Сеточные ионные источники Kaufman & Robinson
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Напряжение на аноде: 0 — 100В DC
Тип установки: Вынесенный или на фланец
Высота ионного источника: 9.92"
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Напряжение на аноде: 0 — 100В DC
Тип установки: Вынесенный или на фланец
Высота ионного источника: 9.25"
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Напряжение на аноде: 0 — 100В DC
Тип установки: Вынесенный или на фланец
Высота ионного источника: 7.9"
Описание
Сеточные ионные источники KDC компании Kaufman & Robinson представляют собой улучшенную версию классических источников Кауфмана. Новая линейка оснащена самовыравнивающейся ионной оптикой и современными блоками питания с возможностью переключения режимов. Благодаря этим усовершенствованиям, ионные источники стали более производительными, надежными и экономически выгодными. В серии KDC представлены разнообразные модели, которые подходят для различных физических размеров и технических требований.
Компания Kaufman & Robinson предлагает комплексные решения ионных источников серии KDC. В комплект входят сам ионный источник KDC, ионная оптика, настроенная под конкретные задачи, нейтрализатор (источник электронов), контроллер питания, вакуумный проходной штуцер и необходимые соединительные кабели.
|
Модель/ |
KDC10 |
KDC40 |
KDC75 |
KDC100 |
KDC160 |
|
Метод генерации ионов |
Удерживание плазмы постоянным магнитным полем |
||||
|
Номинальная высота |
4.5" |
6.75" |
7.9" |
9.25" |
9.92" |
|
Номинальный диаметр |
1.52" |
3.5" |
5.5" |
7.6" |
9.1" |
|
Типовой размер пучка у сетки |
1 см |
4 см |
7.5 см |
12 см |
16 см |
|
Формы пучка |
Фокусированный, |
||||
|
Обрабатываемые материалы |
Металлы, |
||||
|
Рабочие газы |
Инертные, |
||||
|
Типовая установка |
2-12" |
6-18" |
6-24" |
8-36" |
8-45" |
|
Применение |
PC, |
||||
|
Модель сеточного ионного источника |
KDC 10 |
|
Метод генерации ионов |
Удерживание плазмы постоянным магнитным полем |
|
Число нитевых катодов |
1 шт. |
|
Напряжение на аноде |
0-100 В DC |
|
Ионная оптика |
OptiBeamTM |
|
Сетки |
Специализированы под приложения |
|
Центровка |
Самовыравнивание |
|
Размер пучка у сетки |
1 см (типовой) |
|
Нейтрализатор (ст. комплектация) |
Нитевой |
|
Контроллер питания |
KSC 1202 |
|
Опции |
|
|
Ионная оптика |
Коллимированная, |
|
Опции контроллера |
4 газовых канала, 4 программы |
|
Нейтрализатор |
Sidewinder или LFN 2000 |
|
Монтаж |
Вынесенный или на фланце |
|
Модель сеточного ионного источника |
KDC 40 |
|
Метод генерации ионов |
Удерживание плазмы постоянным магнитным полем |
|
Число нитевых катодов |
2 шт. |
|
Напряжение на аноде |
0-100 В DC |
|
Ионная оптика |
OptiBeamTM |
|
Сетки |
Специализированы под приложения |
|
Центровка |
Самовыравнивание |
|
Размер пучка у сетки |
16 см (типовой) |
|
Нейтрализатор (ст. комплектация) |
Нитевой |
|
Контроллер питания |
KSC 1212 |
|
Опции |
|
|
Ионная оптика |
Коллимированная, |
|
Опции контроллера |
4 газовых канала, 4 программы-рецепта |
|
Нейтрализатор |
Sidewinder или LFN 2000 |
|
Монтаж |
Вынесенный или на фланец |
|
Модель сеточного ионного источника |
KDC 75 |
|
Метод генерации ионов |
Удерживание плазмы постоянным магнитным полем |
|
Число нитевых катодов |
2 шт. |
|
Напряжение на аноде |
0-100 В DC |
|
Ионная оптика |
OptiBeamTM |
|
Сетки |
Специализированы под приложения |
|
Центровка |
Самовыравнивание |
|
Размер пучка у сетки |
7.5 см (типовой) |
|
Нейтрализатор (ст. комплектация) |
Нитевой |
|
Контроллер питания |
KSC 1212 или KSC 1202 |
|
Опции |
|
|
Ионная оптика |
Коллимированная, |
|
Опции контроллера |
4 газовых канала, 4 программы-рецепта |
|
Нейтрализатор |
LFN 2000 или MHC 1000 |
|
Монтаж |
Вынесенный или на фланец |
|
Модель сеточного ионного источника |
KDC 100 |
|
Метод генерации ионов |
Удерживание плазмы постоянным магнитным полем |
|
Число нитевых катодов |
2 шт. |
|
Напряжение на аноде |
0-100 В DC |
|
Ионная оптика |
OptiBeamTM |
|
Сетки |
Специализированы под приложения |
|
Центровка |
Самовыравнивание |
|
Размер пучка у сетки |
12 см (типовой) |
|
Нейтрализатор (ст. комплектация) |
Нитевой |
|
Контроллер питания |
KSC 1212 |
|
Опции |
|
|
Ионная оптика |
Коллимированная, |
|
Опции контроллера |
4 газовых канала, 4 программы-рецепта |
|
Нейтрализатор |
Sidewinder или LFN 2000 |
|
Монтаж |
Вынесенный или на фланец |
|
Модель сеточного ионного источника |
KDC 160 |
|
Метод генерации ионов |
Удерживание плазмы постоянным магнитным полем |
|
Число нитевых катодов |
2 шт. |
|
Напряжение на аноде |
0-100 В DC |
|
Ионная оптика |
OptiBeamTM |
|
Сетки |
Специализированы под приложения |
|
Центровка |
Самовыравнивание |
|
Размер пучка у сетки |
16 см (типовой) |
|
Нейтрализатор (ст. комплектация) |
Нитевой |
|
Контроллер питания |
KSC 1212 |
|
Опции |
|
|
Ионная оптика |
Коллимированная, |
|
Опции контроллера |
4 газовых канала, 4 программы-рецепта |
|
Нейтрализатор |
Sidewinder или LFN 2000 |
|
Монтаж |
Вынесенный или на фланец |