Производительность по азоту, л/с: 2400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Производительность по азоту, л/с: 40
Производительность по водороду, л/с: 100
Сорбционная емкость, Торр*л (по азоту): 0.3
Сорбционная емкость, Торр*л (по водороду): 135
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN20S
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 1 700
Производительность по водороду, л/с: 3 200
Скорость откачки по аргону, л/с: 1 400
Скорость откачки по парам воды, л/с: 4 000
Время охлаждения, мин: 60
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN40PH
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 5 000
Производительность по водороду, л/с: 10 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 4 500
Скорость откачки по парам воды, л/с: 16 000
Время охлаждения, мин: 130
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-160/700FE ISO-K 160 (воздушное охлаждение)
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 700
Предельное остаточное давление, мбар: 6x10^-9
Время выхода на режим, мин: 7
Производительность по азоту, л/с: 400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-100/300FE DN100ISO-K (воздушное охлаждение)
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 300
Предельное остаточное давление, мбар: 6x10^-8
Время выхода на режим, мин: <3,5
Диффузионный вакуумный насос ERSTEVAK EVD 600
Тип:
Диффузионный
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 17500
Предельное остаточное давление, мбар: 5*10^-7
Мощность нагревателя, кВт: 9
Производительность по азоту, л/с: 900
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5