Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I12

На этой странице мы поможем подобрать оборудование для решения вашей задачи или проблемы с минимальными сроками и максимальной вовлеченностью с нашей стороны

  • В наличии

product-card

Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I12
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I12
Описание
Характеристики

Описание товара отсутствует

Производитель
ERSTVAK Ltd.
Предельный вакуум, Па
2
Вакуумметр
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч
Насос Рутса + 60
Мощность, Вт
1200
Электропитание, фаза
3
Электропитание
AC 380 В, 50/60 Гц (100A)
Материал камеры
Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
Дисплей
7"
Программное обеспечение
Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
1450 × 1260 × 1720
Частота, МГц
13.56, твердотельный радиочастотный источник питания
Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
Автоматическое согласование полных сопротивлений
Режим разрядки
RIE
Производительность, л
210
Электрод
Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
Габариты камеры, мм
600 × 600 × 600
Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
560 × 520
Слои для обработки
8
Расстояние между монослоями, мм
55
Регулятор расхода газа
Регулятор массового расхода (MFC
Интенсивность потока, мл
0 — 500
Газовый канал
2 канала (Опционально — 3 / 4 / 5 / 6) (поддерживается различный технологический газ, такой как кислород, аргон, водород, азот и др.).
Программируемый логический контроллер
Panasonic
Частота газа
99.999%
Выхлопное отверстие
KF25
Минимальное давление газа, МПа
0.6
Максимальное давление газа, МПа
0.8
Масса, кг
600

Товары из этой же серии

Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 50
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 55
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 600
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC (По запросу — Пирани)
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 65
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 80
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1

Не забудьте купить

Патрубок с фланцем (ниппель) King Lai ISOK-FN-160
Патрубок с фланцем (ниппель) King Lai ISOK-FN-160
  • Производитель: King Lai
  • Длина, мм: 273.3
  • Картинка webp: /upload/iblock/armatura/webp/IMG_2791.webp
  • Рабочая температура, °С: От -20 до 150
  • Предельное давление, Торр: 10Е-8
В корзину
1
Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-KF40
Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-KF40
  • Артикул: MTH10D-KF40
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Максимальная температура прогрева, °С: 180
  • Масса, кг: 0.555
  • Краткое название: Вакуумный датчик ERSTVAK MTH10D-KF40
  • Время отклика, с: 0.02
В корзину
1
Армированный вакуумный шланг IPL PLUTONE BIO ПВХ 22 мм
Армированный вакуумный шланг IPL PLUTONE BIO ПВХ 22 мм
  • Радиус изгиба, мм: 100
  • Артикул: B2 01 022.0 029.0
  • Вес, г/м: 395
  • Давление разрыва, бар: 30
  • Внутренний диаметр, мм: 22
  • Производитель: IPL S.p.a.
В корзину
1
Сварной керамический изолятор Kurt J. Lesker CFT08V3811
Сварной керамический изолятор Kurt J. Lesker CFT08V3811
  • Артикул: CFT08V3811
  • Производитель: Kurt J. Lesker
  • Максимальная температура, °С: 450
  • Минимальная температура, °С: -200
  • Тип соединения: Сварное
  • Материал фланца: Нержавеющая сталь
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-100/150FE DN100ISO-K (воздушное охлаждение)
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-100/150FE DN100ISO-K (воздушное охлаждение)
  • Артикул: FF-100/150FE, DN100ISO-K
  • Производитель: KYKY Technology Co. Ltd.
  • Предельное остаточное давление, мбар: 9 × 10^(-8)
  • Производительность по азоту, л/с: 150
  • Краткое название: Вакуумный насос KYKY FF-100/150FE DN100ISO-K
  • Максимальное время выхода на режим, мин: 2
В корзину
1
Конический фланцевый переходник King Lai ADC-ISO100XCF338
Конический фланцевый переходник King Lai ADC-ISO100XCF338
  • Производитель: King Lai
  • Длина, мм: 104.1
  • Фланец: ISO100
  • Картинка webp: /upload/iblock/armatura/webp/IMG_2443.webp
  • Рабочая температура, °С: От -20 до 150
  • Предельное давление, Торр: 10Е-8
В корзину
1
Фланцевый переходник King Lai AD-NPTM-KF40x050 на NPT Male
Фланцевый переходник King Lai AD-NPTM-KF40x050 на NPT Male
  • Производитель: King Lai
  • Модель: AD-NPTM-KF40x050
  • Длина, мм: 75
  • Размер фланца: KF40
  • Назначение: Промышленный
  • Внутренний диаметр, мм: 11.9
В корзину
1
Система высокопроизводительных программируемых электронных нагрузок постоянного тока KEWELL TECHNOLOGY E5000NG-13K2-0150-1200
Система высокопроизводительных программируемых электронных нагрузок постоянного тока KEWELL TECHNOLOGY E5000NG-13K2-0150-1200
  • Производитель: Kewell Technology Co., Ltd
  • Мощность, кВт: 13.2
  • Ток, А: 150
  • Версия: Базовая версия
  • Разрешение установки напряжения, В: 0.001
  • Разрешение установки тока, А: 0.01
В корзину
1
Маслосмазываемый пластинчато-роторный вакуумный насос DVP LB.5 WR 3 ф
Маслосмазываемый пластинчато-роторный вакуумный насос DVP LB.5 WR 3 ф
  • Артикул: 9690029/TN
  • Габаритные размеры, мм: 335х180х172
  • Производитель: D.V.P. Vacuum Technology Srl
  • Наши предложения: old
  • Предельное остаточное давление, мбар: 10
  • Мощность, кВт: 0.25
В корзину
1
Пневматический двунаправленный вертикальный стенд для ударных испытаний CME KRD17-200
Пневматический двунаправленный вертикальный стенд для ударных испытаний CME KRD17-200
  • Производитель: CME Technology Co., Ltd.
  • Длина, мм: 1300
  • Ширина, мм: 1300
  • Высота, мм: 1700
  • Масса, кг: 3500
  • Стандарты: UL2582
В корзину
1

Вы смотрели

Армированный вакуумный шланг IPL PLUTONE BIO ПВХ 105 мм
Армированный вакуумный шланг IPL PLUTONE BIO ПВХ 105 мм
  • Радиус изгиба, мм: 470
  • Артикул: B2 01 105.0 118.0
  • Вес, г/м: 3650
  • Давление разрыва, бар: 10
  • Внутренний диаметр, мм: 105
  • Производитель: IPL S.p.a.
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT420M-СAС
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT420M-СAС
  • Артикул: 893-EMT420MCAC-00
  • Габаритные размеры, мм: 180x250-255
  • Производитель: Ebara
  • Предельное остаточное давление, мбар: 10^(-9)
  • Производительность по азоту, л/с: 400
  • Краткое название: Вакуумный насос EBARA EMT420M-СAС
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT420M-CWB
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT420M-CWB
  • Артикул: 893-EMT420MCWB-00
  • Габаритные размеры, мм: 180x250-255
  • Производитель: Ebara
  • Предельное остаточное давление, мбар: 10^(-9)
  • Производительность по азоту, л/с: 400
  • Краткое название: Вакуумный насос EBARA EMT420M-CWB
В корзину
1
Установка запрессовки клейкой ленты SUZHOU SECOND NEW ENERGY TECHNOLOGY SEC-H500-TP
Установка запрессовки клейкой ленты SUZHOU SECOND NEW ENERGY TECHNOLOGY SEC-H500-TP
  • Артикул: SEC-H500-TP
  • Производитель: Suzhou Second New Energy Technology Co.,Ltd.
  • Электропитание: AC 220 В, 50-60 Гц, 1.5 кВт
  • Система управления: ПЛК и ПО
  • Условия эксплуатации: Температура 0 — 40°C, Влажность 20 — 90%
  • Скорость по оси Z, мм/с: 200
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT390M-CWB
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT390M-CWB
  • Артикул: 893-EMT390MCWB-00
  • Габаритные размеры, мм: 186x288-294
  • Производитель: Ebara
  • Предельное остаточное давление, мбар: 10^(-9)
  • Производительность по азоту, л/с: 340
  • Краткое название: Вакуумный насос EBARA EMT390M-CWB
В корзину
1
Моноблочный водокольцевой вакуумный насос ROBUSCHI RVS 7/M ex 09
Моноблочный водокольцевой вакуумный насос ROBUSCHI RVS 7/M ex 09
  • Артикул: RVS 7/M ex. 09
  • Габаритные размеры, мм: 550x330x324
  • Производитель: ROBUSCHI
  • Предельное остаточное давление, мбар: 33
  • Мощность, кВт: 3
  • Частота вращения, об/мин: 1450
В корзину
1
Кварцевый кристалл ERSTVAK EV-6-25.4-Au 6 МГц Золото 25,4 мм
Кварцевый кристалл ERSTVAK EV-6-25.4-Au 6 МГц Золото 25,4 мм
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Рабочая температура, °С: -20 — +450
  • Частота, МГц: 5. 985
  • Материал электрода с плоской стороны: Золото (Au)
  • Материал электрода с выпуклой стороны : Золото (Au)
  • Номинальная частота, МГц: 6.000
В корзину
1
Вакуумная печь для закалки в масле ERSTVAK VOQH-557
Вакуумная печь для закалки в масле ERSTVAK VOQH-557
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Размеры рабочей камеры, мм: 500 × 500 × 700
  • Количество рабочих камер: 2
  • Максимальная температура, °C: 1350
  • Емкость бака, л: 3500
  • Масса садки, кг: 400
В корзину
1
Полиуретановый вакуумный мешок ERSTVAK PU 2000x1370 мм, ПУ 400 мкм
Полиуретановый вакуумный мешок ERSTVAK PU 2000x1370 мм, ПУ 400 мкм
  • Материал: Полиуретан
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Краткое название: Вакуумный мешок ERSTVAK 2000x1370 мм, ПУ 400 мкм
  • Стандартные типоразмеры, мм: 2000 × 1370
  • Толщина, мкм: 400
В корзину
1
Моноблочный водокольцевой вакуумный насос ROBUSCHI RVS 16/SG ex. 09
Моноблочный водокольцевой вакуумный насос ROBUSCHI RVS 16/SG ex. 09
  • Артикул: RVS 16/SG ex. 09
  • Габаритные размеры, мм: 1045x385x407
  • Производитель: ROBUSCHI
  • Предельное остаточное давление, мбар: 33
  • Максимальное избыточное давление, мбар: 100
  • Мощность, кВт: 5.5
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!