Производительность по азоту, л/с: 340
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-250/2300E на магнитном подшипнике с контроллером CF 250
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 2300
Предельное остаточное давление, мбар: 2х10^-8
Время выхода на режим, мин: 11
Магниторазрядный ионно-геттерный вакуумный насос KYKY 2L-400C
Тип:
Магниторазрядный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Предельное остаточное давление, мбар: 1*10(-8)
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-250/2301E на магнитном подшипнике с контроллером ISO-F 250
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 2150
Предельное остаточное давление, мбар: 2х10^-8
Время выхода на режим, мин: 8
Диффузионный вакуумный насос ERSTEVAK EVD 160
Тип:
Диффузионный
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 1800
Предельное остаточное давление, мбар: 5*10^-7
Мощность нагревателя, кВт: 1.6
Производительность по азоту, л/с: 340
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN50SH
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 10 000
Производительность по водороду, л/с: 13 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 8 400
Скорость откачки по парам воды, л/с: 30 000
Время охлаждения, мин: 170
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN55C
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 15 000
Производительность по водороду, л/с: 22 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 10 000
Скорость откачки по парам воды, л/с: 36 000
Время охлаждения, мин: 190
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-63/80E DN 63 CF
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 82
Предельное остаточное давление, мбар: 5x10^-9
Время выхода на режим, мин: 2
Криогенный вакуумный насос SHI Marathon CP-16 ISO 400 мм
Тип:
Криогенный
Производитель:
SHI Cryogenics Group
Производительность по водороду, л/с: 12000
Производительность по воздуху, л/с: 4800