Приходите на выставку «Нефтегаз-2026», 2-5 марта Подробнее →

Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I3

На этой странице мы поможем подобрать оборудование для решения вашей задачи или проблемы с минимальными сроками и максимальной вовлеченностью с нашей стороны

  • В наличии

product-card

Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I3
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I3
Описание
Характеристики

Описание товара отсутствует

Производитель
ERSTVAK Ltd.
Предельный вакуум, Па
1
Вакуумметр
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч
16
Мощность, Вт
1000
Материал камеры
Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
Дисплей
7"
Программное обеспечение
Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная
Напряжение питания, В
220
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
630 × 730 × 1430
Частота, кГц
40
Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
Автоматическое согласование полных сопротивлений
Режим разрядки
RIE
Производительность, л
30
Электрод
Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
Габариты камеры, мм
300 × 345 × 300
Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
250 × 250
Слои для обработки
4
Расстояние между монослоями, мм
34
Регулятор расхода газа
Регулятор массового расхода (MFC
Интенсивность потока, мл
0 — 300
Газовый канал
2 канала (Опционально — 3 / 4 / 5 / 6) (поддерживается различный технологический газ, такой как кислород, аргон, водород, азот и др.).
Программируемый логический контроллер
Panasonic
Частота газа
99.999%
Выхлопное отверстие
KF25
Минимальное давление газа, МПа
0.3
Максимальное давление газа, МПа
0.6
Масса, кг
180

Товары из этой же серии

Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 50
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 55
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 600
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC (По запросу — Пирани)
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 65
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 80
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1

Не забудьте купить

Пластинчато-роторный вакуумный насос ERSTVAK PRX 4 (3 ф)
Пластинчато-роторный вакуумный насос ERSTVAK PRX 4 (3 ф)
  • Артикул: PRX 4 (3 ph.)
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельное остаточное давление, мбар: 5 × 10^(-3)
  • Мощность, кВт: 0.4
  • Частота вращения, об/мин: 1440
  • Уровень шума, дБ: 56
В корзину
1
Промышленный чиллер с водяным охлаждением ERSTVAK FRIONA WSL 5 B
Промышленный чиллер с водяным охлаждением ERSTVAK FRIONA WSL 5 B
  • Хладагент: R407C
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Напряжение питания, В: 380
  • Масса, кг: 180
  • Охлаждение: Водяное
  • Количество фаз: 3
В корзину
1
Бустерный вакуумный насос типа Рутс ERSTVAK LARA 220
Бустерный вакуумный насос типа Рутс ERSTVAK LARA 220
  • Габаритные размеры, мм: 918х370х342
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельное остаточное давление, мбар: 5 × 10^(-3)
  • Производительность, л/с: 220
  • Мощность, кВт: 3
  • Частота вращения, об/мин: 3000
В корзину
1
Высоковакуумный затвор KIng Lai AGP-UHV-CF800M
Высоковакуумный затвор KIng Lai AGP-UHV-CF800M
  • Производитель: King Lai
  • Модель: AGP-UHV-CF800M
  • Длина, мм: 746
  • Размер фланца: DN160
  • Назначение: Промышленный
  • Внутренний диаметр, мм: 181
В корзину
1
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA 80 D
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA 80 D
  • Напряжение, В: 220
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Масса, кг: 1290
  • Конструкция: две колонны
  • Минимальное значение точки росы, °С: -70
  • Максимальное значение точки росы, °С: -40
В корзину
1
Конический фланцевый переходник King Lai ADC-ISO80XCF450
Конический фланцевый переходник King Lai ADC-ISO80XCF450
  • Производитель: King Lai
  • Длина, мм: 107.9
  • Фланец: ISO80
  • Картинка webp: /upload/iblock/armatura/webp/IMG_2443.webp
  • Рабочая температура, °С: От -20 до 150
  • Предельное давление, Торр: 10Е-8
В корзину
1
Подвижная шестикоординатная платформа (6-DOF) CME KRD 61-500
Подвижная шестикоординатная платформа (6-DOF) CME KRD 61-500
  • Производитель: CME Technology Co., Ltd.
  • Электропитание: AC 380 В ±10%, 50 Гц, 3 фазы
  • Размеры стола, мм: Индивидуально по техническому заданию Заказчика
  • Стандарты: AC156 ISO 12405 ISO 13849-1 ISO 13090-1 ISO 2631-1
  • Максимальная нагрузка, кг: 500
  • Требования к окружающей среде: Влажность ≤ 80% (Без конденсации)
В корзину
1
Вспомогательная испытательная система ERSTVAK EDS-ADAS
Вспомогательная испытательная система ERSTVAK EDS-ADAS
  • Мощность нагрузочного двигателя, кВт: 37
  • Максимальная нагрузка на ось, кг: 3500
  • Тип тормоза: Пневматический тормоз
  • Максимальная скорость, км/ч: 100
  • Основная инерция, кг: 200
  • Минимальная моделируемая инерция, кг: 454
В корзину
1
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRS-57-112
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRS-57-112
  • Артикул: ELRS-57-112
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельное остаточное давление, мбар: 33
  • Мощность, кВт: 185
  • Краткое название: Вакуумный насос ERSTVAK ELRS-57-112
  • Присоединительный размер: DN250
В корзину
1
Центробежная воздуходувка ERSTVAK HIDERA 90
Центробежная воздуходувка ERSTVAK HIDERA 90
  • Режим работы: Нагнетание
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Производительность, м³/ч: 5400
  • Материал корпуса: Высокопрочный чугун
  • Частота вращения ротора, об/мин: 2980
  • Производительность, м³/мин: 90
В корзину
1

Вы смотрели

Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT900M-BWС
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT900M-BWС
  • Артикул: 893-EMT900MBWC-00
  • Габаритные размеры, мм: 264x401-407
  • Производитель: Ebara
  • Предельное остаточное давление, мбар: 10^(-10)
  • Производительность по азоту, л/с: 900
  • Краткое название: Вакуумный насос EBARA EMT900M-BWС
В корзину
1
Токарный обрабатывающий центр с осью Y ETHI 628-525MY
Токарный обрабатывающий центр с осью Y ETHI 628-525MY
  • Габариты (ДхШхВ), мм: 3975 × 2085 × 1980
  • Ход по оси X, мм: 225
  • Ход по оси Y, мм: 100
  • Ход по оси Z, мм: 525
  • Мощность двигателя шпинделя, кВт: 18.5/22
  • Крутящий момент шпинделя, Нм: 176/210
В корзину
1
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRS-15-112
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRS-15-112
  • Артикул: ELRS-15-112
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельное остаточное давление, мбар: 33
  • Мощность, кВт: 55
  • Краткое название: Вакуумный насос ERSTVAK ELRS-15-112
  • Присоединительный размер: DN100
В корзину
1
Безмасляный спиральный компрессор ERSTVAK ALPINA 50 V 8 бар
Безмасляный спиральный компрессор ERSTVAK ALPINA 50 V 8 бар
  • Мощность, кВт: 38.5
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Напряжение питания, В: 380
  • Масса, кг: 930
  • Уровень шума, дБ(А): 67
  • Производительность, м³/мин: 4.2
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!