Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
На этой странице мы поможем подобрать оборудование для решения вашей задачи или проблемы с минимальными сроками и максимальной вовлеченностью с нашей стороны
- В наличии
product-card
Описание товара отсутствует
- Производитель
- ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па
- 1
- Вакуумметр
- Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Скорость откачки, м³/ч
- 8
- Мощность, Вт
- 300
- Материал камеры
- Кварц
- Дисплей
- 4.3"
- Программное обеспечение
- Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная
- Напряжение питания, В
- 220
- Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
- 548 × 588 × 617
- Частота, МГц
- 13.56, твердотельный радиочастотный источник питания
- Режим разрядки
- ICP
- Производительность, л
- 5
- Электрод
- 1 кварцевый лоток для образца
- Габариты камеры, мм
- Ø150 × 280
- Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
- 145 × 275
- Слои для обработки
- 1
- Расстояние между монослоями, мм
- 70 — 140
- Регулятор расхода газа
- Регулятор массового расхода (MFC)
- Интенсивность потока, мл
- 0 — 300
- Газовый канал
- 2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).
- Вакуумная линия
- Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан
- Программируемый логический контроллер
- Panasonic
- Размер воздушной трубки, мм
- Ø6
- Частота газа
- 99.999%
- Выхлопное отверстие
- KF25
- Минимальное давление газа, МПа
- 0.3
- Максимальное давление газа, МПа
- 0.6
- Масса, кг
- 65
Товары из этой же серии
Не забудьте купить
Вы смотрели
Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?