Вакуумные откачные посты KYKY

Предельное давление (азот), ISO-K: <3.5X10^-6 Pa (2.6X10^-8Torr)
Предельное давление (гелий), CF: <5X10^-7 Pa (3.7X10^-9Torr)
Максимальная скорость откачки азота, л/с: 62
Входной фланец: DN63 CF, DN63 ISO-K

Скорость турбонасоса, л/с: 700
Предельный вакуум, Па: ≤ 6 x 10^-7 (DN 160 LF), ≤ 6 x 10^-8 (DN 160 CF)
Входной фланец: DN160 CF, DN160 LF

Скорость турбонасоса, л/с: 600
Предельный вакуум, Па: ≤ 6 x 10^-6 (DN 160 LF), ≤ 6 x 10^-7 (DN 160 CF)
Входной фланец: DN160 CF, DN160 LF

Скорость турбонасоса, л/с: 110
Предельный вакуум, Па: ≤ 6 x 10^-6 (DN 100 LF), ≤ 6 x 10^-7 (DN 100 CF)
Входной фланец: DN100 CF, DN100 LF