Приглашаем вас на выставку:
Testing & Control 2024 22 – 24 октября 2024 Москва, МВЦ «Крокус Экспо», Павильон 1, Зал 3
Москва
Санкт-Петербург
Екатеринбург
Нижний Новгород
Новосибирск
Челябинск
Ростов-на-Дону
Самара
Иркутск
Кемерово
Саратов
Волгоград
Омск
Воронеж
Белгород
Тула
Оренбург
Томск
Ярославль
Смоленск
Владимир
Тюмень
Вологда
Ульяновск
Киров
Тверь
Пенза
Калининград
Брянск
Калуга
Рязань
Архангельск
Липецк
Иваново
Курск
Мурманск
Астрахань
Тамбов
Благовещенск
Курган
Орёл
Южно-Сахалинск
Псков
Великий Новгород
Кострома
Магадан
Биробиджан
Оборудование
Воздуходувки
Вакуумные промышленные системы
Вибростенды
Вакуумные печи для порошковой металлургии
Лабораторные микроскопы
Вакуумные печи для термообработки металлов
Вакуумметры
Имитаторы космического пространства
Испытательные камеры
Лиофильные сушки
Оборудование для водоочистки
Оборудование для пробоподготовки
Вакуумные печи химико-термической обработки
Муфельные печи
Компрессоры
Вакуумная арматура
Промышленные автоклавы
Термическое оборудование для авиационной промышленности
Ротационные испарители
Сушильные шкафы
Механические испытательные стенды
Определение центра масс
Поворотные столы (имитаторы движения)
Разрядно-зарядные станции
Стенды испытаний водородных топливных элементов
Ударные стенды
Центрифуги испытательные
Вакуумные компоненты
Газовая арматура
Гидравлические насосы
Ультразвуковые ванны
Вакуумные камеры
Вакуумные манипуляторы
Вакуумные насосы
Установки диффузионной сварки
Установки электронно-лучевой сварки
Вакуумные системы и установки
Гексаподы
Ионные источники
Криогенное оборудование
Масс-спектрометры
Оборудование для анализа микроструктуры материалов
Оборудование для микроэлектроники
Оборудование для нанесения тонких пленок
Термостриммеры
Течеискатели
Установки плазменной обработки поверхности
Циркуляционные термостаты
Производители
Материалы
О компании
Новости
Услуги
Статьи
Условия оплаты и доставки
Карьера
Контакты
Сертификаты
Отзывы
Благотворительность
Найти
+7 (499) 703-06-36
Оборудование
Промышленное
Воздуходувки
Компрессоры
Вакуумные компоненты
Газовая арматура
Гидравлические насосы
Ультразвуковые ванны
Установки диффузионной сварки
Установки электронно-лучевой сварки
Вакуумное
Вакуумные промышленные системы
Вакуумметры
Вакуумная арматура
Вакуумные камеры
Вакуумные манипуляторы
Вакуумные насосы
Вакуумные системы и установки
Гексаподы
Ионные источники
Криогенное оборудование
Масс-спектрометры
Оборудование для анализа микроструктуры материалов
Оборудование для микроэлектроники
Оборудование для нанесения тонких пленок
Термостриммеры
Течеискатели
Установки плазменной обработки поверхности
Циркуляционные термостаты
Испытательное
Вибростенды
Имитаторы космического пространства
Испытательные камеры
Механические испытательные стенды
Определение центра масс
Поворотные столы (имитаторы движения)
Разрядно-зарядные станции
Стенды испытаний водородных топливных элементов
Ударные стенды
Центрифуги испытательные
Термическое
Вакуумные печи для порошковой металлургии
Вакуумные печи для термообработки металлов
Вакуумные печи химико-термической обработки
Муфельные печи
Промышленные автоклавы
Термическое оборудование для авиационной промышленности
Лабораторное
Лабораторные микроскопы
Лиофильные сушки
Оборудование для водоочистки
Оборудование для пробоподготовки
Ротационные испарители
Сушильные шкафы
Оборудование
Главная
Каталог
Установки плазменной обработки поверхности
Система плазменной обработки подложек ERSTEVAK EV-PLASMA-W1
Система плазменной обработки подложек ERSTEVAK EV-PLASMA-W1
В наличии
Запросить КП
Характеристики
Предельный вакуум, Па
1
Вакуумметр
SMC
Масса, кг
80
Скорость откачки, м³/ч
16
Мощность, Вт
300
Электропитание
220 В
Материал камеры
Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
Дисплей
4.3"
Программное обеспечение
Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и повторяемая, многоязычная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
600 × 550 × 580
Частота, МГц
13.56
Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
Автоматическое согласование полных сопротивлений
Режим разрядки
CCP, RIE
Производительность, л
13.5
Электрод
Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
Габариты камеры, мм
240 × 280 × 200
Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
230 × 205
Слои для обработки
1
Расстояние между монослоями, мм
75 — 80
Регулятор расхода газа
Высокоточный поплавковый игольчатый клапан
Интенсивность потока, мл
0 — 500
Газовый канал
2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).
Вакуумная линия
Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан
Программируемый логический контроллер
Panasonic
Размер воздушной трубки, мм
Ø8
Частота газа
99.999%
Давление газа, МПа
0.3 — 0.6
Выхлопное отверстие
KF25
Равномерность
≤±15%
Другие товары из серии
EV-PLASMA-W
Система плазменной обработки подложек ERSTEVAK EV-PLASMA-W2
Тип:
Система
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
553 × 553 × 732
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
16
Система плазменной обработки подложек ERSTEVAK EV-PLASMA-W1
Тип:
Система
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
600 × 550 × 580
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
SMC
Скорость откачки, м³/ч:
16
Условия оплаты и доставки
Оплата
Юридические лица
Безналичный расчет
Физические лица
Безналичный расчет
Наличный расчет в офисе продаж
Доставка
Самовывоз со склада ЭРСТВАК
Доставка транспортной компанией
Подробнее об условиях
Смотрите также
Система плазменной обработки подложек ERSTEVAK EV-PLASMA-W2
Тип:
Система
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
553 × 553 × 732
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
16
Система плазменной обработки подложек ERSTEVAK EV-PLASMA-W1
Тип:
Система
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
600 × 550 × 580
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
SMC
Скорость откачки, м³/ч:
16
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I7
Тип:
Промышленная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
930 × 990 × 1754
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
60
Лабораторная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-L5
Тип:
Лабораторная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
548 × 588 × 617
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
8
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I3
Тип:
Промышленная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
630 × 730 × 1430
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
16
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I5
Тип:
Промышленная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
903 × 983 × 1753
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
60
Система плазменного и реактивно-ионного травления ERSTEVAK CIONE 8
Тип:
Система
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Тип управления:
Ручное и автоматическое
Генератор:
20~100 кГц (макс. 300 Вт)/ 13,56 МГц (макс. 300 Вт)
Газовые линии:
Макс. 4 линии (500 см3)
Система плазменной очистки на атмосфере ERSTEVAK EV-ATMO-M
Тип:
Система
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Тип управления:
Цифровое управление, настройка давления подачи воздуха, регулируемая мощность
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
414.5 × 539 × 152.5
Скорость обработки поверхности, мм/с:
10 — 300
Эффективный диапазон очистки, мм:
50
Выходная мощность, Вт:
300 — 1000
Система плазменного и реактивно-ионного травления ERSTEVAK CIONE 6
Тип:
Система
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Тип управления:
Ручное и автоматическое
Генератор:
20~100 кГц (макс. 200 Вт)/ 13,56 МГц (макс. 300 Вт)
Газовые линии:
Макс. 4 линии (200 см3)
Система плазменной очистки на атмосфере ERSTEVAK EV-ATMO-MR
Тип:
Система
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Тип управления:
Цифровое управление, настройка давления подачи воздуха, регулируемая мощность
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
244 × 474 × 310
Скорость обработки поверхности, мм/с:
10 — 300
Эффективный диапазон очистки, мм:
50
Выходная мощность, Вт:
300 — 1000
Вакуумная плазменная система для обработки поверхности ERSTEVAK COWIN 40
Тип:
Вакуумная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Тип управления:
Ручное и автоматическое
Генератор:
20~100 кГц (макс. 300 Вт)/ 13,56 МГц (макс. 300 Вт)
Газовые линии:
Макс. 4 линии (500 см3)
Лабораторная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-L7
Тип:
Лабораторная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
755 × 793 × 1500
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
16
Лабораторная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-L1
Тип:
Лабораторная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
590 × 450 × 420
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
SMC
Скорость откачки, м³/ч:
8
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I8
Тип:
Промышленная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
930 × 990 × 1754
Предельный вакуум, Па:
2
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
60
Система плазменной очистки на атмосфере ERSTEVAK EV-ATMO-DR
Тип:
Система
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Тип управления:
Цифровое управление, настройка давления подачи воздуха, регулируемая мощность
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
244 × 474 × 310
Скорость обработки поверхности, мм/с:
10 — 300
Эффективный диапазон очистки, мм:
2 — 10
Выходная мощность, Вт:
300 — 1000
Лабораторная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-L6
Тип:
Лабораторная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
755 × 825 × 1550
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
SMC
Скорость откачки, м³/ч:
16
Атмосферно-плазменная система ERSTEVAK WIDE-FLUX 150
Тип:
Атмосферно-плазменная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Тип управления:
Ручное и автоматическое
Генератор:
13,56 МГц (макс. 300 Вт)
Система плазменного и реактивно-ионного травления ERSTEVAK CIONE 4
Тип:
Система
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Тип управления:
Ручное и автоматическое
Генератор:
20~100 кГц (макс. 100 Вт)
Газовые линии:
Макс. 3 линии (100 см3/мин)
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I4
Тип:
Промышленная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
630 × 730 × 1430
Предельный вакуум, Па:
2
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
16
Оформить заказ
Ваш вопрос принят
Отправить новый вопрос
Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время!
Ваше имя
* Введены некорректные данные!
Ваш e-mail
* Введены некорректные данные!
Ваш телефон
* Введены некорректные данные!
Ваше сообщение
* Введены некорректные данные!
Введите символы с картинки
*
Отправить
Нажимая кнопку «Отправить», я соглашаюсь с условиями Политики в отношении обработки персональных данных
WhatsApp