Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I8
На этой странице мы поможем подобрать оборудование для решения вашей задачи или проблемы с минимальными сроками и максимальной вовлеченностью с нашей стороны
- В наличии
product-card
Описание товара отсутствует
- Производитель
- ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па
- 2
- Вакуумметр
- Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Скорость откачки, м³/ч
- 60
- Мощность, Вт
- 1000
- Электропитание, фаза
- 3
- Электропитание
- AC 380 В, 50/60 Гц (100A)
- Материал камеры
- Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
- Дисплей
- 7"
- Программное обеспечение
- Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная
- Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
- 930 × 990 × 1754
- Частота, МГц
- 13.56, твердотельный радиочастотный источник питания
- Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
- Автоматическое согласование полных сопротивлений
- Режим разрядки
- RIE
- Производительность, л
- 110
- Электрод
- Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
- Габариты камеры, мм
- 500 × 500 × 485
- Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
- 458 × 420
- Слои для обработки
- 6
- Расстояние между монослоями, мм
- 65.5
- Регулятор расхода газа
- Регулятор массового расхода (MFC
- Интенсивность потока, мл
- 0 — 300
- Газовый канал
- 2 канала (Опционально — 3 / 4 / 5 / 6) (поддерживается различный технологический газ, такой как кислород, аргон, водород, азот и др.).
- Программируемый логический контроллер
- Panasonic
- Частота газа
- 99.999%
- Выхлопное отверстие
- KF40
- Минимальное давление газа, МПа
- 0.6
- Максимальное давление газа, МПа
- 0.8
- Масса, кг
- 400
Товары из этой же серии
Не забудьте купить
Вы смотрели
Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?