Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I6

На этой странице мы поможем подобрать оборудование для решения вашей задачи или проблемы с минимальными сроками и максимальной вовлеченностью с нашей стороны

  • В наличии

product-card

Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I6
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I6
Описание
Характеристики

Описание товара отсутствует

Производитель
ERSTVAK Ltd.
Предельный вакуум, Па
2
Вакуумметр
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч
60
Мощность, Вт
600
Электропитание, фаза
3
Электропитание
AC 380 В, 50/60 Гц (100A)
Материал камеры
Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
Дисплей
7"
Программное обеспечение
Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
903 × 983 × 1753
Частота, МГц
13.56, твердотельный радиочастотный источник питания
Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
Автоматическое согласование полных сопротивлений
Режим разрядки
RIE
Производительность, л
66
Электрод
Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
Габариты камеры, мм
400 × 450 × 370
Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
370 × 370
Слои для обработки
6
Расстояние между монослоями, мм
45
Регулятор расхода газа
Регулятор массового расхода (MFC
Интенсивность потока, мл
0 — 300
Газовый канал
2 канала (Опционально — 3 / 4 / 5 / 6) (поддерживается различный технологический газ, такой как кислород, аргон, водород, азот и др.).
Программируемый логический контроллер
Panasonic
Частота газа
99.999%
Выхлопное отверстие
KF25
Минимальное давление газа, МПа
0.6
Максимальное давление газа, МПа
0.8
Масса, кг
350

Товары из этой же серии

Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 50
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 55
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 600
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC (По запросу — Пирани)
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 65
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 80
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1

Не забудьте купить

Промышленный фильтр Solberg SM4-234P-301 для агрессивных условий
Промышленный фильтр Solberg SM4-234P-301 для агрессивных условий
  • Производитель: SOLBERG
  • Масса, кг: 14.4
  • Фильтрующий картридж: Бумага
  • Выход, дюйм: 3
  • Пропускная способность, м³/ч: 510
В корзину
1
Винтовой компрессор ERSTVAK AURORA 20-8
Винтовой компрессор ERSTVAK AURORA 20-8
  • Мощность электродвигателя, кВт: 15
  • Артикул: AURORA 20-8
  • Напряжение, В: 380
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Присоединительный размер: G1"
  • Количество ступеней: 1
В корзину
1
Приварной отвод (колено) 90° King Lai BW-90EL-300
Приварной отвод (колено) 90° King Lai BW-90EL-300
  • Производитель: King Lai
  • Рабочая температура, °С: От -20 до 150
  • Предельное давление, Торр: 10Е-8
  • Радиус скругления, мм: 114.3
В корзину
1
Вакуумное смотровое окно на CF-фланцах из кварца Kurt J. Lesker VPZL-275LARF
Вакуумное смотровое окно на CF-фланцах из кварца Kurt J. Lesker VPZL-275LARF
  • Артикул: VPZL-275LARF
  • Производитель: Kurt J. Lesker Company
  • Фланец: DN35CF-DN40CF (2.75" OD)
  • Материал окна: Плавленый кварц
  • Материал фланца: 304L SS
  • Материал припоя: 304L SS
В корзину
1
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG401 DN 25 ISO-KF
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG401 DN 25 ISO-KF
  • Артикул: 351-020
  • Производитель: INFICON
  • Внутренний объем, см³: 20
  • Фланец: DN25 ISO-KF
  • Степень защиты: IP40
  • Температура хранения, °C: -40 — +65
В корзину
1
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA 220 B
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA 220 B
  • Напряжение, В: 220
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Масса, кг: 4800
  • Конструкция: две колонны
  • Минимальное значение точки росы, °С: -70
  • Максимальное значение точки росы, °С: -40
В корзину
1
Циклонный сепаратор ERSTVAK NOVA 3,8 W
Циклонный сепаратор ERSTVAK NOVA 3,8 W
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Присоединительный размер: Rc3/4
  • Максимальное рабочее давление, бар: 16
  • Номинальная пропускная способность, м³/мин: 3.8
  • Габаритные размеры (ВхШ), мм: 251 × 100
  • Масса установки, кг: 1.2
В корзину
1
Маслосмазываемый пластинчато-роторный вакуумный насос DVP LC.40 1 ф
Маслосмазываемый пластинчато-роторный вакуумный насос DVP LC.40 1 ф
  • Артикул: 9601067/MA
  • Габаритные размеры, мм: 490x310x298
  • Производитель: D.V.P. Vacuum Technology Srl
  • Предельное остаточное давление, мбар: 0.5
  • Мощность, кВт: 1.1
  • Частота вращения, об/мин: 1400
В корзину
1
Одноосевой поворотный стол с климатической камерой Firepower 1LT700-W
Одноосевой поворотный стол с климатической камерой Firepower 1LT700-W
  • Производитель: FirePower Technology Co., Ltd.
  • Точность поддержания температуры, ±°C: 0.5
  • Диаметр стола, мм: 700
  • Скользящие кольца: 10 — 50
  • Ось вращения: Вертикальная или горизонтальная
  • Разрешение задания скорости, град/с: 0.0001
В корзину
1
Безмасляный воздушный винтовой компрессор ERSTVAK ESC-350D VSD 8 атм OF
Безмасляный воздушный винтовой компрессор ERSTVAK ESC-350D VSD 8 атм OF
  • Мощность электродвигателя, кВт: 250
  • Артикул: ESC-350D VSD 8 атм OF
  • Габаритные размеры, мм: 3100 × 1850 × 2100
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Присоединительный размер: G4"
  • Краткое название: Винтовой компрессор ERSTVAK ESC-350D VSD 8 атм OF
В корзину
1

Вы смотрели

Толкательная печь ERSTVAK PTF-300/70-5-2
Толкательная печь ERSTVAK PTF-300/70-5-2
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Максимальная температура, °C: 1150
  • Количество муфелей: 2
  • Габаритные размеры (вод. охл.), мм: 13.5 × 1.9 × 1.6
  • Длина зоны нагрева, мм: 7300
  • Рабочий газ: H₂
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!