Лабораторная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-L1

Характеристики

• Предельный вакуум, Па
  1
• Вакуумметр
  SMC
• Масса, кг
  50
• Скорость откачки, м³/ч
  8
• Мощность, Вт
  300
• Электропитание
  220 В
• Материал камеры
  Нержавеющая сталь 316
• Дисплей
  4.3"
• Программное обеспечение
  Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная
• Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
  590 × 450 × 420
• Частота, кГц
  40
• Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
  Автоматическое согласование полных сопротивлений
• Режим разрядки
  CCP
• Производительность, л
  2
• Электрод
  1 специальный электрод из алюминиевого сплава + 1 лоток для образца
• Габариты камеры, мм
  Ø100 × 270
• Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
  80 × 235
• Слои для обработки
  1
• Расстояние между монослоями, мм
  40 — 90
• Регулятор расхода газа
  Высокоточный поплавковый игольчатый клапан
• Интенсивность потока, мл
  0 — 500
• Газовый канал
  2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).
• Вакуумная линия
  Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан
• Программируемый логический контроллер
  Panasonic
• Размер воздушной трубки, мм
  Ø6
• Частота газа
  99.999%
• Давление газа, МПа
  0.3 — 0.6
• Выхлопное отверстие
  KF25