Насосы EBARA серии EV-PA

Описание

Универсальные винтовые вакуумные насосы серии EV-PA — это надежное решение для отраслей, где предъявляются высокие требования к чистоте вакуума, таких как полупроводниковая промышленность, процессы нанесения тонких пленок, фотолитография, биомедицинская и фармацевтическая промышленность. Агрегаты EV-PA не требуют ежегодного технического обслуживания, так как не имеют в рабочей камере пар трения и обеспечивают низкую стоимость эксплуатации.

Данная серия насосов может контролироваться удалённо, благодаря встроенному интерфейсу удаленного доступа. Насосы винтовой конструкции одни из самых стойких к загрязнениям и отлично подойдут для замены спиральных и роторно-пластинчатых насосов.

Особенности и преимущества

• Компактные габаритные размеры и минимальная масса
• Большой межсервисный интервал
• Воздушное охлаждение
• Низкий уровень шума
• Энергоэффективность
• Встроенный обратный клапан на выходе
• Встроенный LCD дисплей
• Возможность удалённого управления

Области применения

Насосы подойдут для широкого спектра применений за счет своей универсальности и неприхотливости. А безмасляный принцип сжатия подойдет для «чистых» лабораторных и научных применений.

• Научные исследования
• Электронная микроскопия
• Различные аналитические установки
• «Чистые» вакуумные применения
• Масс-спектрометры
• Течеискатели
• Анализаторы поверхностей
• Ускорители частиц
• Вакуумные камеры небольшого объема

Технические характеристики