Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I3

На этой странице мы поможем подобрать оборудование для решения вашей задачи или проблемы с минимальными сроками и максимальной вовлеченностью с нашей стороны

  • В наличии

product-card

Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I3
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I3
Описание
Характеристики

Описание товара отсутствует

Производитель
ERSTVAK Ltd.
Предельный вакуум, Па
1
Вакуумметр
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч
16
Мощность, Вт
1000
Материал камеры
Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
Дисплей
7"
Программное обеспечение
Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная
Напряжение питания, В
220
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
630 × 730 × 1430
Частота, кГц
40
Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
Автоматическое согласование полных сопротивлений
Режим разрядки
RIE
Производительность, л
30
Электрод
Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
Габариты камеры, мм
300 × 345 × 300
Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
250 × 250
Слои для обработки
4
Расстояние между монослоями, мм
34
Регулятор расхода газа
Регулятор массового расхода (MFC
Интенсивность потока, мл
0 — 300
Газовый канал
2 канала (Опционально — 3 / 4 / 5 / 6) (поддерживается различный технологический газ, такой как кислород, аргон, водород, азот и др.).
Программируемый логический контроллер
Panasonic
Частота газа
99.999%
Выхлопное отверстие
KF25
Минимальное давление газа, МПа
0.3
Максимальное давление газа, МПа
0.6
Масса, кг
180

Товары из этой же серии

Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 50
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 55
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 600
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC (По запросу — Пирани)
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 65
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 80
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1

Не забудьте купить

Вибростенд с водяным охлаждением SDYN SEW 590 – DSA 240K
Вибростенд с водяным охлаждением SDYN SEW 590 – DSA 240K
  • Производитель: SDYN
  • Частота первого резонанса, Гц: 1700
  • Диаметр арматуры, мм: 590
  • Виброперемещение (пик-пик), мм: 76
  • Выталкивающее усилие на синусе (пик), кН: 160
  • Выталкивающее усилие на СШВ (СКЗ), кН: 160
В корзину
1
Винтовой компрессор ERSTVAK ESC-100B 10 атм
Винтовой компрессор ERSTVAK ESC-100B 10 атм
  • Мощность электродвигателя, кВт: 75
  • Артикул: ESC-100B 10 атм
  • Габаритные размеры, мм: 1730 × 1070 × 1650
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Присоединительный размер: G2"
  • Краткое название: Компрессор ERSTVAK ESC-100B 10 атм
В корзину
1
Генератор жидкого азота Cryo H&I LN2-13
Генератор жидкого азота Cryo H&I LN2-13
  • Габаритные размеры, мм: 600 × 750 × 1650
  • Производитель: Cryo H&I
  • Масса, кг: 275
  • Количество фаз: 3
  • Питание: 220 В, 50/60 Гц
  • Расход охлаждающей воды, л/мин: 7
В корзину
1
Когтевой компрессор ERSTVAK CLAW-AP 105-1.4
Когтевой компрессор ERSTVAK CLAW-AP 105-1.4
  • Мощность электродвигателя, кВт: 4
  • Частота вращения, об/мин: 2850
  • Артикул: CLAW-AP 105-1.4
  • Габаритные размеры, мм: 837 × 435 × 618
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Присоединительный размер: G1 1/2"
В корзину
1
Центробежный насос ERSTVAK LAGUNA EW50-32-125A-112/2
Центробежный насос ERSTVAK LAGUNA EW50-32-125A-112/2
  • Мощность, кВт: 1.5
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Масса, кг: 90
  • Минимальная производительность, м³/ч: 6.8
  • Максимальная производительность, м³/ч: 13.6
  • Минимальный напор, м: 14.7
В корзину
1
Мембранный вакуумный насос WELCH MPC 1801 Z-X2
Мембранный вакуумный насос WELCH MPC 1801 Z-X2
  • Артикул: 412782-03
  • Габаритные размеры, мм: 540х300х240
  • Производитель: WELCH
  • Предельное остаточное давление, мбар: 8
  • Уровень шума, дБ: 42
  • Масса, кг: 32.8
В корзину
1
Компрессорная станция ERSTVAK ESC-20B-500D 8 атм
Компрессорная станция ERSTVAK ESC-20B-500D 8 атм
  • Мощность электродвигателя, кВт: 15
  • Артикул: ESC-20B-500D 8 атм
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Присоединительный размер: G1"
  • Напряжение питания, В: 380
  • Масса, кг: 680
В корзину
1
Вакуумное смотровое немагнитное окно на CF-фланцах из кварца Kurt J. Lesker VPZL-600DUNM
Вакуумное смотровое немагнитное окно на CF-фланцах из кварца Kurt J. Lesker VPZL-600DUNM
  • Артикул: VPZL-600DUNM
  • Производитель: Kurt J. Lesker Company
  • Фланец: DN100CF (6.00" OD)
  • Материал окна: Плавленый кварц
  • Материал фланца: 316LN SS
  • Плоскостность: λ/4 632 нм фронт волны
В корзину
1
Высоковольтный двунаправленный программируемый источник постоянного тока KEWELL TECHNOLOGY S7000PG-230K-2000-0060
Высоковольтный двунаправленный программируемый источник постоянного тока KEWELL TECHNOLOGY S7000PG-230K-2000-0060
  • Производитель: Kewell Technology Co., Ltd
  • Мощность, кВт: 30
  • Напряжение, В: 2000
  • Ток, А: 60
  • Версия: Профессиональная версия
  • Разрешение установки напряжения, В: 0.01
В корзину
1
Двунаправленный программируемый источник питания переменного тока KEWELL TECHNOLOGY A2000NG-75K-450-114
Двунаправленный программируемый источник питания переменного тока KEWELL TECHNOLOGY A2000NG-75K-450-114
  • Производитель: Kewell Technology Co., Ltd
  • Мощность, кВт: 75
  • Напряжение, В: 450
  • Масса, кг: 270
  • Ток, А: 114
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 620 × 900 × 970
В корзину
1

Вы смотрели

Тройник вверной с боковым отводом ER-Lok – TMT (MT-MN)
Тройник вверной с боковым отводом ER-Lok – TMT (MT-MN)
  • Производитель: ER-Lok
  • Максимальное рабочее давление (дюймовая труба), psig: 1100
  • Максимальное рабочее давление (метрическая труба), бар: 700
  • Максимальный крутящийся момент при установке (без покрытия): 490
  • Максимальный крутящийся момент при установке (с покрытием): 255
  • Тип резьбы: Метрическая труба - Резьба NPT
В корзину
1
Винтовой масляный вакуумный насос ERSTVAK EUREKA 3900
Винтовой масляный вакуумный насос ERSTVAK EUREKA 3900
  • Габаритные размеры, мм: 2600х1900х1760
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельное остаточное давление, мбар: 0.3
  • Мощность, кВт: 55
  • Охлаждение: воздушное/водяное
  • Уровень шума, дБ: 67-80
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 50
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Толкательная печь ERSTVAK PTF-300/70-4-4
Толкательная печь ERSTVAK PTF-300/70-4-4
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Максимальная температура, °C: 1150
  • Количество муфелей: 4
  • Габаритные размеры (вод. охл.), мм: 12 × 2.2 × 2
  • Длина зоны нагрева, мм: 6000
  • Рабочий газ: H₂
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT900M-CWС
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT900M-CWС
  • Артикул: 893-EMT900MCWC-00
  • Производитель: Ebara
  • Производительность, л/с: 900
  • Выходной фланец: DN160 CF
  • Охлаждение: Водяное
  • Краткое название: Вакуумный насос EBARA EMT900M-CWС
В корзину
1
Моноблочный водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRPX 27
Моноблочный водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRPX 27
  • Артикул: ELRPX 27
  • Габаритные размеры, мм: 455x186x250
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельное остаточное давление, мбар: 33
  • Мощность, кВт: 0.81
  • Частота вращения, об/мин: 2840
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT390M-BWС
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT390M-BWС
  • Артикул: 893-EMT390MBWC-00
  • Габаритные размеры, мм: 186x288-294
  • Производитель: Ebara
  • Предельное остаточное давление, мбар: 10^(-9)
  • Производительность по азоту, л/с: 340
  • Краткое название: Вакуумный насос EBARA EMT390M-BWС
В корзину
1
Моноблочный водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRPX 400
Моноблочный водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRPX 400
  • Артикул: ELRPX 400
  • Габаритные размеры, мм: 852x377x427
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельное остаточное давление, мбар: 33
  • Мощность, кВт: 11
  • Частота вращения, об/мин: 1460
В корзину
1
Моноблочный водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRPX 165
Моноблочный водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRPX 165
  • Артикул: ELRPX 165
  • Габаритные размеры, мм: 637x325x361
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельное остаточное давление, мбар: 33
  • Мощность, кВт: 4
  • Частота вращения, об/мин: 1440
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT900M-IBWС
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT900M-IBWС
  • Артикул: 893-EMT900MIBWC-00
  • Габаритные размеры, мм: 264x401-407
  • Производитель: Ebara
  • Предельное остаточное давление, мбар: 10^(-10)
  • Производительность по азоту, л/с: 900
  • Краткое название: Вакуумный насос EBARA EMT900M-IBWС
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!