Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
На этой странице мы поможем подобрать оборудование для решения вашей задачи или проблемы с минимальными сроками и максимальной вовлеченностью с нашей стороны
- В наличии
product-card
Описание товара отсутствует
- Производитель
- ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па
- 1
- Вакуумметр
- SMC
- Скорость откачки, м³/ч
- 16
- Мощность, Вт
- 300
- Материал камеры
- Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
- Дисплей
- 4.3"
- Программное обеспечение
- Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и повторяемая, многоязычная
- Напряжение питания, В
- 220
- Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
- 600 × 550 × 580
- Частота, МГц
- 13.56
- Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
- Автоматическое согласование полных сопротивлений
- Режим разрядки
- RIE
- Производительность, л
- 13.5
- Электрод
- Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
- Габариты камеры, мм
- 240 × 280 × 200
- Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
- 230 × 205
- Слои для обработки
- 1
- Расстояние между монослоями, мм
- 75 — 80
- Регулятор расхода газа
- Высокоточный поплавковый игольчатый клапан
- Интенсивность потока, мл
- 0 — 500
- Газовый канал
- 2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).
- Вакуумная линия
- Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан
- Программируемый логический контроллер
- Panasonic
- Размер воздушной трубки, мм
- Ø8
- Частота газа
- 99.999%
- Выхлопное отверстие
- KF25
- Равномерность
- ≤±15%
- Минимальное давление газа, МПа
- 0.3
- Максимальное давление газа, МПа
- 0.6
- Масса, кг
- 80
Товары из этой же серии
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 50
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 55
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 200
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 600
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC (По запросу — Пирани)
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 200
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Масса, кг: 65
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 300
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Мощность, Вт: 500
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Масса, кг: 300
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Мощность, Вт: 500
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Масса, кг: 80
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Не забудьте купить
- Напряжение, В: 220
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Масса, кг: 1025
- Конструкция: модульный
- Минимальное значение точки росы, °С: -70
- Максимальное значение точки росы, °С: -40
В корзину
1
- Артикул: EVCLIM-КД 1000-IP1-4
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Расход воды, л/мин: 0.1 — 0.6
- Мощность, кВт: 5
- Краткое название: Камера дождя ERSTVAK EVCLIM-КД 1000-IP1-4
- Электропитание: 380 В, 50 Гц + земля + нейтраль
В корзину
1
- Режим работы: Нагнетание
- Мощность электродвигателя, кВт: 184
- Артикул: MAX250-C100
- Производитель: TurboMAX Co. Ltd.
- Краткое название: Воздуходувка TurboMAX MAX250-C100
- Напряжение питания, В: 440
В корзину
1
- Артикул: 893-EMT900MCWB-00
- Габаритные размеры, мм: 264x401-407
- Производитель: Ebara
- Предельное остаточное давление, мбар: 10^(-10)
- Производительность по азоту, л/с: 900
- Краткое название: Вакуумный насос EBARA EMT900M-CWB
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Модель: AGP-HV-CF1000M
- Длина, мм: 927
- Размер фланца: DN200
- Назначение: Промышленный
- Внутренний диаметр, мм: 232
В корзину
1
- Габаритные размеры, мм: 650*850*1850
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Испаритель: Пластинчатый теплообменник
- Компрессор: Emerson Copeland/Спиральный компрессор
- Тип управления: PID-контроллер, специальный расчет динамического управления, PLC-контроллер
- Хладагент: R-404A/R507C (По запросу – R448A)
В корзину
1
- Режим работы: Нагнетание
- Мощность электродвигателя, кВт: 2.2
- Производитель: Kubicek VHS, s.r.o.
- Краткое название: Воздуходувка РУТС KUBICEK 3D19B-050
- Производительность, м³/ч: 150
- Уровень шума, дБ(А): 71
В корзину
1
- Габаритные размеры, мм: 805 × 560 × 663
- Производитель: PIV
- Масса арматуры, кг: 3
- Выталкивающее усилие - удар, кН: 6
- Охлаждение: Воздушное
- Диаметр арматуры, мм: 150
В корзину
1
- Режим работы: Нагнетание
- Мощность электродвигателя, кВт: 294
- Артикул: MAX400-C100
- Производитель: TurboMAX Co. Ltd.
- Краткое название: Воздуходувка TurboMAX MAX400-C100
- Напряжение питания, В: 440
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Длина, мм: 104.7
- Фланцевое соединение: ISO63
- Предельное остаточное давление, Торр: 10Е-8
- Картинка webp: /upload/iblock/armatura/webp/IMG_2798.webp
- Рабочая температура, °С: от -20 до 150
В корзину
1
Вы смотрели
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 2
- Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Масса, кг: 350
- Скорость откачки, м³/ч: 60
- Мощность, Вт: 600
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Максимальная температура, °C: 1150
- Количество муфелей: 2
- Габаритные размеры (вод. охл.), мм: 13.5 × 1.9 × 1.6
- Длина зоны нагрева, мм: 7300
- Рабочий газ: H₂
В корзину
1
Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?
