Приборы измерения и контроля вакуума

Вакуумметры

Контроллеры вакуума

Фильтры

Страна

Германия
Российская Федерация
Швейцария

Степень защиты

IP20
IP30
IP40
IP40 (IP54)
IP54
IP65

Производитель

ERSTVAK
INFICON
Thyracont
Физтех

Катод

Вольфрам
Керамическое покрытие
Никель

Максимальная температура прогрева, °С

Температура хранения

-20 — +60
-20 — +65
-20 — +70
-20 — +80
-40 — +65
-40 — +70

Внутренний объем, см³

От

До

Фланец

DN25 ISO-KF
DN40 CF-F
DN40 ISO-KF

Масса, кг

От

До

Время отклика, с

От

До

Диапазон измерений, мбар

1000 - 1 x10^(-4)
1000 - 5*10^-10
1000 - 5*10^-9

Точность измерений, %

От

До

Максимальное давление (абс.), кПа

От

До

Температура хранения, °C

-20 — +65
-20 — +70
-40 — +65
-40 — +70

Диаметр корпуса, мм

От

До

Резьба штуцера

М12х1,5
М20х1,5

Класс точности

От

До

Разрешение

a:2:{s:4:"TEXT";s:82:"2-разрядный с показателем степени экспоненты";s:4:"TYPE";s:4:"HTML";}
a:2:{s:4:"TEXT";s:8:"1 бар";s:4:"TYPE";s:4:"HTML";}
a:2:{s:4:"TEXT";s:96:"< 1 мбар: 2-разрядный с показателем степени экспоненты";s:4:"TYPE";s:4:"HTML";}

Рабочая температура, °С

+10 — +40
+5 — +60
+5 — +50
+5 — +60
+5 — +60 (Profinet +5 — +50)
+50 — +60

Дисплей

LCD 12 мм
ЖК-дисплей со светодиодной подсветкой
по запросу OLED + Pad

Потребляемая мощность

0.8 Вт для EtherCAT
2.5 Вт (0.8 Вт доп., реле, ЖКД)
30 мА
Макс. 0.6 Вт при напряжении питания 24 В постоянного тока
Макс. 1 Вт при напряжении питания 24 В постоянного тока
Макс. 1.0 Вт при напряжении питания 24 В постоянного тока
Макс. 1.5 Вт при напряжении питания 24 В постоянного тока
доп 1.6 Вт для Profinet)

Максимальное избыточное абсолютное давление, бар

От

До

Повторяемость

% от показаний ±5
1 x 10-2 мбар:± 5% от показания
10 — 1x10^-2 мбар: ±5% от показания
10^-8 — 10^-2 мбар % от показаний ±5%
10^-8 — 10^-2 мбар от показаний ±5
20 — 0.002 мбар 2% от показаний
40 — 1x10^-2 мбар: ±2% от показания
5% (1x10^-2 — 1x10^-8 мбар)

Дегазация

p<5.00х10^-5 Торр (программируется в диапазоне 2 ... 10 мин)
p<7.2х10^-6 мбар (электронная бомбардировка, максимум 3 мин)
Нагрев анода электрическим током

Максимальная температура вакуума, °C

+125 на фланце
+150 на фланце
+80 на фланце
180 на фланце (гальванически развязан с электронными компонентами)

Интерфейс

Mini-USB, тип B, 5-контактный, протокол Virtual Com Port
RS485: 9.6 — 115 Кбит/с, 8 бит данных, 1 стоп-бит, без контроля четности, EtherCAT, Profinet

Коммутационные выходы

2 реле, беспотенциальные, 49 В AC / 2 А или 30 В DC / 2 А, максимум 60 ВА EtherCAT, Profinet
2 реле, беспотенциальные, 49 В AC / 2 А или 30 В DC / 2 А, максимум 60 ВА кроме EtherCAT, Profinet

ЖК-дисплей

Да
Нет

Масса, г

От

До

Скорость снятия показаний, с

1 — 6000
IP54

Диапазон измерений (воздух, N2), мбар (Торр)

1х 10^-9 — 1х10^-2 мбар (7.6х10^-10 — 7.6х10^-3 Торр)
1х10^-9 — 1000 мбар (7.6 × 10^-10 — 760 Торр)
5х10^(-9) — 1000 (3.8x10^(-9) — 760)

Допустимое давление (абс.), бар

10 (ограничение для инертных газов <55°C)
10, ограничение для инертных газов
≤10 (ограничивается инертным газом)
≤5

Рабочая температура (окр. среды), °C

+10 — +50
+5 — +50
+5 — +55
0 — +40
0 — +50

Макс. температура прогрева, °C

150
200 (только датчик, электроника удалена)
450
… +150
≤110
≤150

Энергопотребление, Вт

≤2
≤45
≤65
≤90

Зависимость напряжение – давление, В на декаду

1
Логарифмическая функция, 0.6
Логарифмическая, 0.75 В/декада
Логарифмическое соотношение 1.286

Сигнал ошибки, В

<0.5 (нет подачи энергии), >9.5 (датчик Пирани, разрушение катода)
> +10

Выходное полное сопротивление, Ом

2x10
2х4.7

Полное сопротивление нагрузки, кОм

10, защита от короткого замыкания
>10

Макс. время отклика p>10^-6 мбар, мс

От

До

Идентификация датчика, кОм

27.0, по отношению к общему выходу источника питания
85
100
27.0, по отношению к общему выходу источника питания
85, по отношению к общему источнику питания

Кабель датчика

8 контактов, экранирование
Экранированный 8-жильный

Максимальная длина кабеля (8 × 0.14 м²), м

От

До

Масса c фланцем DN 25 ISO-KF, г

От

До

Масса c фланцем DN 40 CF-F, г

От

До

Точность (N2)

1 × 10^(-8) — 1 × 10^(-2) мбар % от показаний 30
100 — 1000 мбар % от показаний 50
100 — 1000 мбар % от показаний ±50
950 — 1050 мбар % от показаний ±2.5

Повторяемость (N2)

1x10^-3 — 1100 мбар % от показаний ±2
1х10^-2 — 100 мбар % от показаний 5
1х10^-3 — 100 мбар % от показаний ±2
1х10^-8 —1х10^-2 мбар % от показаний 5

Цифровые функции

Дегазация и контроль эмиссии
Дегазация, включение/выключение нити накаливания и контроль эмиссии
Счетчики контролируют состояние датчика, возможность определения поведения в случае ошибки

Материал катода

Вольфрам
Керамическое покрытие
Никель

Диапазон измерений, мбар (Торр)

5х10^-5 — 1000 (3.8х10^-5 — 750)
5х10^-5 — 1500 (3.8х10^-5 — 1125)

Максимальное давление (абс.), бар

2
10
p < 7.2 × 10^(-6) мбар, электронная бомбардировка (не более 3 мин.) ≈ 16 мА (Pdegas ≈4 Вт)

Макс. температура прогрева на фланце, °C

80/250
≤80

Диапазон (N2), мбар

5x10^-5 — 1000
5x10^-5 — 1500

Контакт реле

Замыкающий, сухой контакт
Плавающий переключающий контакт

Максимальное время переключения, мс

От

До

Контрольные точки

2
Нет

Цифровой интерфейс

RS232C
RS485
USB slave, ведущий/Ethernet, USB Тип A (стик), USB Тип B, FCC68/RJ45
Порт для диагностики

Температурный эффект на нуле, % F.S./°С

0.005
0.015
0.02

Температурный эффект в диапазоне, % F.S./°С

0.01
0.03

Выходной аналоговый сигнал, В

0 — +10
0 — +10.5
0 — +9 (логарифмическая функция)
0 — 10 постоянного тока
0 — 10.3, аналоговый выходной сигнал датчика

Реле уставки

1 А при 30 В (постоянного тока) резистивного или В (переменного тока) неиндуктивного напряжения
2
2 шт
4
6
нет (число уставок)

Состояние нити накаливания

LED / реле
Дисплей/цифровой выход

Рентгеновский предел, Торр

2х10^-11
4х10^-10

Чувствительность (N2, типовая)

10 Торр^-1
25 Торр^-1

Электронная бомбардировка (EB) при дегазации

70 Вт номинально, ≤100 Вт
≤100 Вт
≤40 Вт

Ток нагрева на катоде, А

2.5 — 3.5
4 — 6

Потенциал на катоде, В

+30 постоянного тока
30 постоянного тока

Материал анода

Вольфрам (W), Ø0.005''
Вольфрам (W), Ø0.010''

Материал катода (нить накаливания)

Двойной иридий (Ir), или двойной вольфрам (W)
Двухслойное покрытие из вольфрама (W)
Одно/двухслойное иттриевое покрытие Ir или двухслойное W
Однослойное покрытие из иридия (Ir)

Общая длина, дюйм

4⅛
6

Материал фланцев

SS AISI 304
Стекло Nonex 7720

Каналы измерения

Двухканальный
Одноканальный
Трехканальный

Назначение канала

1
1 или 2
1, 2 или 3

Гистерезис

На 10% выше нижнего порога
Регулируемый

Программируемый аналоговый выход

От

До

Мин. напряжение питания (постоянный ток), В

От

До

Макс. напряжение питания (постоянный ток), В

От

До

Максимальное напряжение выходного сигнала, В

От

До

Мин. напряжение питания датчика (пост. ток), В

От

До

Максимальная потребляемая мощность, Вт

От

До

Электропитание

Аккумулятор 9 В или внешний источник питания 12 — 15 В постоянного тока
Питание мостовой схемы зависит от заявленной цепи
номинальное значение 24 В

Стандарты

CSA 22.2 No. 61010-1
EN 61010-1

Потребляемая мощность, Вт

0.300000
0.800000

Комбинированный вакуумметр THYRACONT VSL54D

Страна: Германия
Степень защиты: IP40 (IP54)

Производитель: Thyracont
Температура хранения: -40 — +65
Время отклика, мс: 40
Выходной сигнал: 0-10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 1.5 — 8.58 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка (по умолчанию) кроме EtherCAT, Profinet

В корзину

Широкодиапазонный вакуумметр THYRACONT VSI17DL

Страна: Германия
Степень защиты: IP54

Производитель: Thyracont
Анод: Молибден
Температура хранения: -40 — +65
Время отклика, мс: 50 (включение холодного катода <2 с)

В корзину

Широкодиапазонный вакуумметр THYRACONT VSI18DL

Страна: Германия
Степень защиты: IP54

Производитель: Thyracont
Анод: Молибден
Температура хранения: -40 — +65
Время отклика, мс: 50 (включение холодного катода <2 с)

В корзину

Широкодиапазонный вакуумметр THYRACONT VSI19DL

Страна: Германия
Степень защиты: IP54

Производитель: Thyracont
Анод: Молибден
Температура хранения: -40 — +65
Время отклика, мс: 50 (включение холодного катода <2 с)

В корзину

Широкодиапазонный вакуумметр THYRACONT VSI17E

Страна: Германия
Степень защиты: IP54

Производитель: Thyracont
Анод: Молибден
Температура хранения: -40 — +65
Время отклика, мс: 50 (включение холодного катода <2 с)

В корзину

Широкодиапазонный вакуумметр THYRACONT VSI18E

Страна: Германия
Степень защиты: IP54

Производитель: Thyracont
Анод: Молибден
Температура хранения: -40 — +65
Время отклика, мс: 50 (включение холодного катода <2 с)

В корзину

Широкодиапазонный вакуумметр THYRACONT VSI19E

Страна: Германия
Степень защиты: IP54

Производитель: Thyracont
Анод: Молибден
Температура хранения: -40 — +65
Время отклика, мс: 50 (включение холодного катода <2 с)

В корзину

Комбинированный вакуумметр THYRACONT VSL53D

Страна: Германия
Степень защиты: IP40 (IP54)

Производитель: Thyracont
Температура хранения: -40 — +65
Время отклика, мс: 40
Выходной сигнал: 0-10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 1.5 — 8.58 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка (по умолчанию) кроме EtherCAT, Profinet

В корзину

Комбинированный вакуумный датчик THYRACONT VSP63MA4

Страна: Германия
Степень защиты: IP54

Производитель: Thyracont
Температура хранения: -20 — +65
Время отклика, мс: 200
Выходной сигнал: 0-10 В постоянного тока, минимум 10 кОм

В корзину

Комбинированный вакуумметр THYRACONT VSL54E

Страна: Германия
Степень защиты: IP40 (IP54)

Производитель: Thyracont
Температура хранения: -40 — +65
Время отклика, мс: 40
Выходной сигнал: 0-10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 1.5 — 8.58 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка (по умолчанию) кроме EtherCAT, Profinet

В корзину

Комбинированный вакуумметр THYRACONT VSL53E

Страна: Германия
Степень защиты: IP40 (IP54)

Производитель: Thyracont
Температура хранения: -40 — +65
Время отклика, мс: 40
Выходной сигнал: 0-10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 1.5 — 8.58 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка (по умолчанию) кроме EtherCAT, Profinet

В корзину

Комбинированный вакуумный датчик THYRACONT VSP63MV

Страна: Германия
Степень защиты: IP40

Производитель: Thyracont
Температура хранения: -20 — +65
Время отклика, мс: 200
Выходной сигнал: 0-10 В постоянного тока, минимум 10 кОм

В корзину

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!

Прикрепить ТЗ

Нажимая кнопку, я соглашаюсь с условиями Политики в отношении обработки персональных данных

Приборы измерения и контроля вакуума

Отдельные позиции для уже работающих систем