Приходите на выставку «Нефтегаз-2026», 2-5 марта Подробнее →

Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I6

На этой странице мы поможем подобрать оборудование для решения вашей задачи или проблемы с минимальными сроками и максимальной вовлеченностью с нашей стороны

  • В наличии

product-card

Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I6
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I6
Описание
Характеристики

Описание товара отсутствует

Производитель
ERSTVAK Ltd.
Предельный вакуум, Па
2
Вакуумметр
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч
60
Мощность, Вт
600
Электропитание, фаза
3
Электропитание
AC 380 В, 50/60 Гц (100A)
Материал камеры
Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
Дисплей
7"
Программное обеспечение
Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
903 × 983 × 1753
Частота, МГц
13.56, твердотельный радиочастотный источник питания
Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
Автоматическое согласование полных сопротивлений
Режим разрядки
RIE
Производительность, л
66
Электрод
Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
Габариты камеры, мм
400 × 450 × 370
Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
370 × 370
Слои для обработки
6
Расстояние между монослоями, мм
45
Регулятор расхода газа
Регулятор массового расхода (MFC
Интенсивность потока, мл
0 — 300
Газовый канал
2 канала (Опционально — 3 / 4 / 5 / 6) (поддерживается различный технологический газ, такой как кислород, аргон, водород, азот и др.).
Программируемый логический контроллер
Panasonic
Частота газа
99.999%
Выхлопное отверстие
KF25
Минимальное давление газа, МПа
0.6
Максимальное давление газа, МПа
0.8
Масса, кг
350

Товары из этой же серии

Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 50
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 55
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 600
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC (По запросу — Пирани)
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 65
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 80
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1

Не забудьте купить

Вакуумное смотровое окно из KF-фланцевого стекла Kodial Kurt J. Lesker QF40-150-VP
Вакуумное смотровое окно из KF-фланцевого стекла Kodial Kurt J. Lesker QF40-150-VP
  • Артикул: QF40-150-VP
  • Производитель: Kurt J. Lesker Company
  • Фланец: KF40 (2.16" OD)
  • Материал окна: Kodial
  • Материал фланца: 304L SS
  • Смотровой диаметр: 1.26
В корзину
1
Клапан ручной угловой CF50/3.38" King Lai MAV-HV-CF-338
Клапан ручной угловой CF50/3.38" King Lai MAV-HV-CF-338
  • Производитель: King Lai
  • Максимальное рабочее давление, мбар: 2000
  • Материал корпуса: Нержавеющая сталь 304
  • Поток натекания: 2E-9 ст.куб.м./сек
  • Минимальное рабочее давление, мбар: 1.33 × 10E-8
В корзину
1
Патрубок угловой 45° по касательной King Lai DN-45ELT-50 с фланцами
Патрубок угловой 45° по касательной King Lai DN-45ELT-50 с фланцами
  • Производитель: King Lai
  • Картинка webp: /upload/iblock/armatura/webp/IMG_2628.webp
  • Размер A, мм: 51
  • Диапазон рабочей температуры, °C: от -20 до 150
  • Внутренний диаметр трубы, мм: 52.2
  • Внешний диаметр фланца, мм: 75
В корзину
1
Патрубок с фланцем (полуниппель) King Lai CF-HN-1000
Патрубок с фланцем (полуниппель) King Lai CF-HN-1000
  • Производитель: King Lai
  • Длина, мм: 203.2
  • Картинка webp: /upload/iblock/armatura/webp/IMG_2838.webp
  • Рабочая температура, °С: От -20 до 150
  • Внешний диаметр трубы, мм: 203.2
  • Внешний диаметр фланца, мм: 253.24
В корзину
1
Фланцевый переходник King Lai AD-VCRM-KF50x050 на VCR Male
Фланцевый переходник King Lai AD-VCRM-KF50x050 на VCR Male
  • Производитель: King Lai
  • Фланцевое соединение: KF50
  • Рабочая температура, °С: От -20 до 150
  • Размер A, мм: 75
  • Размер B, мм: 41.9
  • Предельное давление, Торр: 10Е-8
В корзину
1
Винтовой компрессор ERSTVAK ESC-300D 12 атм
Винтовой компрессор ERSTVAK ESC-300D 12 атм
  • Мощность электродвигателя, кВт: 220
  • Артикул: ESC-300D 12 атм
  • Габаритные размеры, мм: 2800 × 1800 × 1950
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Присоединительный размер: DN80
  • Краткое название: Компрессор ERSTVAK ESC-300D 12 атм
В корзину
1
Ультразвуковая система очистки ERSTVAK СОУ-960-4
Ультразвуковая система очистки ERSTVAK СОУ-960-4
  • Габаритные размеры, мм: 1200 × 1000 × 800
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Краткое название: Система очистки ERSTVAK СОУ-960-4
  • Объем ванны, л: 960
  • Ультразвуковая частота, КГц: 40
  • Мощность нагрева, Вт: 24000
В корзину
1
Модульный генератор кислорода ERSTVAK OXIA M 18
Модульный генератор кислорода ERSTVAK OXIA M 18
  • Конструкция: модульный
  • Минимальное значение точки росы, °С: -70
  • Максимальное значение точки росы, °С: -40
  • Мин. допустимая температура воздуха на входе, °C: 15
  • Макс. допустимая температура воздуха на входе, °C: 35
  • Производительность, н.м³/час: 18
В корзину
1
Турбовоздуходувка ERSTVAK ERIN M 60
Турбовоздуходувка ERSTVAK ERIN M 60
  • Режим работы: Нагнетание
  • Мощность электродвигателя, кВт: 45
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Напряжение питания, В: 440
  • Производительность, м³/ч: 3600
  • Производительность, м³/мин: 60
В корзину
1
Фланец под струбцины King Lai ISOK-BF-160
Фланец под струбцины King Lai ISOK-BF-160
  • Производитель: King Lai
  • Внешний диаметр, мм: 180
  • Рабочая температура, °С: От -20 до 150
  • Размер B, мм: 149.1
  • Размер C, мм: 152.9
  • Предельное давление, Торр: 10Е-8
В корзину
1

Вы смотрели

Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRS-53-112
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRS-53-112
  • Артикул: ELRS-53-112
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельное остаточное давление, мбар: 33
  • Мощность, кВт: 185
  • Краткое название: Вакуумный насос ERSTVAK ELRS-53-112
  • Присоединительный размер: DN250
В корзину
1
Кварцевый кристалл ERSTVAK EV-5-25.4-Ag 5 МГц Серебро 25,4 мм
Кварцевый кристалл ERSTVAK EV-5-25.4-Ag 5 МГц Серебро 25,4 мм
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Рабочая температура, °С: -20 — +450
  • Частота, МГц: 4.960
  • Материал электрода с плоской стороны: Серебро (Ag)
  • Материал электрода с выпуклой стороны : Серебро (Ag)
  • Номинальная частота, МГц: 5.000
В корзину
1
Токарный обрабатывающий центр с осью Y ETHI 628-525MY
Токарный обрабатывающий центр с осью Y ETHI 628-525MY
  • Габариты (ДхШхВ), мм: 3975 × 2085 × 1980
  • Ход по оси X, мм: 225
  • Ход по оси Y, мм: 100
  • Ход по оси Z, мм: 525
  • Мощность двигателя шпинделя, кВт: 18.5/22
  • Крутящий момент шпинделя, Нм: 176/210
В корзину
1
Винтовой масляный вакуумный насос ERSTVAK EUREKA 1100
Винтовой масляный вакуумный насос ERSTVAK EUREKA 1100
  • Габаритные размеры, мм: 1500х1350х1290
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельное остаточное давление, мбар: 0.3
  • Мощность, кВт: 18.5
  • Охлаждение: воздушное
  • Уровень шума, дБ: 55-76
В корзину
1
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I7
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I7
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 400
  • Скорость откачки, м³/ч: 60
  • Мощность, Вт: 2000
В корзину
1
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I5
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I5
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 350
  • Скорость откачки, м³/ч: 60
  • Мощность, Вт: 2000
В корзину
1
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I8
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I8
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 2
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 400
  • Скорость откачки, м³/ч: 60
  • Мощность, Вт: 1000
В корзину
1
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I1
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 85
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 1000
В корзину
1
Моноблочный водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRPX 500
Моноблочный водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRPX 500
  • Артикул: ELRPX 500
  • Габаритные размеры, мм: 1044x479x521
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельное остаточное давление, мбар: 33
  • Мощность, кВт: 15
  • Частота вращения, об/мин: 970
В корзину
1
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I12
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I12
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 2
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 600
  • Скорость откачки, м³/ч: Насос Рутса + 60
  • Мощность, Вт: 1200
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!