Неиммерсионный источник электронов с полым катодом Kaufman & Robinson MHC 1000
Тип:
Неиммерсионный
Производитель:
Kaufman & Robinson, Inc.
Рабочие газы:
Инертные, Активные, Смеси
Тип установки: Рядом с ионным источником
Типовая энергия электронов, эВ:
<50
Газ в источнике:
Инертные (Ar, Xe)