- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Вакуумные технологии поверхности
- Установки плазменной обработки поверхности
- Системы плазменной обработки в вакууме
- Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I6
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I6
product-card
Описание товара отсутствует
- Производитель
- ERSTVAK
- Серия
- EV-PLASMA-I
- Страна
- Российская Федерация
- Электропитание
- AC 380 В, 50/60 Гц (100A)
- Вакуумметр
- Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Скорость откачки, м³/ч
- 60
- Дисплей
- 7"
- Программное обеспечение
- Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная
- Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
- 903 × 983 × 1753
- Частота, МГц
- 13.56, твердотельный радиочастотный источник питания
- Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
- Автоматическое согласование полных сопротивлений
- Режим разрядки
- RIE
- Производительность, л
- 66
- Электрод
- Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
- Габариты камеры, мм
- 400 × 450 × 370
- Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
- 370 × 370
- Слои для обработки
- 6
- Расстояние между монослоями, мм
- 45
- Регулятор расхода газа
- Регулятор массового расхода (MFC
- Интенсивность потока, мл
- 0 — 300
- Газовый канал
- 2 канала (Опционально — 3 / 4 / 5 / 6) (поддерживается различный технологический газ, такой как кислород, аргон, водород, азот и др.).
- Частота газа
- 99.999%
- Выхлопное отверстие
- KF25
- Минимальное давление газа, МПа
- 0.6
- Максимальное давление газа, МПа
- 0.8
- Программируемый логический контроллер
- Panasonic
- Предельный вакуум, Па
- 2
- Материал камеры
- Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
- Мощность, Вт
- 600
- Электропитание, фаза
- 3
- Масса, кг
- 350
Не забудьте купить
- Серия: VCRF
- Страна: Китай
- Производитель: King Lai
- Фланцевое соединение: KF40
- Рабочая температура, °С: <=200
- Размер A, мм: 55
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Режим работы: Нагнетание
- Серия: SERRA
- Мощность электродвигателя, кВт: 110
- Страна: Российская Федерация
- Краткое название: Воздуходувка ERSTVAK SERRA 150-4
В корзину
1
- Серия: CSL
- Страна: США
- Фильтрующий картридж: Бумага
- Вход, дюйм: 16
- Выход, дюйм: 16
- Пропускная способность, м³/ч: 39
В корзину
1
- Серия: MPC
- Страна: Германия
- Присоединительный размер: KF16
- Краткое название: Вакуумный насос WELCH MPC 601 E-X2
- Артикул: 412721-03
- Габаритные размеры, мм: 230х265х170
В корзину
1
- Тип: Адсорбционный
- Серия: ALMA M
- Страна: Российская Федерация
- Конструкция: модульный
- Минимальное значение точки росы, °С: -70
- Максимальное значение точки росы, °С: -40
В корзину
1
- Серия: NOVA
- Страна: Российская Федерация
- Присоединительный размер: Rc3
- Максимальное рабочее давление, бар: 10
- Габариты (ДхШхВ), мм: 696 × 215
- Номинальная пропускная способность, м³/мин: 33
В корзину
1
- Серия: OXIA
- Страна: Российская Федерация
- Конструкция: две колонны
- Минимальное значение точки росы, °С: -70
- Максимальное значение точки росы, °С: -40
- Максимальная температура окружающей среды, °С: 45
В корзину
1
- Серия: D2000-IV
- Страна: Китай
- Минимальное напряжение, В: 20
- Максимальное напряжение, В: 2000
- Производитель: Kewell
- Мощность, кВт: 200
В корзину
1
- Серия: СОУ
- Страна: Российская Федерация
- Краткое название: Система очистки ERSTVAK СОУ-360-Ф
- Объем ванны, л: 360
- Ультразвуковая частота, КГц: 40
- Мощность нагрева, Вт: 9000
В корзину
1
- Тип: Вихревые
- Режим работы: Универсальная
- Серия: EVL
- Мощность электродвигателя, кВт: 1.5
- Страна: Российская Федерация
- Краткое название: Воздуходувка ERSTVAK EVL 42/26
В корзину
1
Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?
