Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I5

На этой странице мы поможем подобрать оборудование для решения вашей задачи или проблемы с минимальными сроками и максимальной вовлеченностью с нашей стороны

  • В наличии

product-card

Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I5
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I5
Описание
Характеристики

Описание товара отсутствует

Производитель
ERSTVAK Ltd.
Предельный вакуум, Па
1
Вакуумметр
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч
60
Мощность, Вт
2000
Электропитание, фаза
3
Электропитание
AC 380 В, 50/60 Гц (100A)
Материал камеры
Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
Дисплей
7"
Программное обеспечение
Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
903 × 983 × 1753
Частота, кГц
40
Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
Автоматическое согласование полных сопротивлений
Режим разрядки
RIE
Производительность, л
66
Электрод
Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
Габариты камеры, мм
400 × 450 × 370
Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
370 × 370
Слои для обработки
6
Расстояние между монослоями, мм
45
Регулятор расхода газа
Регулятор массового расхода (MFC
Интенсивность потока, мл
0 — 300
Газовый канал
2 канала (Опционально — 3 / 4 / 5 / 6) (поддерживается различный технологический газ, такой как кислород, аргон, водород, азот и др.).
Программируемый логический контроллер
Panasonic
Частота газа
99.999%
Выхлопное отверстие
KF25
Минимальное давление газа, МПа
0.6
Максимальное давление газа, МПа
0.8
Масса, кг
350

Товары из этой же серии

Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 50
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 55
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 600
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC (По запросу — Пирани)
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 65
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 80
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1

Не забудьте купить

Безмасляный спиральный компрессор ERSTVAK ALPINA 5 F 10 бар
Безмасляный спиральный компрессор ERSTVAK ALPINA 5 F 10 бар
  • Мощность, кВт: 3.7
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Напряжение питания, В: 380
  • Масса, кг: 167
  • Уровень шума, дБ(А): 63
  • Производительность, м³/мин: 0.34
В корзину
1
Вакуумный адаптер к резьбе King Lai AD-NPTM-KF50x050
Вакуумный адаптер к резьбе King Lai AD-NPTM-KF50x050
  • Производитель: King Lai
  • Модель: AD-NPTM-KF50x050
  • Длина, мм: 75
  • Размер фланца: KF50
  • Назначение: Промышленный
  • Внутренний диаметр, мм: 11.9
В корзину
1
Фланцевый патрубок (полуниппель) King Lai KF-HN-25-1
Фланцевый патрубок (полуниппель) King Lai KF-HN-25-1
  • Производитель: King Lai
  • Размер A, мм: 40
  • Размер B, мм: 26.2
  • Размер C, мм: 22.1
  • Размер D, мм: 25 4
  • Размер E, мм: 51.8
В корзину
1
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA 950 E
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA 950 E
  • Напряжение, В: 220
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Масса, кг: 6300
  • Конструкция: две колонны
  • Минимальное значение точки росы, °С: -70
  • Максимальное значение точки росы, °С: -40
В корзину
1
Ультразвуковая система очистки ERSTVAK СОУ-38-4
Ультразвуковая система очистки ERSTVAK СОУ-38-4
  • Габаритные размеры, мм: 500 × 300 × 250
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Краткое название: Система очистки ERSTVAK СОУ-38-4
  • Объем ванны, л: 38
  • Ультразвуковая частота, КГц: 40
  • Мощность нагрева, Вт: 1500
В корзину
1
Вакуумное смотровое окно на CF-фланцах из кварца Kurt J. Lesker VPZL-800Q
Вакуумное смотровое окно на CF-фланцах из кварца Kurt J. Lesker VPZL-800Q
  • Артикул: VPZL-800Q
  • Производитель: Kurt J. Lesker Company
  • Фланец: DN160CF (8.00" OD)
  • Материал окна: Плавленый кварц
  • Материал фланца: 304L SS
  • Смотровой диаметр: 5.38
В корзину
1
Адсорбционный осушитель ERSTVAK EAD-80
Адсорбционный осушитель ERSTVAK EAD-80
  • Напряжение, В: 220
  • Габаритные размеры, мм: 1200 × 760 × 2100
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Присоединительный размер: DN50
  • Масса, кг: 450
  • Осушаемая среда: Атмосферный воздух
В корзину
1
Роторный блок воздуходувки ROBUSCHI RBS 106
Роторный блок воздуходувки ROBUSCHI RBS 106
  • Режим работы: Универсальная
  • Производитель: Robuschi S.p.A.
  • Краткое название: Блок воздуходувки РУТС ROBUSCHI RBS 106
  • Разрежение, мбар: 500
  • Производительность, м³/ч: 4710
  • Материал корпуса: UNI-EN 1561 G250;DIN 1691 0.6020;A 48 GR 30
В корзину
1
Вакуумное смотровое окно на KF-фланцах из сапфира Kurt J. Lesker QF40-150-VPS
Вакуумное смотровое окно на KF-фланцах из сапфира Kurt J. Lesker QF40-150-VPS
  • Артикул: QF40-150-VPS
  • Производитель: Kurt J. Lesker Company
  • Фланец: KF40 (2.16" OD)
  • Материал окна: UV Сапфир
  • Материал фланца: 304L SS
  • Смотровой диаметр: 0.94
В корзину
1
Горизонтальный стенд ударного отклика CME KRD15-500
Горизонтальный стенд ударного отклика CME KRD15-500
  • Производитель: CME Technology Co., Ltd.
  • Длина, мм: 4500
  • Ширина, мм: 1640
  • Высота, мм: 850
  • Электропитание: AC 220 В ±10%, 50 Гц
  • Масса, кг: 7000
В корзину
1

Вы смотрели

Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I8
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I8
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 2
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 400
  • Скорость откачки, м³/ч: 60
  • Мощность, Вт: 1000
В корзину
1
Линия производства блоков топливных элементов SUZHOU SECOND NEW ENERGY TECHNOLOGY SEC-System-Generic
Линия производства блоков топливных элементов SUZHOU SECOND NEW ENERGY TECHNOLOGY SEC-System-Generic
  • Артикул: SEC-System-Generic
  • Производитель: Suzhou Second New Energy Technology Co.,Ltd.
  • Электропитание: AC 380 В
  • Условия эксплуатации: Температура 22.5 ±1°С, Влажность 40 — 80% (Без конденсации)
  • Точность поддержания расхода: ±(0.8%RD + 0.2%FS)
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 11000 × 6200 × 3500
В корзину
1
Винтовой вакуумный насос ATLAS COPCO GHS 900 VSD
Винтовой вакуумный насос ATLAS COPCO GHS 900 VSD
  • Габаритные размеры, мм: 1300x900x1100
  • Производитель: Atlas Copco
  • Предельное остаточное давление, мбар: 0.35
  • Мощность, кВт: 15
  • Частота вращения, об/мин: 7000
  • Уровень шума, дБ: 76
В корзину
1
Винтовой масляный вакуумный насос ERSTVAK EUREKA 1800
Винтовой масляный вакуумный насос ERSTVAK EUREKA 1800
  • Габаритные размеры, мм: 1804х1420х1455
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельное остаточное давление, мбар: 0.3
  • Мощность, кВт: 30
  • Охлаждение: воздушное/водяное
  • Уровень шума, дБ: 65-79
В корзину
1
Армированный вакуумный шланг IPL PLUTONE BIO ПВХ 30 мм
Армированный вакуумный шланг IPL PLUTONE BIO ПВХ 30 мм
  • Радиус изгиба, мм: 140
  • Артикул: B2 01 030.0 038.0
  • Вес, г/м: 605
  • Давление разрыва, бар: 25
  • Внутренний диаметр, мм: 30
  • Цвет: прозрачный
В корзину
1
Армированный вакуумный шланг IPL PLUTONE BIO ПВХ 63 мм
Армированный вакуумный шланг IPL PLUTONE BIO ПВХ 63 мм
  • Радиус изгиба, мм: 280
  • Артикул: B2 01 063.0 074.8
  • Вес, г/м: 1855
  • Давление разрыва, бар: 17.5
  • Внутренний диаметр, мм: 63
  • Производитель: IPL S.p.a.
В корзину
1
Моноблочный водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRPX 500
Моноблочный водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRPX 500
  • Артикул: ELRPX 500
  • Габаритные размеры, мм: 1044x479x521
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельное остаточное давление, мбар: 33
  • Мощность, кВт: 15
  • Частота вращения, об/мин: 970
В корзину
1
Армированный вакуумный шланг IPL PLUTONE BIO ПВХ 16 мм
Армированный вакуумный шланг IPL PLUTONE BIO ПВХ 16 мм
  • Радиус изгиба, мм: 70
  • Артикул: B2 01 016.0 022.4
  • Вес, г/м: 280
  • Давление разрыва, бар: 35
  • Внутренний диаметр, мм: 16
  • Производитель: IPL S.p.a.
В корзину
1
Линия производства блоков топливных элементов SUZHOU SECOND NEW ENERGY TECHNOLOGY SEC-System-Graphite
Линия производства блоков топливных элементов SUZHOU SECOND NEW ENERGY TECHNOLOGY SEC-System-Graphite
  • Артикул: SEC-System-Graphite
  • Производитель: Suzhou Second New Energy Technology Co.,Ltd.
  • Электропитание: AC 380 В
  • Условия эксплуатации: Температура 22.5 ±1°С, Влажность 40 — 80% (Без конденсации)
  • Точность поддержания расхода: ±(0.8%RD + 0.2%FS)
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 6000 × 2500 × 3000
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT900M-BWB
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT900M-BWB
  • Артикул: 893-EMT900MBWB-00
  • Габаритные размеры, мм: 264x401-407
  • Производитель: Ebara
  • Предельное остаточное давление, мбар: 10^(-10)
  • Производительность по азоту, л/с: 900
  • Краткое название: Вакуумный насос EBARA EMT900M-BWB
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!