

Сеточные ионные источники Kaufman & Robinson

Полный каталог оборудования Сеточные ионные источники Kaufman & Robinson. Официальный дистрибьютор в России.

Получить консультацию по Сеточные ионные источники Kaufman & Robinson
Оставьте контактный номер и с вами свяжется наш инженер

О Сеточные ионные источники Kaufman & Robinson

Описание

Сеточные ионные источники KDC компании Kaufman & Robinson представляют собой улучшенную версию классических источников Кауфмана. Новая линейка оснащена самовыравнивающейся ионной оптикой и современными блоками питания с возможностью переключения режимов. Благодаря этим усовершенствованиям, ионные источники стали более производительными, надежными и экономически выгодными. В серии KDC представлены разнообразные модели, которые подходят для различных физических размеров и технических требований.

Компания Kaufman & Robinson предлагает комплексные решения ионных источников серии KDC. В комплект входят сам ионный источник KDC, ионная оптика, настроенная под конкретные задачи, нейтрализатор (источник электронов), контроллер питания, вакуумный проходной штуцер и необходимые соединительные кабели.

Модель/
Характеристики

KDC10

KDC40

KDC75

KDC100

KDC160

Метод генерации ионов

Удерживание плазмы постоянным магнитным полем

Номинальная высота

4.5"

6.75"

7.9"

9.25"

9.92"

Номинальный диаметр

1.52"

3.5"

5.5"

7.6"

9.1"

Типовой размер пучка у сетки

1 см

4 см

7.5 см

12 см

16 см

Формы пучка

Фокусированный,
коллимированный,
расфокусированный

Обрабатываемые материалы

Металлы,
диэлектрики,
полупроводники

Рабочие газы

Инертные,
активные,
смеси

Типовая установка

2-12"

6-18"

6-24"

8-36"

8-45"

Применение

PC,
SM,
IBAD,
IBE,
IBSD


Модель сеточного ионного источника

KDC 10

Метод генерации ионов

Удерживание плазмы постоянным магнитным полем

Число нитевых катодов

1 шт.

Напряжение на аноде

0-100 В DC

Ионная оптика

OptiBeamTM

Сетки

Специализированы под приложения

Центровка

Самовыравнивание

Размер пучка у сетки

1 см (типовой)

Нейтрализатор (ст. комплектация)

Нитевой

Контроллер питания

KSC 1202

Опции


Ионная оптика

Коллимированная,
фокусированная,
дефокусированная

Опции контроллера

4 газовых канала, 4 программы

Нейтрализатор

Sidewinder или LFN 2000

Монтаж

Вынесенный или на фланце


Модель сеточного ионного источника

KDC 40

Метод генерации ионов

Удерживание плазмы постоянным магнитным полем

Число нитевых катодов

2 шт.

Напряжение на аноде

0-100 В DC

Ионная оптика

OptiBeamTM

Сетки

Специализированы под приложения

Центровка

Самовыравнивание

Размер пучка у сетки

16 см (типовой)

Нейтрализатор (ст. комплектация)

Нитевой

Контроллер питания

KSC 1212

Опции


Ионная оптика

Коллимированная,
фокусированная,
дефокусированная

Опции контроллера

4 газовых канала, 4 программы-рецепта

Нейтрализатор

Sidewinder или LFN 2000

Монтаж

Вынесенный или на фланец


Модель сеточного ионного источника

KDC 75

Метод генерации ионов

Удерживание плазмы постоянным магнитным полем

Число нитевых катодов

2 шт.

Напряжение на аноде

0-100 В DC

Ионная оптика

OptiBeamTM

Сетки

Специализированы под приложения

Центровка

Самовыравнивание

Размер пучка у сетки

7.5 см (типовой)

Нейтрализатор (ст. комплектация)

Нитевой

Контроллер питания

KSC 1212 или KSC 1202

Опции


Ионная оптика

Коллимированная,
фокусированная,
дефокусированная

Опции контроллера

4 газовых канала, 4 программы-рецепта

Нейтрализатор

LFN 2000 или MHC 1000

Монтаж

Вынесенный или на фланец


Модель сеточного ионного источника

KDC 100

Метод генерации ионов

Удерживание плазмы постоянным магнитным полем

Число нитевых катодов

2 шт.

Напряжение на аноде

0-100 В DC

Ионная оптика

OptiBeamTM

Сетки

Специализированы под приложения

Центровка

Самовыравнивание

Размер пучка у сетки

12 см (типовой)

Нейтрализатор (ст. комплектация)

Нитевой

Контроллер питания

KSC 1212

Опции


Ионная оптика

Коллимированная,
фокусированная,
дефокусированная

Опции контроллера

4 газовых канала, 4 программы-рецепта

Нейтрализатор

Sidewinder или LFN 2000

Монтаж

Вынесенный или на фланец


Модель сеточного ионного источника

KDC 160

Метод генерации ионов

Удерживание плазмы постоянным магнитным полем

Число нитевых катодов

2 шт.

Напряжение на аноде

0-100 В DC

Ионная оптика

OptiBeamTM

Сетки

Специализированы под приложения

Центровка

Самовыравнивание

Размер пучка у сетки

16 см (типовой)

Нейтрализатор (ст. комплектация)

Нитевой

Контроллер питания

KSC 1212

Опции


Ионная оптика

Коллимированная,
фокусированная,
дефокусированная

Опции контроллера

4 газовых канала, 4 программы-рецепта

Нейтрализатор

Sidewinder или LFN 2000

Монтаж

Вынесенный или на фланец

Получить консультацию

Наши специалисты помогут подобрать оптимальное решение

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!