Лабораторная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-L5

Характеристики

• Предельный вакуум, Па
  1
• Вакуумметр
  Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
• Масса, кг
  65
• Скорость откачки, м³/ч
  8
• Мощность, Вт
  300
• Электропитание
  220 В
• Материал камеры
  Кварц
• Дисплей
  4.3"
• Программное обеспечение
  Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная
• Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
  548 × 588 × 617
• Частота, МГц
  13.56, твердотельный радиочастотный источник питания
• Режим разрядки
  ICP
• Производительность, л
  5
• Электрод
  1 кварцевый лоток для образца
• Габариты камеры, мм
  Ø150 × 280
• Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
  145 × 275
• Слои для обработки
  1
• Расстояние между монослоями, мм
  70 — 140
• Регулятор расхода газа
  Регулятор массового расхода (MFC)
• Интенсивность потока, мл
  0 — 300
• Газовый канал
  2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).
• Вакуумная линия
  Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан
• Программируемый логический контроллер
  Panasonic
• Размер воздушной трубки, мм
  Ø6
• Частота газа
  99.999%
• Давление газа, МПа
  0.3 — 0.6
• Выхлопное отверстие
  KF25