product-card

Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Описание
Характеристики

Описание товара отсутствует

Производитель
ERSTVAK
Серия
EV-PLASMA-W
Напряжение питания, В
220
Страна
Российская Федерация
Вакуумметр
SMC
Скорость откачки, м³/ч
16
Дисплей
4.3"
Программное обеспечение
Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и повторяемая, многоязычная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
600 × 550 × 580
Частота, МГц
13.56
Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
Автоматическое согласование полных сопротивлений
Режим разрядки
RIE
Производительность, л
13.5
Электрод
Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
Габариты камеры, мм
240 × 280 × 200
Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
230 × 205
Слои для обработки
1
Расстояние между монослоями, мм
75 — 80
Регулятор расхода газа
Высокоточный поплавковый игольчатый клапан
Интенсивность потока, мл
0 — 500
Газовый канал
2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).
Вакуумная линия
Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан
Размер воздушной трубки, мм
Ø8
Частота газа
99.999%
Выхлопное отверстие
KF25
Равномерность
≤±15%
Минимальное давление газа, МПа
0.3
Максимальное давление газа, МПа
0.6
Программируемый логический контроллер
Panasonic
Предельный вакуум, Па
1
Материал камеры
Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
Мощность, Вт
300
Масса, кг
80

Не забудьте купить

Ротационный испаритель BIOBASE RE-52C
Ротационный испаритель BIOBASE RE-52C
  • Серия: RE
  • Страна: Германия
  • Производитель: BIOBASE
  • Конденсатор: Вертикальнное направление потока Ø85 × 450 мм, 29# (стандартный размер)
  • Масса, кг: 20
  • Максимальная рабочая температура, °C: 99
В корзину
1
Фланцевый переходник King Lai AD-VCRM-KF40x025 на VCR Male
Фланцевый переходник King Lai AD-VCRM-KF40x025 на VCR Male
  • Серия: VCRM
  • Страна: Китай
  • Производитель: King Lai
  • Фланцевое соединение: KF40
  • Рабочая температура, °С: От -20 до 150
  • Размер A, мм: 55
В корзину
1
Переходник с внутренней резьбой ER-Lok – AF (MTD-FN)
Переходник с внутренней резьбой ER-Lok – AF (MTD-FN)
  • Серия: AF
  • Страна: Российская Федерация
  • Максимальное рабочее давление (дюймовая труба), psig: 1100
  • Максимальное рабочее давление (метрическая труба), бар: 700
  • Максимальный крутящийся момент при установке (без покрытия): 490
  • Максимальный крутящийся момент при установке (с покрытием): 255
В корзину
1
Винтовой безмасляный компрессор ERSTVAK DELIA 220-10 W
Винтовой безмасляный компрессор ERSTVAK DELIA 220-10 W
  • Тип: Винтовые
  • Серия: DELIA W
  • Мощность электродвигателя, кВт: 160
  • Страна: Российская Федерация
  • Присоединительный размер: DN60
  • Напряжение питания, В: 380
В корзину
1
Патрубок угловой 45° по касательной King Lai DN-45ELT-25 с фланцами
Патрубок угловой 45° по касательной King Lai DN-45ELT-25 с фланцами
  • Серия: 45ELT
  • Страна: Китай
  • Производитель: King Lai
  • Картинка webp: /upload/iblock/armatura/webp/IMG_2628.webp
  • Размер A, мм: 32
  • Диапазон рабочей температуры, °C: От -20 до 150
В корзину
1
Установка ВЧ отжига ERSTVAK InductionHeat 3030H
Установка ВЧ отжига ERSTVAK InductionHeat 3030H
  • Серия: InductionHeat
  • Страна: Российская Федерация
  • Производитель: ERSTVAK
  • Габариты рабочей камеры (ØхВ), мм: 450 × 600
  • Минимальная равномерность температуры в рабочей зоне, ±°C: 5
  • Максимальная точность температуры, ±°C: 2
В корзину
1
Адсорбционный генератор кислорода ERSTVAK OXIA 12
Адсорбционный генератор кислорода ERSTVAK OXIA 12
  • Серия: OXIA
  • Страна: Российская Федерация
  • Конструкция: две колонны
  • Минимальное значение точки росы, °С: -70
  • Максимальное значение точки росы, °С: -40
  • Максимальная температура окружающей среды, °С: 45
В корзину
1
Токарный обрабатывающий центры с приводным инструментом ETHI 565-500M
Токарный обрабатывающий центры с приводным инструментом ETHI 565-500M
  • Серия: ETHI
  • Страна: Китай
  • Габариты (ДхШхВ), мм: 3290 × 1540 × 1710
  • Ход по оси X, мм: 195
  • Ход по оси Z, мм: 500
  • Мощность двигателя шпинделя, кВт: 9.8/13
В корзину
1
Крест с фланцами King Lai DN-4C-50
Крест с фланцами King Lai DN-4C-50
  • Серия: 4C
  • Страна: Китай
  • Производитель: King Lai
  • Картинка webp: /upload/iblock/armatura/webp/IMG_2569.webp
  • Рабочая температура, °С: От -20 до 150
  • Внешний диаметр фланца, мм: 30
В корзину
1
Фланец с отверстием под трубу King Lai KF-BF-50x038
Фланец с отверстием под трубу King Lai KF-BF-50x038
  • Серия: BF
  • Страна: Китай
  • Производитель: King Lai
  • Ширина, мм: 5.1
  • Фланцевое соединение: KF50
  • Размер B, мм: 52.2
В корзину
1

Вы смотрели

Моноблочный водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRPX 80
Моноблочный водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRPX 80
  • Серия: ELRPX
  • Страна: Российская Федерация
  • Присоединительный размер: G1 1/2
  • Краткое название: Моноблочный вакуумный насос ERSTVAK ELRPX 80
  • Артикул: ELRPX 80
  • Габаритные размеры, мм: 545x223x270
В корзину
1
Моноблочный водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRPX 52
Моноблочный водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRPX 52
  • Серия: ELRPX
  • Страна: Российская Федерация
  • Присоединительный размер: G1
  • Краткое название: Моноблочный вакуумный насос ERSTVAK ELRPX 52
  • Артикул: ELRPX 52
  • Габаритные размеры, мм: 476x186x250
В корзину
1
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA 1600 F
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA 1600 F
  • Тип: Адсорбционный
  • Серия: ALMA
  • Страна: Российская Федерация
  • Конструкция: две колонны
  • Минимальное значение точки росы, °С: -70
  • Максимальное значение точки росы, °С: -40
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!