Оборудование

Насосы EBARA серии ESR

Картинка ESR

Вакуумный насос EBARA ESR201W-LT

Тип: Вакуумный
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 1200
Предельное остаточное давление, мбар: 0.0013
Мощность электродвигателя, кВт: 1.9
Заказать
Тип: Вакуумный
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 1200
Предельное остаточное давление, мбар: 0.0013
Мощность электродвигателя, кВт: 1.9

Вакуумный насос EBARA ESR500WN

Тип: Вакуумный
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 2800
Предельное остаточное давление, мбар: 0.002
Мощность электродвигателя, кВт: 3.1
Заказать
Тип: Вакуумный
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 2800
Предельное остаточное давление, мбар: 0.002
Мощность электродвигателя, кВт: 3.1

Вакуумный насос EBARA ESR300WN

Тип: Вакуумный
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 1800
Предельное остаточное давление, мбар: 0.002
Мощность электродвигателя, кВт: 2.9
Заказать
Тип: Вакуумный
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 1800
Предельное остаточное давление, мбар: 0.002
Мощность электродвигателя, кВт: 2.9

Вакуумный насос EBARA ESR100WN

Тип: Вакуумный
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 600
Предельное остаточное давление, мбар: 0.002
Мощность электродвигателя, кВт: 1
Заказать
Тип: Вакуумный
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 600
Предельное остаточное давление, мбар: 0.002
Мощность электродвигателя, кВт: 1

Вакуумный насос EBARA ESR200WN

Тип: Вакуумный
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 1200
Предельное остаточное давление, мбар: 0.0013
Мощность электродвигателя, кВт: 1.1
Заказать
Тип: Вакуумный
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 1200
Предельное остаточное давление, мбар: 0.0013
Мощность электродвигателя, кВт: 1.1

Вакуумный насос EBARA ESR80WN

Тип: Вакуумный
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 510
Предельное остаточное давление, мбар: 0.002
Мощность электродвигателя, кВт: 1
Заказать
Тип: Вакуумный
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 510
Предельное остаточное давление, мбар: 0.002
Мощность электродвигателя, кВт: 1

Вакуумный насос EBARA ESR30N

Тип: Вакуумный
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 180
Предельное остаточное давление, мбар: 0.0067
Мощность электродвигателя, кВт: 1.7
Заказать
Тип: Вакуумный
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 180
Предельное остаточное давление, мбар: 0.0067
Мощность электродвигателя, кВт: 1.7

Вакуумный насос EBARA ESR20N

Тип: Вакуумный
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 120
Предельное остаточное давление, мбар: 0.02
Мощность электродвигателя, кВт: 0.7
Заказать
Тип: Вакуумный
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 120
Предельное остаточное давление, мбар: 0.02
Мощность электродвигателя, кВт: 0.7

Насосы серии ESR прекрасно подходят для многих применений от откачки шлюзовых камер и электронной микроскопии до химического осаждения CVD и откачки химически-активных газов. При этом являются одними из самых энергоэффективных сухих насосов на современном рынке вакуумного оборудования. Подходят для работы в чистых помещениях. Роторы насосов сделаны из специальных коррозионностойких. Насосы данной серии предназначены для применения в процессах высокотемпературной обработки, осаждения тонких плёнок, ионно-плазменного травления, а также откачки вакуумных камер большого объёма Для применения в "чистых" технологических процессах продувка азотом не требуется. Отличительной чертой данной серии является очень высокая химическая стойкость.

Технические характеристики

Насосы EBARA ESR.jpg

Характеристики моделей ESR20N ESR30N ESR80WN ESR100WN ESR200WN ESR300WN ESR500WN
Быстрота действия, м3 78-120 180 240-510 600 600-1200 1800 2760
Предельное остаточное давление, Па 0,67 0,67 0,2 0,2 0,13 0,2 0,2
Потребляемая мощность (макс/ при pост), кВт 2,5/0,55 3,5/1,7 4,5/0,8 4,5/1,0 5,0/0,8 7,5/2,9 7,9/3,1
Размер фланцев (вход/выход) NW40/NW40 NW50/NW40 NW50/NW40 ISO100/NW40 ISO100/NW40 NW100/NW40 NW100/NW40
Водяное охлаждение, л/мин 2 2 2 2 2 3,5 3,5-8
Расход азота на продувку, л/мин 2-12 2-12 2-12 2-12 2-12 2-12 2-12
Габаритные размеры, мм 635х280х320 760х400х458 660х380х655 704х380х705 790х380х644 825х460х880 1092х460х955
Масса, кг 90 190 180 180 250 390 500

Скачать каталог

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время клиентов!
Введите символы с картинки*
WhatsApp