Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I12

На этой странице мы поможем подобрать оборудование для решения вашей задачи или проблемы с минимальными сроками и максимальной вовлеченностью с нашей стороны

  • В наличии

product-card

Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I12
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I12
Описание
Характеристики

Описание товара отсутствует

Производитель
ERSTVAK Ltd.
Предельный вакуум, Па
2
Вакуумметр
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч
Насос Рутса + 60
Мощность, Вт
1200
Электропитание, фаза
3
Электропитание
AC 380 В, 50/60 Гц (100A)
Материал камеры
Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
Дисплей
7"
Программное обеспечение
Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
1450 × 1260 × 1720
Частота, МГц
13.56, твердотельный радиочастотный источник питания
Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
Автоматическое согласование полных сопротивлений
Режим разрядки
RIE
Производительность, л
210
Электрод
Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
Габариты камеры, мм
600 × 600 × 600
Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
560 × 520
Слои для обработки
8
Расстояние между монослоями, мм
55
Регулятор расхода газа
Регулятор массового расхода (MFC
Интенсивность потока, мл
0 — 500
Газовый канал
2 канала (Опционально — 3 / 4 / 5 / 6) (поддерживается различный технологический газ, такой как кислород, аргон, водород, азот и др.).
Программируемый логический контроллер
Panasonic
Частота газа
99.999%
Выхлопное отверстие
KF25
Минимальное давление газа, МПа
0.6
Максимальное давление газа, МПа
0.8
Масса, кг
600

Товары из этой же серии

Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 50
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 55
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 600
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC (По запросу — Пирани)
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 65
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 80
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1

Не забудьте купить

Винтовой вакуумный насос ATLAS COPCO GHS 350 VSD HUMID
Винтовой вакуумный насос ATLAS COPCO GHS 350 VSD HUMID
  • Артикул: GHS 350 VSD+ HUMID
  • Габаритные размеры, мм: 1300x900x1100
  • Производитель: Atlas Copco
  • Предельное остаточное давление, мбар: 0.35
  • Мощность, кВт: 5.5
  • Частота вращения, об/мин: 7000
В корзину
1
Винтовой вакуумный насос ERSTVAK VSP8
Винтовой вакуумный насос ERSTVAK VSP8
  • Длина, мм: 520
  • Ширина, мм: 300
  • Высота, мм: 320
  • Выходной фланец: KF16
  • Охлаждение: Воздушное
  • Масса, кг: 38
В корзину
1
Центробежный химостойкий насос ERSTVAK LAGUNA EC80-50-250A-112/4
Центробежный химостойкий насос ERSTVAK LAGUNA EC80-50-250A-112/4
  • Мощность, кВт: 2.2
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Краткое название: Центробежный насос ERSTVAK LAGUNA EC80-50-250A-112/4
  • Минимальная производительность, м³/ч: 13.6
  • Максимальная производительность, м³/ч: 27.2
  • Минимальный напор, м: 15.4
В корзину
1
Установка локального термостресса ERSTVAK серии EVCLIM-HTS-225
Установка локального термостресса ERSTVAK серии EVCLIM-HTS-225
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Интерфейс: LAN
  • Режим работы: Ручной
  • Датчик температуры: Термопары типа Т, К или Pt100 со свидетельством о первичной поверке
  • Точность поддержания температуры, ±°C: 1
  • Электропитание: AC 220 В, 50 Гц, 16 А, 1 фаза
В корзину
1
Многоосевой гидравлический вибростенд ERSTVAK MAP-1000
Многоосевой гидравлический вибростенд ERSTVAK MAP-1000
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Максимальная нагрузка, кг: 1000
  • Минимальная частота, Гц: 0.1
  • Максимальная частота, Гц: 80
  • Длина стола, мм: 1.5
  • Ширина стола, мм: 1.5
В корзину
1
Медное уплотнение  KING LAI CF-CS-1650-S (посеребрённое)
Медное уплотнение KING LAI CF-CS-1650-S (посеребрённое)
  • Производитель: King Lai
  • Внешний диаметр, мм: 376.6
  • Внутренний диаметр, мм: 356.5
  • Толщина, мм: 2,1
  • Картинка webp: /upload/iblock/armatura/webp/IMG_2902.webp
  • Тип соединения: CF
В корзину
1
Вакуумная печь для отжига ERSTVAK VAV-1010
Вакуумная печь для отжига ERSTVAK VAV-1010
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Размеры рабочей камеры, мм: Ø1000 × 1000
  • Максимальная температура, °C: 1350
  • Масса садки, кг: 1000
  • Краткое название: Вакуумная печь ERSTVAK VAV-1010
  • Рабочий газ: N₂
В корзину
1
Переходник фланцевый ER-Lok – FA (FT -ANSI)
Переходник фланцевый ER-Lok – FA (FT -ANSI)
  • Производитель: ER-Lok
  • Максимальное рабочее давление (дюймовая труба), psig: 1100
  • Максимальное рабочее давление (метрическая труба), бар: 700
  • Максимальный крутящийся момент при установке (без покрытия): 490
  • Максимальный крутящийся момент при установке (с покрытием): 255
  • Тип резьбы: Дюймовая труба - ANSI фланец B16.5
В корзину
1
Гибкий шланг King Lai MH-ISOK-63-2000L
Гибкий шланг King Lai MH-ISOK-63-2000L
  • Производитель: King Lai
  • Фланец: ISO63
  • Картинка webp: /upload/iblock/armatura/webp/IMG_2640.webp
  • Рабочая температура, °С: От -200 до 450
  • Материал фланца: Нержавеющая сталь 304
  • Материал сильфона: Нержавеющая сталь 304
В корзину
1
Вихревая воздуходувка ERSTVAK EVH 13/49
Вихревая воздуходувка ERSTVAK EVH 13/49
  • Режим работы: Универсальная
  • Мощность электродвигателя, кВт: 0.81
  • Артикул: EVH 13/49
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Краткое название: Воздуходувка ERSTVAK EVH 13/49
  • Разрежение, мбар: 370
В корзину
1

Вы смотрели

Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT900MU-CAB
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT900MU-CAB
  • Габаритные размеры, мм: 264x401-407
  • Производитель: Ebara
  • Предельное остаточное давление, мбар: 10^(-10)
  • Производительность по азоту, л/с: 900
  • Краткое название: Вакуумный насос EBARA EMT900MU-CAB
  • Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
В корзину
1
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRS-2-9/18-112
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRS-2-9/18-112
  • Артикул: ELRS-2-9/18-112
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Количество ступеней: 2
  • Предельное остаточное давление, мбар: 160
  • Мощность, кВт: 500
  • Краткое название: Двухступенчатый вакуумный насос ERSTVAK ELRS-2-9/18-112
В корзину
1
Климатическая камера солевого тумана ERSTVAK EVCLIM-КСТ-3000
Климатическая камера солевого тумана ERSTVAK EVCLIM-КСТ-3000
  • Артикул: EVCLIM-КСТ-3000
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Габариты внутреннего объема (ШxВxГ), мм: 1800 × 12500 × 2100
  • Краткое название: Камера солевого тумана ERSTVAK EVCLIM-КСТ-3000 K
  • Водность соляного тумана, мл/ч: регулируется
  • Дисперсность соляного тумана, мкм: 1 — 10
В корзину
1
Криогенный вакуумный насос SHI Marathon CP-16 ISO 400 мм
Криогенный вакуумный насос SHI Marathon CP-16 ISO 400 мм
  • Артикул: 265120A160I00
  • Производитель: SHI Cryogenics Group
  • Производительность по водороду, л/с: 12000
  • Масса, кг: 50
  • Краткое название: Вакуумный насос SHI Marathon CP-16 ISO 400 мм
  • Производительность по воздуху, л/с: 4800
В корзину
1
Мембранный вакуумный насос ERSTVAK ERVAC-MD-1.2 с ручным регулятором
Мембранный вакуумный насос ERSTVAK ERVAC-MD-1.2 с ручным регулятором
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Количество ступеней: 2
  • Режим работы: Непрерывный
  • Потребляемая мощность, Вт: 120
  • Производительность, м³/ч: 1.2
  • Материал корпуса: PTFE
В корзину
1
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRS-2-8/14-112
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRS-2-8/14-112
  • Артикул: ELRS-2-8/14-112
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Количество ступеней: 2
  • Предельное остаточное давление, мбар: 160
  • Мощность, кВт: 315
  • Краткое название: Двухступенчатый вакуумный насос ERSTVAK ELRS-2-8/14-112
В корзину
1
Криогенный вакуумный насос SHI Marathon CP-20 ISO 500 мм
Криогенный вакуумный насос SHI Marathon CP-20 ISO 500 мм
  • Артикул: 265120A203I00
  • Производитель: SHI Cryogenics Group
  • Производительность по водороду, л/с: 14000
  • Масса, кг: 77
  • Краткое название: Вакуумный насос SHI Marathon CP-20 ISO 500 мм
  • Производительность по воздуху, л/с: 9700
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT420M-CWB
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT420M-CWB
  • Артикул: 893-EMT420MCWB-00
  • Габаритные размеры, мм: 180x250-255
  • Производитель: Ebara
  • Предельное остаточное давление, мбар: 10^(-9)
  • Производительность по азоту, л/с: 400
  • Краткое название: Вакуумный насос EBARA EMT420M-CWB
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-100/150E DN100CF
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-100/150E DN100CF
  • Артикул: FF 100/150E, DN100CF
  • Производитель: KYKY Technology Co. Ltd.
  • Предельное остаточное давление, мбар: 6 × 10^(-9)
  • Производительность по азоту, л/с: 150
  • Краткое название: Вакуумный насос KYKY FF-100/150E DN100CF
  • Максимальное время выхода на режим, мин: 2
В корзину
1
Пластинчато-роторный вакуумный насос ERSTVAK PRM 14 3ph
Пластинчато-роторный вакуумный насос ERSTVAK PRM 14 3ph
  • Артикул: PRM 14 3ph
  • Габаритные размеры, мм: 520x150x200
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельное остаточное давление, мбар: 5 × 10^(-3)
  • Мощность, кВт: 0.55
  • Уровень шума, дБ: 65
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!