Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1

На этой странице мы поможем подобрать оборудование для решения вашей задачи или проблемы с минимальными сроками и максимальной вовлеченностью с нашей стороны

  • В наличии

product-card

Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Описание
Характеристики

Описание товара отсутствует

Производитель
ERSTVAK Ltd.
Предельный вакуум, Па
1
Вакуумметр
SMC
Скорость откачки, м³/ч
16
Мощность, Вт
300
Материал камеры
Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
Дисплей
4.3"
Программное обеспечение
Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и повторяемая, многоязычная
Напряжение питания, В
220
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
600 × 550 × 580
Частота, МГц
13.56
Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
Автоматическое согласование полных сопротивлений
Режим разрядки
RIE
Производительность, л
13.5
Электрод
Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
Габариты камеры, мм
240 × 280 × 200
Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
230 × 205
Слои для обработки
1
Расстояние между монослоями, мм
75 — 80
Регулятор расхода газа
Высокоточный поплавковый игольчатый клапан
Интенсивность потока, мл
0 — 500
Газовый канал
2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).
Вакуумная линия
Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан
Программируемый логический контроллер
Panasonic
Размер воздушной трубки, мм
Ø8
Частота газа
99.999%
Выхлопное отверстие
KF25
Равномерность
≤±15%
Минимальное давление газа, МПа
0.3
Максимальное давление газа, МПа
0.6
Масса, кг
80

Товары из этой же серии

Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 50
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 55
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 600
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC (По запросу — Пирани)
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 65
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W2
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W2
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 80
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1

Не забудьте купить

Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA M 130 E
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA M 130 E
  • Напряжение, В: 220
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Масса, кг: 1025
  • Конструкция: модульный
  • Минимальное значение точки росы, °С: -70
  • Максимальное значение точки росы, °С: -40
В корзину
1
Климатическая камера дождя ERSTVAK EVCLIM-КД 1000-IP1-4
Климатическая камера дождя ERSTVAK EVCLIM-КД 1000-IP1-4
  • Артикул: EVCLIM-КД 1000-IP1-4
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Расход воды, л/мин: 0.1 — 0.6
  • Мощность, кВт: 5
  • Краткое название: Камера дождя ERSTVAK EVCLIM-КД 1000-IP1-4
  • Электропитание: 380 В, 50 Гц + земля + нейтраль
В корзину
1
Турбовоздуходувка TurboMAX MAX250-C100
Турбовоздуходувка TurboMAX MAX250-C100
  • Режим работы: Нагнетание
  • Мощность электродвигателя, кВт: 184
  • Артикул: MAX250-C100
  • Производитель: TurboMAX Co. Ltd.
  • Краткое название: Воздуходувка TurboMAX MAX250-C100
  • Напряжение питания, В: 440
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT900M-CWB
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT900M-CWB
  • Артикул: 893-EMT900MCWB-00
  • Габаритные размеры, мм: 264x401-407
  • Производитель: Ebara
  • Предельное остаточное давление, мбар: 10^(-10)
  • Производительность по азоту, л/с: 900
  • Краткое название: Вакуумный насос EBARA EMT900M-CWB
В корзину
1
Высоковакуумный затвор KIng Lai AGP-HV-CF1000M
Высоковакуумный затвор KIng Lai AGP-HV-CF1000M
  • Производитель: King Lai
  • Модель: AGP-HV-CF1000M
  • Длина, мм: 927
  • Размер фланца: DN200
  • Назначение: Промышленный
  • Внутренний диаметр, мм: 232
В корзину
1
Циркуляционный термостат ERSTVAK TSM 2A10W/TSM 2A10
Циркуляционный термостат ERSTVAK TSM 2A10W/TSM 2A10
  • Габаритные размеры, мм: 650*850*1850
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Испаритель: Пластинчатый теплообменник
  • Компрессор: Emerson Copeland/Спиральный компрессор
  • Тип управления: PID-контроллер, специальный расчет динамического управления, PLC-контроллер
  • Хладагент: R-404A/R507C (По запросу – R448A)
В корзину
1
Роторная воздуходувка РУТС KUBICEK 3D19B-050
Роторная воздуходувка РУТС KUBICEK 3D19B-050
  • Режим работы: Нагнетание
  • Мощность электродвигателя, кВт: 2.2
  • Производитель: Kubicek VHS, s.r.o.
  • Краткое название: Воздуходувка РУТС KUBICEK 3D19B-050
  • Производительность, м³/ч: 150
  • Уровень шума, дБ(А): 71
В корзину
1
Вибростенд с воздушным охлаждением PIV TS3-150
Вибростенд с воздушным охлаждением PIV TS3-150
  • Габаритные размеры, мм: 805 × 560 × 663
  • Производитель: PIV
  • Масса арматуры, кг: 3
  • Выталкивающее усилие - удар, кН: 6
  • Охлаждение: Воздушное
  • Диаметр арматуры, мм: 150
В корзину
1
Турбовоздуходувка TurboMAX MAX400-C100
Турбовоздуходувка TurboMAX MAX400-C100
  • Режим работы: Нагнетание
  • Мощность электродвигателя, кВт: 294
  • Артикул: MAX400-C100
  • Производитель: TurboMAX Co. Ltd.
  • Краткое название: Воздуходувка TurboMAX MAX400-C100
  • Напряжение питания, В: 440
В корзину
1
Переходник конический King Lai ISOK-CRN-100x63
Переходник конический King Lai ISOK-CRN-100x63
  • Производитель: King Lai
  • Длина, мм: 104.7
  • Фланцевое соединение: ISO63
  • Предельное остаточное давление, Торр: 10Е-8
  • Картинка webp: /upload/iblock/armatura/webp/IMG_2798.webp
  • Рабочая температура, °С: от -20 до 150
В корзину
1

Вы смотрели

Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I6
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I6
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 2
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 350
  • Скорость откачки, м³/ч: 60
  • Мощность, Вт: 600
В корзину
1
Толкательная печь ERSTVAK PTF-300/70-5-2
Толкательная печь ERSTVAK PTF-300/70-5-2
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Максимальная температура, °C: 1150
  • Количество муфелей: 2
  • Габаритные размеры (вод. охл.), мм: 13.5 × 1.9 × 1.6
  • Длина зоны нагрева, мм: 7300
  • Рабочий газ: H₂
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!