Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9

Производитель

ERSTVAK

Серия

EV-PLASMA-L

Напряжение питания, В

220

Страна

Российская Федерация

Вакуумметр

SMC

Скорость откачки, м³/ч

8

Дисплей

4.3"

Программное обеспечение

Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная

Внешние габариты (Д×Ш×В), мм

600 × 600 × 550

Частота, МГц

13.56

Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь

Автоматическое согласование полных сопротивлений

Режим разрядки

CCP

Производительность, л

10

Электрод

2 специальных электрода из алюминиевого сплава + 2 лоток для образца

Габариты камеры, мм

230 × 270 × 175

Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм

208 × 215

Слои для обработки

3

Расстояние между монослоями, мм

55

Регулятор расхода газа

Высокоточный поплавковый игольчатый клапан

Интенсивность потока, мл

0 — 500

Газовый канал

2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).

Вакуумная линия

Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан

Размер воздушной трубки, мм

Ø6

Частота газа

99.999%

Выхлопное отверстие

KF25

Минимальное давление газа, МПа

0.3

Максимальное давление газа, МПа

0.6

Программируемый логический контроллер

Panasonic

Предельный вакуум, Па

1

Материал камеры

Нержавеющая сталь 316

Мощность, Вт

300

Масса, кг

60