Лабораторная зондовая станция SEMISHARE M6

Производитель

SEMISHARE

Серия

M

Страна

Китай

Диаметр пластины, мм

150

Размер стола держателя образца, мм

152.4

Тип держателя образца (опционально)

Держатель для высоких мощностей с термостабилизацией

Функция проверки заднего электрода держателя образца (при нормальных условиях)

Да, держатель образца электрически изолирован

Перемещение по X-Y платформы держателя образца, мм

150 × 150

Точность перемещения платформы держателя образца, мкм

10

Минимальный шаг позиционирования, мкм

1

Угол поворота платформы для держателя образца (грубая регулировка), ±град

45

Диапазон точной настройки угла поворота платформы для перемещения держателя образца, ±град

8

Точность настройки угла поворота платформы для перемещения держателя образца, град

0.01

Длина платформы для крепления зондов, мм

540

Ширина платформы для крепления зондов, мм

310

Рабочее расстояние (от верхней поверхности держателя образца до нижней поверхности платформы), мм

8

Максимальное количество устанавливаемых зондов

6

Подъем платформы для крепления зондов

Не поддерживается

Микроскоп

Стандартный стерео (опционально видео)

Минимальное увеличение микроскопа, раз

16

Максимальное увеличение микроскопа, раз

100

Камера микроскопа (опционально), Мп

8 (цифр.)

Ход зонда по осям X-Y-Z, мм

12 × 12 × 12

Повторяемость держателя образца по XY, ±мкм

3

Длина, мм

650

Высота, мм

620

Ширина, мм

490