Универсальный газовый анализатор (упрощенная версия) SRS ULT100

Производитель

Stanford Research Systems

Серия

ULT

Страна

США

Диапазон регистрируемых масс, а.е.м.

100

Время выхода на режим, мин

8

Разрешение (на уровне 10% высоты пика), а.е.м.

0.5

Предел обнаружения на входе FC (1 бар), <ppm

10

Предел обнаружения на входе CDEM (1 бар), ppm

1

Время отклика, < мс

200

Внутреннее рабочее давление FC, мбар

10⁻⁴

Внутреннее рабочее давление CDEM, мбар

10⁻⁶

Насос высокого давления

Гибридный турбомолекулярный насос

Производительность высоковакуумного насоса, м³/ч

294.6

Предельно остаточное давление высоковакуумного насоса, мбар 

5 × 10⁻⁹

Форвакуумный насос

Усовершенствованный мембранный насос 

Производительность форвакуумного насоса, м³/ч

0.78

Макс. уровень вакуума форвакуумного насоса, мбар

1

Режимы измерения

Управление аппаратным обеспечением

Длина, мм

688

Высота, мм

279

Ширина, мм

305

Масса, кг

38.6