Рабочая температура, °С: от -10 до 150
Материал:
алюминий с никелевым покрытием
Предельное давление, торр: 10Е-8 торр
Шиберный затвор King Lai AGP-UHV-CF800 с пневматическим приводом, соленоидом и датчиками положения
Тип:
Шиберный
Производитель:
King Lai
Привод: Электропневматический
Материал корпуса: AISI 304 нержавеющая сталь
Присоединительный фланец:
CF160
Диапазон рабочего давления, Торр: от 10Е-10 до 760
Вакуумное смотровое немагнитное окно на CF-фланцах из кварца Kurt J. Lesker VPZL-450DUNM
Тип:
Вакуумное
Производитель:
Kurt J. Lesker Company
Фланец:
DN63CF (4.50" OD)
Материал окна: Плавленый кварц
Материал фланца: 316LN SS
Плоскостность:
λ/4 632 нм фронт волны