Производительность по азоту, л/с: 2400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN32SH
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 4 000
Производительность по водороду, л/с: 8 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 3 600
Скорость откачки по парам воды, л/с: 11 000
Время охлаждения, мин: 80
Производительность по азоту, л/с: 1300
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-250/2301 на магнитном подшипнике со встроенным контроллером
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 2200
Предельное остаточное давление, мбар: 2х10^-9
Время выхода на режим, мин: 8
Диффузионный вакуумный насос ERSTEVAK EVD 800
Тип:
Диффузионный
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 30000
Предельное остаточное давление, мбар: 5*10^-7
Мощность нагревателя, кВт: 13.5
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN15S
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 660
Производительность по водороду, л/с: 1 300
Скорость откачки по аргону, л/с: 550
Скорость откачки по парам воды, л/с: 2 200
Время охлаждения, мин: 80
Производительность по азоту, л/с: 400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3