Приглашаем вас на выставку:
Testing & Control 2024 22 – 24 октября 2024 Москва, МВЦ «Крокус Экспо», Павильон 1, Зал 3
Москва
Санкт-Петербург
Екатеринбург
Нижний Новгород
Новосибирск
Челябинск
Ростов-на-Дону
Самара
Иркутск
Кемерово
Саратов
Волгоград
Омск
Воронеж
Белгород
Тула
Оренбург
Томск
Ярославль
Смоленск
Владимир
Тюмень
Вологда
Ульяновск
Киров
Тверь
Пенза
Калининград
Брянск
Калуга
Рязань
Архангельск
Липецк
Иваново
Курск
Мурманск
Астрахань
Тамбов
Благовещенск
Курган
Орёл
Южно-Сахалинск
Псков
Великий Новгород
Кострома
Магадан
Биробиджан
Оборудование
Воздуходувки
Вакуумные промышленные системы
Вибростенды
Вакуумные печи для порошковой металлургии
Лабораторные микроскопы
Вакуумные печи для термообработки металлов
Вакуумметры
Имитаторы космического пространства
Испытательные камеры
Лиофильные сушки
Оборудование для водоочистки
Оборудование для пробоподготовки
Вакуумные печи химико-термической обработки
Муфельные печи
Компрессоры
Вакуумная арматура
Промышленные автоклавы
Термическое оборудование для авиационной промышленности
Ротационные испарители
Сушильные шкафы
Механические испытательные стенды
Определение центра масс
Поворотные столы (имитаторы движения)
Разрядно-зарядные станции
Стенды испытаний водородных топливных элементов
Ударные стенды
Центрифуги испытательные
Вакуумные компоненты
Газовая арматура
Гидравлические насосы
Ультразвуковые ванны
Вакуумные камеры
Вакуумные манипуляторы
Вакуумные насосы
Установки диффузионной сварки
Установки электронно-лучевой сварки
Вакуумные системы и установки
Гексаподы
Ионные источники
Криогенное оборудование
Масс-спектрометры
Оборудование для анализа микроструктуры материалов
Оборудование для микроэлектроники
Оборудование для нанесения тонких пленок
Термостриммеры
Течеискатели
Установки плазменной обработки поверхности
Циркуляционные термостаты
Производители
Материалы
О компании
Новости
Услуги
Статьи
Условия оплаты и доставки
Карьера
Контакты
Сертификаты
Отзывы
Благотворительность
Найти
+7 (499) 703-06-36
Оборудование
Промышленное
Воздуходувки
Компрессоры
Вакуумные компоненты
Газовая арматура
Гидравлические насосы
Ультразвуковые ванны
Установки диффузионной сварки
Установки электронно-лучевой сварки
Вакуумное
Вакуумные промышленные системы
Вакуумметры
Вакуумная арматура
Вакуумные камеры
Вакуумные манипуляторы
Вакуумные насосы
Вакуумные системы и установки
Гексаподы
Ионные источники
Криогенное оборудование
Масс-спектрометры
Оборудование для анализа микроструктуры материалов
Оборудование для микроэлектроники
Оборудование для нанесения тонких пленок
Термостриммеры
Течеискатели
Установки плазменной обработки поверхности
Циркуляционные термостаты
Испытательное
Вибростенды
Имитаторы космического пространства
Испытательные камеры
Механические испытательные стенды
Определение центра масс
Поворотные столы (имитаторы движения)
Разрядно-зарядные станции
Стенды испытаний водородных топливных элементов
Ударные стенды
Центрифуги испытательные
Термическое
Вакуумные печи для порошковой металлургии
Вакуумные печи для термообработки металлов
Вакуумные печи химико-термической обработки
Муфельные печи
Промышленные автоклавы
Термическое оборудование для авиационной промышленности
Лабораторное
Лабораторные микроскопы
Лиофильные сушки
Оборудование для водоочистки
Оборудование для пробоподготовки
Ротационные испарители
Сушильные шкафы
Оборудование
Главная
Каталог
Установки плазменной обработки поверхности
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I12
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I12
В наличии
Запросить КП
Характеристики
Предельный вакуум, Па
2
Вакуумметр
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Масса, кг
600
Скорость откачки, м³/ч
Насос Рутса + 60
Мощность, Вт
1200
Электропитание
380 В переменного тока, 50/60 Гц (трехфазная система, 100A)
Материал камеры
Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
Дисплей
7"
Программное обеспечение
Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
1450 × 1260 × 1720
Частота, МГц
13.56, твердотельный радиочастотный источник питания
Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
Автоматическое согласование полных сопротивлений
Режим разрядки
CCP, RIE
Производительность, л
210
Электрод
Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
Габариты камеры, мм
600 × 600 × 600
Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
560 × 520
Слои для обработки
8
Расстояние между монослоями, мм
55
Регулятор расхода газа
Регулятор массового расхода (MFC
Интенсивность потока, мл
0 — 500
Газовый канал
2 канала (Опционально — 3 / 4 / 5 / 6) (поддерживается различный технологический газ, такой как кислород, аргон, водород, азот и др.).
Программируемый логический контроллер
Panasonic
Частота газа
99.999%
Давление газа, МПа
0.6 — 0.8
Выхлопное отверстие
KF25
Другие товары из серии
EV-PLASMA-I
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I7
Тип:
Промышленная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
930 × 990 × 1754
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
60
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I3
Тип:
Промышленная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
630 × 730 × 1430
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
16
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I6
Тип:
Промышленная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
903 × 983 × 1753
Предельный вакуум, Па:
2
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
60
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I2
Тип:
Промышленная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
650 × 575 × 635
Предельный вакуум, Па:
2
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
16
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I5
Тип:
Промышленная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
903 × 983 × 1753
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
60
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I11
Тип:
Промышленная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
1450 × 1260 × 1720
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
Насос Рутса + 60
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I8
Тип:
Промышленная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
930 × 990 × 1754
Предельный вакуум, Па:
2
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
60
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I4
Тип:
Промышленная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
630 × 730 × 1430
Предельный вакуум, Па:
2
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
16
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I1
Тип:
Промышленная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
650 × 575 × 635
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
16
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I12
Тип:
Промышленная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
1450 × 1260 × 1720
Предельный вакуум, Па:
2
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
Насос Рутса + 60
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I9
Тип:
Промышленная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
1300 × 1190 × 1790
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
Насос Рутса + 60
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I10
Тип:
Промышленная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
1300 × 1190 × 1790
Предельный вакуум, Па:
2
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
Насос Рутса + 60
Условия оплаты и доставки
Оплата
Юридические лица
Безналичный расчет
Физические лица
Безналичный расчет
Наличный расчет в офисе продаж
Доставка
Самовывоз со склада ЭРСТВАК
Доставка транспортной компанией
Подробнее об условиях
Смотрите также
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I7
Тип:
Промышленная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
930 × 990 × 1754
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
60
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I3
Тип:
Промышленная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
630 × 730 × 1430
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
16
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I6
Тип:
Промышленная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
903 × 983 × 1753
Предельный вакуум, Па:
2
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
60
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I2
Тип:
Промышленная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
650 × 575 × 635
Предельный вакуум, Па:
2
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
16
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I5
Тип:
Промышленная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
903 × 983 × 1753
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
60
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I11
Тип:
Промышленная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
1450 × 1260 × 1720
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
Насос Рутса + 60
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I8
Тип:
Промышленная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
930 × 990 × 1754
Предельный вакуум, Па:
2
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
60
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I4
Тип:
Промышленная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
630 × 730 × 1430
Предельный вакуум, Па:
2
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
16
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I1
Тип:
Промышленная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
650 × 575 × 635
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
16
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I12
Тип:
Промышленная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
1450 × 1260 × 1720
Предельный вакуум, Па:
2
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
Насос Рутса + 60
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I9
Тип:
Промышленная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
1300 × 1190 × 1790
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
Насос Рутса + 60
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I10
Тип:
Промышленная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
1300 × 1190 × 1790
Предельный вакуум, Па:
2
Вакуумметр:
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч:
Насос Рутса + 60
Лабораторная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-L2
Тип:
Лабораторная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
590 × 450 × 420
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
SMC
Скорость откачки, м³/ч:
8
Система плазменной очистки на атмосфере ERSTEVAK EV-ATMO-MR
Тип:
Система
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Тип управления:
Цифровое управление, настройка давления подачи воздуха, регулируемая мощность
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
244 × 474 × 310
Скорость обработки поверхности, мм/с:
10 — 300
Эффективный диапазон очистки, мм:
50
Выходная мощность, Вт:
300 — 1000
Лабораторная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-L6
Тип:
Лабораторная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
755 × 825 × 1550
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
SMC
Скорость откачки, м³/ч:
16
Вертикальная камера реактивно-ионного травления ERSTEVAK VITA 8
Тип:
Вертикальная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Тип управления:
Ручное и автоматическое
Генератор:
13,56 МГц (макс. 300 Вт)
Газовые линии:
Макс. 4 линии (200 см3)
Атмосферно-плазменная система ERSTEVAK WIDE-FLUX 150
Тип:
Атмосферно-плазменная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Тип управления:
Ручное и автоматическое
Генератор:
13,56 МГц (макс. 300 Вт)
Лабораторная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-L3
Тип:
Лабораторная
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
550 × 460 × 520
Предельный вакуум, Па:
1
Вакуумметр:
SMC
Скорость откачки, м³/ч:
8
Система плазменной очистки на атмосфере ERSTEVAK EV-ATMO-D
Тип:
Система
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Тип управления:
Цифровое управление, настройка давления воздуха, регулируемая мощность
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм:
414.5 × 539 × 152.5
Скорость обработки поверхности, мм/с:
10 — 300
Эффективный диапазон очистки, мм:
2 — 10
Выходная мощность, Вт:
300 — 1000
Оформить заказ
Ваш вопрос принят
Отправить новый вопрос
Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время!
Ваше имя
* Введены некорректные данные!
Ваш e-mail
* Введены некорректные данные!
Ваш телефон
* Введены некорректные данные!
Ваше сообщение
* Введены некорректные данные!
Введите символы с картинки
*
Отправить
Нажимая кнопку «Отправить», я соглашаюсь с условиями Политики в отношении обработки персональных данных
WhatsApp