Производительность по азоту, л/с: 2400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Турбомолекулярный насос с контроллером KYKY F-400/3600E ISO-K 400
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 3600
Предельное остаточное давление, мбар: 6x10^-8
Время выхода на режим, мин: <15,5
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN30SH
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 4000
Производительность по водороду, л/с: 7000
Скорость откачки по аргону, л/с: 3500
Скорость откачки по парам воды, л/с: 10000
Время охлаждения, мин: 75
Производительность по азоту, л/с: 900
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-63/80E DN63 ISO-K
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 82
Предельное остаточное давление, мбар: 5x10^-9
Время выхода на режим, мин: 2