Производительность по азоту, л/с: 2400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN50P
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 12 000
Производительность по водороду, л/с: 20 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 10 000
Скорость откачки по парам воды, л/с: 29 000
Время охлаждения, мин: 150
Паромаслянный бустерный вакуумный насос ERSTEVAK EVD 350 R
Тип:
Паромаслянный
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 3400
Предельное остаточное давление, мбар: 5*10^-4
Мощность нагревателя, кВт: 12
Производительность по азоту, л/с: 1300
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Диффузионный вакуумный насос ERSTEVAK EVD 800
Тип:
Диффузионный
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 30000
Предельное остаточное давление, мбар: 5*10^-7
Мощность нагревателя, кВт: 13.5
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-160/700E 160 CF
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 700
Предельное остаточное давление, мбар: 6x10^-10
Время выхода на режим, мин: 7
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-63/80E DN63 ISO-K
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 82
Предельное остаточное давление, мбар: 5x10^-9
Время выхода на режим, мин: 2
Производительность по азоту, л/с: 900
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 75
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: 2
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN90S
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 34 000
Производительность по водороду, л/с: 60 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 28 000
Скорость откачки по парам воды, л/с: 90 000
Время охлаждения, мин: 160