Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I6
На этой странице мы поможем подобрать оборудование для решения вашей задачи или проблемы с минимальными сроками и максимальной вовлеченностью с нашей стороны
- В наличии
product-card
Описание товара отсутствует
- Производитель
- ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па
- 2
- Вакуумметр
- Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Скорость откачки, м³/ч
- 60
- Мощность, Вт
- 600
- Электропитание, фаза
- 3
- Электропитание
- AC 380 В, 50/60 Гц (100A)
- Материал камеры
- Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
- Дисплей
- 7"
- Программное обеспечение
- Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная
- Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
- 903 × 983 × 1753
- Частота, МГц
- 13.56, твердотельный радиочастотный источник питания
- Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
- Автоматическое согласование полных сопротивлений
- Режим разрядки
- RIE
- Производительность, л
- 66
- Электрод
- Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
- Габариты камеры, мм
- 400 × 450 × 370
- Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
- 370 × 370
- Слои для обработки
- 6
- Расстояние между монослоями, мм
- 45
- Регулятор расхода газа
- Регулятор массового расхода (MFC
- Интенсивность потока, мл
- 0 — 300
- Газовый канал
- 2 канала (Опционально — 3 / 4 / 5 / 6) (поддерживается различный технологический газ, такой как кислород, аргон, водород, азот и др.).
- Программируемый логический контроллер
- Panasonic
- Частота газа
- 99.999%
- Выхлопное отверстие
- KF25
- Минимальное давление газа, МПа
- 0.6
- Максимальное давление газа, МПа
- 0.8
- Масса, кг
- 350
Товары из этой же серии
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 50
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 55
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 200
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 600
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC (По запросу — Пирани)
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 200
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Масса, кг: 65
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 300
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Мощность, Вт: 500
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Масса, кг: 300
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Мощность, Вт: 500
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 80
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Не забудьте купить
- Артикул: CXF-320/3000, ISO-F 320
- Производитель: KYKY Technology Co. Ltd.
- Предельное остаточное давление, мбар: 5 × 10^(-9)
- Производительность по азоту, л/с: 3000
- Масса, кг: 70
- Краткое название: Вакуумный насос KYKY CXF-320/3000 ISO-F 320
В корзину
1
- Артикул: ELRP-2-140 A-CLS
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельное остаточное давление, мбар: 33
- Мощность, кВт: 4
- Охлаждение: воздушное
- Краткое название: Вакуумная установка ERSTVAK ELRP-2-140 A-CLS
В корзину
1
- Артикул: EST10N
- Габаритные размеры, мм: 1100x410x735
- Производитель: Ebara
- Предельное остаточное давление, мбар: 0.27
- Мощность, кВт: 2.3
- Масса, кг: 260
В корзину
1
- Артикул: 894-EBT220FRWB-00
- Габаритные размеры, мм: 130x200-220
- Производитель: Ebara
- Предельное остаточное давление, мбар: 10^(-8)
- Краткое название: Вакуумный насос EBARA EBT220F-RWB
- Время выхода на режим, мин: 1
В корзину
1
- Производитель: ER-Lok
- Максимальное рабочее давление (дюймовая труба), psig: 1100
- Максимальное рабочее давление (метрическая труба), бар: 700
- Максимальный крутящийся момент при установке (без покрытия): 490
- Максимальный крутящийся момент при установке (с покрытием): 255
- Тип резьбы: Дюймовая труба - Цилиндрическая резьба ISO (RG)
В корзину
1
- Габаритные размеры, мм: 1000 × 900 × 600
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Краткое название: Система очистки ERSTVAK СОУ-540-3-ПМ
- Объем ванны, л: 540
- Ультразвуковая частота, КГц: 40
- Мощность нагрева, Вт: 18000
В корзину
1
- Артикул: CFT10V1463
- Производитель: Kurt J. Lesker
- Максимальная температура, °С: 450
- Минимальная температура, °С: -50
- Фланцевое соединение: DN35CF-DN40CF (2.75" OD)
- Материал фланца: Нержавеющая сталь
В корзину
1
- Мощность электродвигателя, кВт: 15
- Частота вращения, об/мин: 2850
- Артикул: CLAW-AP 405-1.4
- Габаритные размеры, мм: 1340 × 672 × 1003
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Присоединительный размер: G3"
В корзину
1
- Производитель: KYKY Technology Co. Ltd.
- Производительность по азоту, л/с: 1200
- Коэффициент сжатия: 10^9
- Максимальное форвакуумное давление, Па: 500
- Предельное давление, Па: Для CF – 6 × 10^(-7);Для ISO K – 6 × 10^(-6)
- Выходной фланец: ISO-KF DN40
В корзину
1
- Мощность электродвигателя, кВт: 75
- Артикул: PRIMA 100-8
- Напряжение, В: 380
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Присоединительный размер: G2"
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
Вы смотрели
- Артикул: ELRS-53-112
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельное остаточное давление, мбар: 33
- Мощность, кВт: 185
- Краткое название: Вакуумный насос ERSTVAK ELRS-53-112
- Присоединительный размер: DN250
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Масса, кг: 180
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Мощность, Вт: 1000
В корзину
1
- Производитель: ER-Lok
- Максимальное рабочее давление (дюймовая труба), psig: 1100
- Максимальное рабочее давление (метрическая труба), бар: 700
- Максимальный крутящийся момент при установке (без покрытия): 490
- Максимальный крутящийся момент при установке (с покрытием): 255
- Тип резьбы: Метрическая труба - Резьба NPT
В корзину
1
- Артикул: 893-EMT420MCWC-00
- Габаритные размеры, мм: 180x250-255
- Производитель: Ebara
- Предельное остаточное давление, мбар: 10^(-9)
- Производительность по азоту, л/с: 400
- Краткое название: Вакуумный насос EBARA EMT420M-CWС
В корзину
1
- Артикул: ELRPX 110
- Габаритные размеры, мм: 566x223x300
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельное остаточное давление, мбар: 33
- Мощность, кВт: 3.85
- Частота вращения, об/мин: 2880
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Рабочая температура, °С: -20 — +450
- Частота, МГц: 5. 985
- Материал электрода с плоской стороны: Серебро (Ag)
- Материал электрода с выпуклой стороны : Серебро (Ag)
- Номинальная частота, МГц: 6.000
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 2
- Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Масса, кг: 180
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Масса, кг: 350
- Скорость откачки, м³/ч: 60
- Мощность, Вт: 2000
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 2
- Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Масса, кг: 400
- Скорость откачки, м³/ч: 60
- Мощность, Вт: 1000
В корзину
1
- Артикул: SEC-System-Generic
- Производитель: Suzhou Second New Energy Technology Co.,Ltd.
- Электропитание: AC 380 В
- Условия эксплуатации: Температура 22.5 ±1°С, Влажность 40 — 80% (Без конденсации)
- Точность поддержания расхода: ±(0.8%RD + 0.2%FS)
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 11000 × 6200 × 3500
В корзину
1
Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?
