Вакуумный откачной пост KYKY FJ-80

Характеристики

• Входной фланец
  DN63 CF, DN63 ISO-K
• Предельное давление (азот), ISO-K
  <3.5X10^-6 Pa (2.6X10^-8Torr)
• Предельное давление (гелий), CF
  <5X10^-7 Pa (3.7X10^-9Torr)
• Максимальная скорость откачки азота, л/с
  62
• Максимальная скорость откачки гелия, л/с
  55
• Пропускная способность газа (азот), Sccm
  100
• Пропускная способность газа (гелий), Sccm
  80
• Входное давление, макс. (азот), Па
  10
• Входное давление, макс. (гелий), Па
  10
• Фланец (байпасный)
  Ф10 Quick connection