Приходите на выставку «Нефтегаз-2026», 2-5 марта Подробнее →

Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I12

На этой странице мы поможем подобрать оборудование для решения вашей задачи или проблемы с минимальными сроками и максимальной вовлеченностью с нашей стороны

  • В наличии

product-card

Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I12
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I12
Описание
Характеристики

Описание товара отсутствует

Производитель
ERSTVAK Ltd.
Предельный вакуум, Па
2
Вакуумметр
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч
Насос Рутса + 60
Мощность, Вт
1200
Электропитание, фаза
3
Электропитание
AC 380 В, 50/60 Гц (100A)
Материал камеры
Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
Дисплей
7"
Программное обеспечение
Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
1450 × 1260 × 1720
Частота, МГц
13.56, твердотельный радиочастотный источник питания
Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
Автоматическое согласование полных сопротивлений
Режим разрядки
RIE
Производительность, л
210
Электрод
Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
Габариты камеры, мм
600 × 600 × 600
Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
560 × 520
Слои для обработки
8
Расстояние между монослоями, мм
55
Регулятор расхода газа
Регулятор массового расхода (MFC
Интенсивность потока, мл
0 — 500
Газовый канал
2 канала (Опционально — 3 / 4 / 5 / 6) (поддерживается различный технологический газ, такой как кислород, аргон, водород, азот и др.).
Программируемый логический контроллер
Panasonic
Частота газа
99.999%
Выхлопное отверстие
KF25
Минимальное давление газа, МПа
0.6
Максимальное давление газа, МПа
0.8
Масса, кг
600

Товары из этой же серии

Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 50
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 55
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 600
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC (По запросу — Пирани)
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 65
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 80
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1

Не забудьте купить

Роторная воздуходувка РУТС KUBICEK 3D55C-200
Роторная воздуходувка РУТС KUBICEK 3D55C-200
  • Режим работы: Нагнетание
  • Мощность электродвигателя, кВт: 700
  • Производитель: Kubicek VHS, s.r.o.
  • Краткое название: Воздуходувка РУТС KUBICEK 3D55C-200
  • Производительность, м³/ч: 3216
  • Уровень шума, дБ(А): 85
В корзину
1
Патрубок с фланцем (полуниппель) King Lai CF-HN-275R
Патрубок с фланцем (полуниппель) King Lai CF-HN-275R
  • Производитель: King Lai
  • Длина, мм: 62.48
  • Картинка webp: /upload/iblock/armatura/webp/IMG_2838.webp
  • Рабочая температура, °С: От -20 до 150
  • Внешний диаметр трубы, мм: 38.1
  • Внешний диаметр фланца, мм: 69.85
В корзину
1
Компрессорная станция ERSTVAK ESC-10B-250D 8 атм
Компрессорная станция ERSTVAK ESC-10B-250D 8 атм
  • Мощность электродвигателя, кВт: 7.5
  • Артикул: ESC-10B-250D 8 атм
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Присоединительный размер: G1"
  • Напряжение питания, В: 380
  • Масса, кг: 450
В корзину
1
Спиральный вакуумный насос ERSTVAK ESVP 600 1 ф
Спиральный вакуумный насос ERSTVAK ESVP 600 1 ф
  • Артикул: ESVP 600 1ф.
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельное остаточное давление, мбар: 0.01
  • Мощность, кВт: 0.75
  • Масса, кг: 36
  • Краткое название: Вакуумный насос ERSTVAK ESVP 600 1 ф
В корзину
1
Хомут EVP KF25CLA-NP с никелевым покрытием
Хомут EVP KF25CLA-NP с никелевым покрытием
  • Производитель: EVP
  • Масса, кг: 0.09
  • Рабочая температура, °С: от -10 до 150
  • Предельное давление, Торр: 10Е-8
В корзину
1
Пластиковая крышка для фланца King Lai CF-PC-462
Пластиковая крышка для фланца King Lai CF-PC-462
  • Производитель: King Lai
  • Размер A, мм: 120.5
  • Размер B, мм: 117.6
В корзину
1
Вихревая воздуходувка ERSTVAK EVL 144/60 3 ф.
Вихревая воздуходувка ERSTVAK EVL 144/60 3 ф.
  • Режим работы: Универсальная
  • Мощность электродвигателя, кВт: 11
  • Артикул: EVL 144/60 3 ф.
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Краткое название: Воздуходувка ERSTVAK EVL 144/60 3 ф.
  • Разрежение, мбар: 460
В корзину
1
Винтовой вакуумный безмасляный насос ERSTVAK TECLA 80
Винтовой вакуумный безмасляный насос ERSTVAK TECLA 80
  • Габаритные размеры, мм: 1196х650х633
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Расход охлаждающей воды, л/мин: 8
  • Мощность, кВт: 5.5
  • Предельное остаточное давление, Торр: 0.0075
  • Уровень шума, дБ: <70
В корзину
1
Автоклав для обработки стекла ERSTVAK ATU-2550G
Автоклав для обработки стекла ERSTVAK ATU-2550G
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Максимальная температура, °C: 160
  • Максимальное рабочее давление, МПа: 1.5
  • Диаметр рабочей зоны, мм: 2500
  • Длина рабочей зоны, мм: 5000
  • Мощность нагревателя, кВт: 135
В корзину
1
Центробежный насос ERSTVAK LAGUNA EW100-80-125A-112/2
Центробежный насос ERSTVAK LAGUNA EW100-80-125A-112/2
  • Мощность, кВт: 7.5
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Масса, кг: 157
  • Минимальная производительность, м³/ч: 55
  • Максимальная производительность, м³/ч: 109
  • Минимальный напор, м: 13.7
В корзину
1

Вы смотрели

Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I11
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I11
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 600
  • Скорость откачки, м³/ч: Насос Рутса + 60
  • Мощность, Вт: 5000
В корзину
1
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRS-2-8/14-112
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRS-2-8/14-112
  • Артикул: ELRS-2-8/14-112
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Количество ступеней: 2
  • Предельное остаточное давление, мбар: 160
  • Мощность, кВт: 315
  • Краткое название: Двухступенчатый вакуумный насос ERSTVAK ELRS-2-8/14-112
В корзину
1
Кварцевый кристалл ERSTVAK EV-6-14-Au 6 МГц Золото 14 мм
Кварцевый кристалл ERSTVAK EV-6-14-Au 6 МГц Золото 14 мм
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Рабочая температура, °С: 0 — +70
  • Частота, МГц: 5. 985
  • Материал электрода с плоской стороны: Золото (Au)
  • Материал электрода с выпуклой стороны : Золото (Au)
  • Номинальная частота, МГц: 6.000
В корзину
1
Токарный обрабатывающий центр с осью Y ETHI 626-525MY
Токарный обрабатывающий центр с осью Y ETHI 626-525MY
  • Габариты (ДхШхВ), мм: 3975 × 2085 × 1980
  • Ход по оси X, мм: 225
  • Ход по оси Y, мм: 100
  • Ход по оси Z, мм: 525
  • Мощность двигателя шпинделя, кВт: 16.5/22
  • Крутящий момент шпинделя, Нм: 105/140
В корзину
1
Климатическая камера солнечной радиации ERSTVAK EVCLIM-КСР-3500
Климатическая камера солнечной радиации ERSTVAK EVCLIM-КСР-3500
  • Артикул: EVCLIM-КСР-3500
  • Диапазон влажности, %: С излучением: 10 — 80 (+15 — +80°С)
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Мощность, кВт: 30
  • Диапазон температур, °C: С излучением: -20 — +90
  • Краткое название: Камера солнечной радиации ERSTVAK EVCLIM-КСР-3500
В корзину
1
Квадрупольный масс-спектрометр высокого давления HIDEN HMT 100 RC
Квадрупольный масс-спектрометр высокого давления HIDEN HMT 100 RC
  • Артикул: 151100
  • Производитель: Hiden Analytical Ltd.
  • Максимальное рабочее давление, мбар: 5
  • Тип детектора: Цилиндр Фарадея (FC)
  • Диапазон регистрируемых масс, а.е.м.: 100
  • Минимальное детектируемое парциальное давление, мбар: 5 × 10⁻⁸ (в режиме технологического давления)
В корзину
1
Цилиндрическая мановакуумная камера ERSTVAK CYL-17L
Цилиндрическая мановакуумная камера ERSTVAK CYL-17L
  • Габаритные размеры, мм: 263x300
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Масса, кг: 22
  • Краткое название: Мановакуумная камера ERSTVAK CYL-17L
  • Объем камеры, л: 17
  • Предельный вакуум, мбар: 1
В корзину
1
Универсальный газовый анализатор (упрощенная версия) SRS ULT100
Универсальный газовый анализатор (упрощенная версия) SRS ULT100
  • Производитель: Stanford Research Systems
  • Длина, мм: 688
  • Ширина, мм: 305
  • Высота, мм: 279
  • Насос высокого давления: Гибридный турбомолекулярный насос
  • Масса, кг: 38.6
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!