Зондовые станции с функциями нагрева и охлаждения SEMISHARE серии C

Описание

Прецизионные ручные зондовые станции серии C производства компании SEMISHARE разработаны для контроля параметров полупроводниковых компонентов в экстремальных температурных условиях. Станции обеспечивают полный цикл испытаний — от анализа материалов до высокочастотных измерений — в диапазоне температур от -60°C до +300°C. Благодаря входящей в состав конструкции экранированной камеры, станции серии C способны создавать светонепроницаемую среду для измерений без электромагнитных и радиочастотных помех. Оборудование находит применение в различных исследованиях, включая:

• измерения с сверхнизким уровнем шума
• тестирование сверхмалых токов утечки на уровне фемтоампер
• характеризация и моделирование устройств
• испытания на надежность на уровне пластины
• анализ отказов
• разработка технологических процессов
• разработка и испытания устройств в ВЧ/миллиметровых волн в диапазоне температур от -60°C до +300°C

Основные составляющие станции

Микроскоп с непрерывным зумом

• Микроскоп с 21-кратным непрерывным зумом, плавным изменением увеличения и малым смещением центра. Диапазон увеличения от 0,75x до 5,25x. Совместим с внешними металлографическими объективами.
• Встроенный интерфейс C-mount для подключения опциональных камер на 2 Мп и 8 Мп.
• Диапазон перемещения микроскопа в плоскости X-Y: до 50×50 мм, точность перемещения до 1 мкм.
• Пневмоподъем микроскопа на 50 мм для удобной замены объектива.

Платформа с микропозиционированием и подъемом

• Платформа может точно регулироваться по вертикали в диапазоне хода 0–40 мм (в зависимости от конфигурации держателя) с точностью позиционирования 1мкм.
• Пневматический быстрый подъем платформы с ходом 2 мм.
• Эргономичные маховики для комфортного управления:
  •   Точная регулировка платформы в диапазоне 0–300 мкм
  •   Быстрый подъем тумблером в диапазоне 0–5 мм

Пневматическая подвижная платформа

• Два режима перемещения:
  •   Режим точного перемещения: перемещение по осям X-Y без люфта с точностью 1 мкм.
  •   Режим быстрого перемещения: плавное и быстрое перемещение на воздушной подушке для быстрого достижения позиции измерения.

Система держателей образцов

• Центральное вакуумное отверстие и многоконтурное вакуумное кольцо для фиксации образцов. Каждый вакуумный канал управляется независимо.
• Пористая структура для вакуумного крепления (опционально).
• Трехосная структура обеспечивает низкий ток утечки (уровень A), электрически независимая подвеска, с трехосными электрическими интерфейсами.

Закрытая камера

• Экранирование от внешних электромагнитных помех.
• Создание среды с низким уровнем шума и тока утечки.
• Защита образца от конденсации при низких температурах за счет подачи азота или создания избыточного давления.
• Уникальная система продувки камеры для предотвращения обледенения при низких температурах.
• Механизм быстрого отвода для оперативной замены образцов.

Температурный модуль

• Диапазон рабочих температур: -100…+300°C(сжиженный азот) / -60…+300°C (воздушное охлаждение).
• Стабильность температуры: ±0,1°C.
• Разрешение по температуре: 0,01°C.
• Высокая скорость нагрева и охлаждения.

Управление вакуумными каналами держателя

• Тумблер вакуумного включения для быстрого открытия/ закрытия вакуумных отверстий держателя.

Дополнительные опции

1. Крепление для зондовой карты
2. Высокомощный держатель для тестов с высоким напряжением и большим током
3. Восьмигранная конструкция корпуса для обеспечения повышенной герметичности камеры
4. Позолоченный держатель для снижения контактного сопротивления
5. Высокоэффективная антивибрационная система для стабильного контакта и четкого изображения
6. Экранирующая камера для создания условий полной темноты и обеспечения повышенного электромагнитного экранирования

Технические характеристики