Производители

Вакуумные печи

Вакуумная печь – это промышленная термоустановка, которая позволяет проводить обработку различных материалов (преимущественно металлов и их сплавов) в условиях повышенной температуры и низкого давления

Главная
Каталог
Вакуумное оборудование
Кварцевые датчики толщины напыления

Кварцевые датчики толщины напыления

Получить каталог вакуумного оборудования

Оставьте контактный номер, с вами свяжется наш инженер

Ваш телефон Получить

Кварцевые датчики толщины напыления ERSTEVAK

Подробности

Компания ЭРСТВАК предлагает к поставке кварцевые кристаллы с частотой 5 или 6 МГц с электродами из серебра, золота и сплава.

Кварцевые кристаллы широко применяются в вакуумных установках напыления тонких пленок для контроля толщины и скорости осаждения покрытий. Работа данных кристаллов основана на изменении собственной частоты колебаний в зависимости массы нанесенного на кристалл покрытия.

На заводе изготовителе кристаллы проверяются на начальную частоту колебаний, внешний вид (дефектность), сопротивление электрода и адгезию.

Для правильного выбора кварцевого кристалла необходимо учитывать специфику технологического процесса напыления покрытий. Золотые кристаллы рекомендуются для большинства применений из-за их низкого сопротивления электрода и высокой химической стабильности. Серебряные кристаллы применяются для контроля осаждения тонких пленок при высоких температурах. Кристаллы из сплавов применяются в тех случаях, когда напыляемое вещество может вступить в химическую реакцию с материалом электрода, а также при напылении оптических покрытий.

Также мы предлагаем широкий ассортимент контроллеров, держателей кварцевых кристаллов и осцилляторов для комплектации систем напыления.

Особенности

Плоско-выпуклая форма кристаллов с АТ-срезом обеспечивает уменьшение влияния на частоту колебаний в следствие нагрева кристалла для обеспечения большей точности измерения.
Улучшение адгезии электрода к кристаллу в следствие наличия адгезионного слоя обеспечивает надежность и длительный срок службы кристаллов.
Совместимость с держателями кварцевых кристаллов и осцилляторами разных производителей, например Inficon. Возможность изготовления кристаллов с различными материалами адгезионного слоя, электрода и рабочей частоты.

Модель	Кварцевый кристалл EV-5-14-Ag 5 МГц Серебро 14 мм	Кварцевый кристалл EV-6-14-Ag 6МГц Серебро 14 мм	Кварцевый кристалл EV-6-14-Au 6 МГц Золото 14 мм	Кварцевый кристалл EV-5-14-AL 5 МГц Сплав 14 мм	Кварцевый кристалл EV-5-14-Au 5 МГц Золото 14 мм	Кварцевый кристалл EV-6-14-AL 6 МГц Сплав 14 мм
Материал электрода с плоской стороны	Серебро	Серебро	Золото	Хром (Cr)/Золото (Au)	Золото	Хром (Cr)/Золото (Au)
Материал электрода с выпуклой стороны	Серебро	Серебро	Золото	Хром (Cr)/Золото (Au)	Золото	Хром (Cr)/Золото (Au)
Частота, МГц	4.960	5. 985	5. 985	4.960	4.960	5. 985
Номинальная частота, МГц	5.000	6.000	6.000	5.000	5.000	6.000
Сопротивление, Ом	<15	<15	<15	<15	<15	<15
Диаметр пластины, мм	13.97±0.03	13.97±0.03	13.97±0.03	13.97±0.03	13.97±0.03	13.97±0.03
Форма кристаллов	Плоско-выпуклые	Плоско-выпуклые	Плоско-выпуклые	Плоско-выпуклые	Плоско-выпуклые	Плоско-выпуклые
Шунтирующая емкость, пФ	<7	<7	<7	<7	<7	<7
Рабочая температура	0℃ ～ +70℃	0℃ ～ +70℃	0℃ ～ +70℃	0℃ ～ +70℃	0℃ ～ +70℃	0℃ ～ +70℃
Угол среза	Кварц АТ-среза	Кварц АТ-среза	Кварц АТ-среза	Кварц АТ-среза	Кварц АТ-среза	Кварц АТ-среза

Модель	Кварцевый кристалл EV-5-25.4-Ag 5 МГц Серебро 25,4 мм	Кварцевый кристалл EV-5-25.4-Au 5 МГц Золото 25.4 мм	Кварцевый кристалл EV-6-25.4-Ag 6 МГц Серебро 25,4 мм	Кварцевый кристалл EV-6-25.4-Au 6 МГц Золото 25,4 мм	Кварцевый кристалл EV-6-25.4-AL 5 МГц Сплав 25,4 мм	Кварцевый кристалл EV-5-25.4-AL 5 МГц Сплав 25,4 мм
Материал электрода с плоской стороны	Серебро	Золото	Серебро	Золото	Хром (Cr)/Золото (Au)	Хром (Cr)/Золото (Au)
Материал электрода с выпуклой стороны	Серебро	Золото	Серебро	Золото	Хром (Cr)/Золото (Au)	Хром (Cr)/Золото (Au)
Частота, МГц	4.960	4.960	5. 985	5. 985	5. 985	4.960
Номинальная частота, МГц	5.000	5.000	6.000	6.000	6.000	5.000
Сопротивление, Ом	<15	<15	<15	<15	<15	<15
Диаметр пластины, мм	25.4±0.01	25.4±0.01	25.4±0.01	25.4±0.01	25.4±0.01	25.4±0.01
Форма кристаллов	Плоско-выпуклые	Плоско-выпуклые	Плоско-выпуклые	Плоско-выпуклые	Плоско-выпуклые	Плоско-выпуклые
Статическая емкость, пФ	<40	<40	<40	<40	<40	<40
Рабочая температура	-20℃ ～ +450℃	-20℃ ～ +450℃	-20℃ ～ +450℃	-20℃ ～ +450℃	-20℃ ～ +450℃	-20℃ ～ +450℃
Угол среза	Кварц АТ-среза	Кварц АТ-среза	Кварц АТ-среза	Кварц АТ-среза	Кварц АТ-среза	Кварц АТ-среза

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму, и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время!

Ваше имя * Введены некорректные данные!

Ваш e-mail * Введены некорректные данные!

Ваш телефон * Введены некорректные данные!

Ваше сообщение * Введены некорректные данные!

Введите символы с картинки*

Нажимая кнопку «Отправить», я соглашаюсь с условиями Политики в отношении обработки персональных данных