Приходите на выставку «Нефтегаз-2026», 2-5 марта Подробнее →

Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1

На этой странице мы поможем подобрать оборудование для решения вашей задачи или проблемы с минимальными сроками и максимальной вовлеченностью с нашей стороны

  • В наличии

product-card

Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Описание
Характеристики

Описание товара отсутствует

Производитель
ERSTVAK Ltd.
Предельный вакуум, Па
1
Вакуумметр
SMC
Скорость откачки, м³/ч
16
Мощность, Вт
300
Материал камеры
Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
Дисплей
4.3"
Программное обеспечение
Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и повторяемая, многоязычная
Напряжение питания, В
220
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
600 × 550 × 580
Частота, МГц
13.56
Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
Автоматическое согласование полных сопротивлений
Режим разрядки
RIE
Производительность, л
13.5
Электрод
Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
Габариты камеры, мм
240 × 280 × 200
Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
230 × 205
Слои для обработки
1
Расстояние между монослоями, мм
75 — 80
Регулятор расхода газа
Высокоточный поплавковый игольчатый клапан
Интенсивность потока, мл
0 — 500
Газовый канал
2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).
Вакуумная линия
Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан
Программируемый логический контроллер
Panasonic
Размер воздушной трубки, мм
Ø8
Частота газа
99.999%
Выхлопное отверстие
KF25
Равномерность
≤±15%
Минимальное давление газа, МПа
0.3
Максимальное давление газа, МПа
0.6
Масса, кг
80

Товары из этой же серии

Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 50
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 55
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 600
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC (По запросу — Пирани)
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 65
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W2
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W2
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 80
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1

Не забудьте купить

Удлиненный шестигранный ниппель ER-Lok - PLN (RT)
Удлиненный шестигранный ниппель ER-Lok - PLN (RT)
  • Производитель: ER-Lok
  • Максимальное рабочее давление (Нержавеющая сталь), psig: 10000
  • Максимальное рабочее давление (Латунь), psig: 5000
  • Максимальная рабочая температура (Нержавеющая сталь), °F: 1000
  • Максимальная рабочая температура (Латунь), °F: 400
  • Максимальное рабочее давление (Латунь), бар: 344
В корзину
1
Клапан пневматический прямоточный Y-типа ISO80 King Lai PIV-HV-ISOK-80
Клапан пневматический прямоточный Y-типа ISO80 King Lai PIV-HV-ISOK-80
  • Производитель: King Lai
  • Фланцевое соединение: ISO80
  • Картинка webp: /upload/iblock/armatura/webp/IMG_2677.webp
  • Размер A, мм: 268
  • Материал корпуса: Нержавеющая сталь 304
  • Поток натекания: 2Е-9 ст.куб.м./сек
В корзину
1
Вращающийся фланец King Lai CF-BF-600x400R со сквозными отверстиями под болты
Вращающийся фланец King Lai CF-BF-600x400R со сквозными отверстиями под болты
  • Производитель: King Lai
  • Количество отверстий: 16
  • Диаметр отверстий для болтов: 8.43
  • Картинка webp: /upload/iblock/armatura/webp/IMG_2309.webp
  • Рабочая температура, °С: От -190 до 450
  • Размер A, мм: 151.6
В корзину
1
Сушильный шкаф ERSTVAK EVCLIM-СШ80-400-ВК
Сушильный шкаф ERSTVAK EVCLIM-СШ80-400-ВК
  • Мощность, кВт: 2
  • Габаритные размеры, мм: 770 × 610 × 850
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Масса, кг: 90
  • Материал корпуса: Холоднокатаная сталь с порошковым покрытием
  • Объем, л: 80
В корзину
1
Винтовой компрессор ERSTVAK AURORA DS 400-10
Винтовой компрессор ERSTVAK AURORA DS 400-10
  • Мощность электродвигателя, кВт: 280
  • Артикул: AURORA DS 400-10
  • Материал: Чугун
  • Напряжение, В: 380
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Присоединительный размер: DN125
В корзину
1
Когтевой вакуумный насос ERSTVAK CLAW-AV 1005-WC
Когтевой вакуумный насос ERSTVAK CLAW-AV 1005-WC
  • Артикул: Claw-AV 1005 WC
  • Габаритные размеры, мм: 1272x737x1266
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Исполнение: специальное
  • Расход охлаждающей воды, л/мин: >6
  • Объем масла, л: 2.8
В корзину
1
Вихревая воздуходувка ERSTVAK EVL 250/18 3 ф.
Вихревая воздуходувка ERSTVAK EVL 250/18 3 ф.
  • Режим работы: Универсальная
  • Мощность электродвигателя, кВт: 7.5
  • Артикул: EVL 250/18 3 ф.
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Краткое название: Воздуходувка ERSTVAK EVL 250/18 3 ф.
  • Разрежение, мбар: 200
В корзину
1
Автоматическая высекательная машина SUZHOU SECOND NEW ENERGY TECHNOLOGY SEC-H500-RG
Автоматическая высекательная машина SUZHOU SECOND NEW ENERGY TECHNOLOGY SEC-H500-RG
  • Артикул: SEC-H500-RG
  • Производитель: Suzhou Second New Energy Technology Co.,Ltd.
  • Электропитание: AC 220 В, 50-60 Гц, 16 кВт
  • Масса, кг: 4800
  • Система управления: Программируемый логический контроллер
  • Условия эксплуатации: Температура 0 — 40°C, Влажность 20 — 90% (Без конденсации)
В корзину
1
Центробежный высоконапорный вентилятор ERSTVAK ECF 75/A 3 ф
Центробежный высоконапорный вентилятор ERSTVAK ECF 75/A 3 ф
  • Режим работы: Нагнетание
  • Мощность электродвигателя, кВт: 0.75
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Краткое название: Высоконапорный вентилятор ERSTVAK ECF 75/A 3 ф
  • Напряжение питания, В: 345 – 415Y
  • Производительность, м³/ч: 1200
В корзину
1
Зондовая станция с функциями нагрева и охлаждения SEMISHARE C8
Зондовая станция с функциями нагрева и охлаждения SEMISHARE C8
  • Производитель: SEMISHARE CO., LTD.
  • Длина, мм: 880
  • Ширина, мм: 860
  • Высота, мм: 750
  • Минимальная рабочая температура, °C: -80
  • Максимальная рабочая температура, °C: 300
В корзину
1

Вы смотрели

Безмасляный спиральный компрессор ERSTVAK ALPINA 7 V 10 бар
Безмасляный спиральный компрессор ERSTVAK ALPINA 7 V 10 бар
  • Мощность, кВт: 5.5
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Напряжение питания, В: 380
  • Масса, кг: 140
  • Уровень шума, дБ(А): 63
  • Производительность, м³/мин: 0.51
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!