Производительность по азоту, л/с: 900
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Турбомолекулярный вакуумный насос без контроллера KYKY FF-160/700FE ISO-K 160 (воздушное охлаждение)
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 700
Предельное остаточное давление, мбар: 6x10^-9
Время выхода на режим, мин: <3,5
Производительность по азоту, л/с: 25
Производительность по водороду, л/с: 80
Сорбционная емкость, Торр*л (по азоту): 25
Сорбционная емкость, Торр*л (по водороду): 80
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN63S
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 20 000
Производительность по водороду, л/с: 35 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 17 000
Скорость откачки по парам воды, л/с: 50 000
Время охлаждения, мин: 170
Производительность по азоту, л/с: 2400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5