Производительность по азоту, л/с: 340
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3
Турбомолекулярный вакуумный насос без контроллера KYKY FF-200/1300E ISO-K 200
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 1300
Предельное остаточное давление, мбар: 6x10^-8
Время выхода на режим, мин: <6
Диффузионный вакуумный насос ERSTEVAK EVDM-400
Тип:
Диффузионный
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 8500
Предельное остаточное давление, мбар: 7*10^-7
Мощность нагревателя, кВт: 5
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 330
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-8
Время выхода на режим, мин: 2
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN20S
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 1 700
Производительность по водороду, л/с: 3 200
Скорость откачки по аргону, л/с: 1 400
Скорость откачки по парам воды, л/с: 4 000
Время охлаждения, мин: 60
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 220
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-8
Время выхода на режим, мин: 1
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN25S
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 2 500
Производительность по водороду, л/с: 3 900
Скорость откачки по аргону, л/с: 2 000
Скорость откачки по парам воды, л/с: 7 000
Время охлаждения, мин: 75