НАНЕСЕНИЕ ТОНКОЙ ПЛЕНКИ
Ведущие на рынке контроллеры тонкопленочного осаждения, мониторы и измерительные приборы на основе кварцевых микровесов ( англ. quartz crystal microbalance, QCM)компании INFICON контролируют скорость и толщину осаждения в самых сложных процессах с непревзойденной скоростью и точностью измерений. Усовершенствованное программное обеспечение и функции логического ввода/вывода позволяют полностью интегрировать наши контроллеры тонкопленочного осаждения и измерительные приборы QCM в вакуумную систему для автоматического управления технологическим процессом. Для управления менее сложными процессами используйте экономичные прецизионные контроллеры INFICON, мониторы и измерительные приборы QCM, которые измеряют пленки со стократно большей точностью, чем обычные методы.
Типичная система QCM включает кварцевый кристалл, который является чувствительным устройством, держатель кристалла (датчик), который удерживает кристалл и обеспечивает электрические соединения с кристаллом, осциллятор (или XIU для инструментов ModeLock), который управляет кристаллом, и контроллер или монитор, который считывает скорость и толщину осаждения и сохраняет параметры процесса. INFICON предлагает как полные системы QCM, так и отдельные компоненты, предназначенные для исследовательских приложений.
От самого простого до самого сложного процесса INFICON обеспечивает превосходную ценность.
Контроллеры осаждения тонких пленок
Контроллер осаждения позволяет контролировать скорость процесса осаждения с помощью датчика QCM. INFICON предлагает контроллер напыления, отвечающий вашим потребностям, от самых простых до самых функциональных. EIES — это альтернативная технология контроля расхода/толщины для определенных применений, где QCM не применима.
Мониторы осаждения тонких пленок
Монитор осаждения тонких пленок аналогичен контроллеру осаждения, но более прост для применений, где не требуется контроль скорости или сложная системная интеграция. Мониторы осаждения INFICON обеспечивают надежное, ведущее в отрасли качество, которое вы ожидаете от INFICON, в простом и легком в использовании исполнении.
Кварцевые датчики и вакуумные вводы
Датчик содержит и охлаждает кварцевый кристалл, а также обеспечивает электрическое соединение между кристаллом и вводом. Датчики INFICON доступны в широком диапазоне конфигураций, а также доступны в комбинациях датчик + вакуумный ввод для полного индивидуального решения!
Кварцевые кристаллы для вакуумных процессов
Кварцевый кристалл является элементом измерения скорости роста и толщины пленки в системе QCM. Эти кристаллы предназначены для вакуумных процессов со всеми стандартными мониторами и контроллерами INFICON, а также с одинарными, двойными или многокристальными датчиками INFICON (или других производителей). Наше портфолио включает в себя широкий выбор кристаллов и вариантов упаковки. Кроме того, INFICON может доставить нужные вам кристаллы, когда они вам нужны.
Контроль процессов полупроводниковой промышленности
Оборудование Inficon можно использовать в полупроводниковой промышленности для определение конца процесса и устранения неисправностей путем контроля количества прекурсора в форвакуумной линии или на выходе камеры. Использование QCM во время процесса обеспечивает доступное наблюдение за процессом и повышение эффективности полупроводникового производства.