Приходите на выставку «Нефтегаз-2026», 2-5 марта Подробнее →

Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I5

На этой странице мы поможем подобрать оборудование для решения вашей задачи или проблемы с минимальными сроками и максимальной вовлеченностью с нашей стороны

  • В наличии

product-card

Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I5
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I5
Описание
Характеристики

Описание товара отсутствует

Производитель
ERSTVAK Ltd.
Предельный вакуум, Па
1
Вакуумметр
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч
60
Мощность, Вт
2000
Электропитание, фаза
3
Электропитание
AC 380 В, 50/60 Гц (100A)
Материал камеры
Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
Дисплей
7"
Программное обеспечение
Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
903 × 983 × 1753
Частота, кГц
40
Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
Автоматическое согласование полных сопротивлений
Режим разрядки
RIE
Производительность, л
66
Электрод
Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
Габариты камеры, мм
400 × 450 × 370
Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
370 × 370
Слои для обработки
6
Расстояние между монослоями, мм
45
Регулятор расхода газа
Регулятор массового расхода (MFC
Интенсивность потока, мл
0 — 300
Газовый канал
2 канала (Опционально — 3 / 4 / 5 / 6) (поддерживается различный технологический газ, такой как кислород, аргон, водород, азот и др.).
Программируемый логический контроллер
Panasonic
Частота газа
99.999%
Выхлопное отверстие
KF25
Минимальное давление газа, МПа
0.6
Максимальное давление газа, МПа
0.8
Масса, кг
350

Товары из этой же серии

Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 50
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 55
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 600
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC (По запросу — Пирани)
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 65
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 80
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1

Не забудьте купить

Фланец-заглушка King Lai CF-BL-1400 со сквозными отверстиями под болты
Фланец-заглушка King Lai CF-BL-1400 со сквозными отверстиями под болты
  • Производитель: King Lai
  • Количество отверстий: 30
  • Диаметр отверстий, мм: 10.49
  • Рабочая температура, °С: От -190 до 450
  • Размер A, мм: 354.84
  • Размер D, мм: 28.45
В корзину
1
Пластинчато-роторный вакуумный насос ERSTVAK PRM 7 3ph
Пластинчато-роторный вакуумный насос ERSTVAK PRM 7 3ph
  • Артикул: PRM 7 3ph
  • Габаритные размеры, мм: 480x150x200
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельное остаточное давление, мбар: 5 × 10^(-3)
  • Мощность, кВт: 0.37
  • Уровень шума, дБ: 65
В корзину
1
Квадрупольный масс-спектрометр HIDEN HAL/3F RC 1001-9 PIC
Квадрупольный масс-спектрометр HIDEN HAL/3F RC 1001-9 PIC
  • Артикул: 571009
  • Производитель: Hiden Analytical Ltd.
  • Максимальное рабочее давление, мбар: 1
  • Тип детектора: Канальный цифровой детектор с электронным умножителем для подсчета импульсов
  • Диапазон регистрируемых масс, а.е.м.: 1000
  • Минимальное детектируемое парциальное давление, Торр: 5 × 10⁻¹⁵
В корзину
1
Установка локального термостресса ERSTVAK серии EVCLIM-HTS-225
Установка локального термостресса ERSTVAK серии EVCLIM-HTS-225
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Интерфейс: LAN
  • Режим работы: Ручной
  • Датчик температуры: Термопары типа Т, К или Pt100 со свидетельством о первичной поверке
  • Точность поддержания температуры, ±°C: 1
  • Электропитание: AC 220 В, 50 Гц, 16 А, 1 фаза
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-200/1200E
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-200/1200E
  • Производитель: KYKY Technology Co. Ltd.
  • Производительность по азоту, л/с: 1200
  • Коэффициент сжатия: 10^9
  • Максимальное форвакуумное давление, Па: 500
  • Предельное давление, Па: Для CF – 6 × 10^(-7);Для ISO K – 6 × 10^(-6)
  • Выходной фланец: ISO-KF DN40
В корзину
1
Винтовой компрессор ERSTVAK AURORA 150-8
Винтовой компрессор ERSTVAK AURORA 150-8
  • Мощность электродвигателя, кВт: 110
  • Артикул: AURORA 150-8
  • Напряжение, В: 380
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Присоединительный размер: DN80
  • Количество ступеней: 1
В корзину
1
Фланец-заглушка King Lai KF-UF-50 удлиненный
Фланец-заглушка King Lai KF-UF-50 удлиненный
  • Производитель: King Lai
  • Ширина, мм: 15.7
  • Внешний диаметр, мм: 75
  • Рабочее давление, Торр: 10Е-8
  • Диапазон рабочей температуры, °C: до 150
В корзину
1
Система испытания паков аккумуляторных батарей Stropower EVBT-1000-600
Система испытания паков аккумуляторных батарей Stropower EVBT-1000-600
  • Производитель: Xi'an Stropower Technologies Co., Ltd
  • Уровень шума, дБ: 75
  • Электропитание: AC 380 В ±15%, 50 Гц, 3 фазы
  • Номинальное напряжение, В: 1000
  • Ток, А: 600
  • Номинальная мощность, кВт: 600
В корзину
1
Контроллер INFICON VGC503
Контроллер INFICON VGC503
  • Артикул: 398-483
  • Производитель: INFICON
  • Единица измерения: мбар, Торр, па, ХПА, микрон
  • Регулировки: Зависит от датчика
  • Рабочая температура, °С: +5 — +50
  • Дисплей: ЖК-дисплей со светодиодной подсветкой
В корзину
1
Шаровой клапан прямоточный KF40 King Lai MBV-CT-150 ручной, приварной
Шаровой клапан прямоточный KF40 King Lai MBV-CT-150 ручной, приварной
  • Производитель: King Lai
  • Размер трубы: 1 1/2''
  • Рабочая температура, °С: 150
  • Размер A, мм: 140
  • Размер B, мм: 38
  • Размер C, мм: 191
В корзину
1

Вы смотрели

Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I8
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I8
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 2
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 400
  • Скорость откачки, м³/ч: 60
  • Мощность, Вт: 1000
В корзину
1
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I1
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 85
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 1000
В корзину
1
Моноблочный водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRPX 500
Моноблочный водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRPX 500
  • Артикул: ELRPX 500
  • Габаритные размеры, мм: 1044x479x521
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельное остаточное давление, мбар: 33
  • Мощность, кВт: 15
  • Частота вращения, об/мин: 970
В корзину
1
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I12
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I12
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 2
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 600
  • Скорость откачки, м³/ч: Насос Рутса + 60
  • Мощность, Вт: 1200
В корзину
1
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I11
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I11
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 600
  • Скорость откачки, м³/ч: Насос Рутса + 60
  • Мощность, Вт: 5000
В корзину
1
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRS-2-8/14-112
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRS-2-8/14-112
  • Артикул: ELRS-2-8/14-112
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Количество ступеней: 2
  • Предельное остаточное давление, мбар: 160
  • Мощность, кВт: 315
  • Краткое название: Двухступенчатый вакуумный насос ERSTVAK ELRS-2-8/14-112
В корзину
1
Кварцевый кристалл ERSTVAK EV-6-14-Au 6 МГц Золото 14 мм
Кварцевый кристалл ERSTVAK EV-6-14-Au 6 МГц Золото 14 мм
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Рабочая температура, °С: 0 — +70
  • Частота, МГц: 5. 985
  • Материал электрода с плоской стороны: Золото (Au)
  • Материал электрода с выпуклой стороны : Золото (Au)
  • Номинальная частота, МГц: 6.000
В корзину
1
Токарный обрабатывающий центр с осью Y ETHI 626-525MY
Токарный обрабатывающий центр с осью Y ETHI 626-525MY
  • Габариты (ДхШхВ), мм: 3975 × 2085 × 1980
  • Ход по оси X, мм: 225
  • Ход по оси Y, мм: 100
  • Ход по оси Z, мм: 525
  • Мощность двигателя шпинделя, кВт: 16.5/22
  • Крутящий момент шпинделя, Нм: 105/140
В корзину
1
Климатическая камера солнечной радиации ERSTVAK EVCLIM-КСР-3500
Климатическая камера солнечной радиации ERSTVAK EVCLIM-КСР-3500
  • Артикул: EVCLIM-КСР-3500
  • Диапазон влажности, %: С излучением: 10 — 80 (+15 — +80°С)
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Мощность, кВт: 30
  • Диапазон температур, °C: С излучением: -20 — +90
  • Краткое название: Камера солнечной радиации ERSTVAK EVCLIM-КСР-3500
В корзину
1
Квадрупольный масс-спектрометр высокого давления HIDEN HMT 100 RC
Квадрупольный масс-спектрометр высокого давления HIDEN HMT 100 RC
  • Артикул: 151100
  • Производитель: Hiden Analytical Ltd.
  • Максимальное рабочее давление, мбар: 5
  • Тип детектора: Цилиндр Фарадея (FC)
  • Диапазон регистрируемых масс, а.е.м.: 100
  • Минимальное детектируемое парциальное давление, мбар: 5 × 10⁻⁸ (в режиме технологического давления)
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!