Приходите на выставку «Нефтегаз-2026», 2-5 марта Подробнее →

Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I9

На этой странице мы поможем подобрать оборудование для решения вашей задачи или проблемы с минимальными сроками и максимальной вовлеченностью с нашей стороны

  • В наличии

product-card

Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I9
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I9
Описание
Характеристики

Описание товара отсутствует

Производитель
ERSTVAK Ltd.
Предельный вакуум, Па
1
Вакуумметр
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч
Насос Рутса + 60
Мощность, Вт
5000
Электропитание, фаза
3
Электропитание
AC 380 В, 50/60 Гц (100A)
Материал камеры
Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
Дисплей
7"
Программное обеспечение
Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
1300 × 1190 × 1790
Частота, кГц
40
Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
Автоматическое согласование полных сопротивлений
Режим разрядки
RIE
Производительность, л
165
Электрод
Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
Габариты камеры, мм
500 × 600 × 500
Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
508 × 520
Слои для обработки
8
Расстояние между монослоями, мм
51
Регулятор расхода газа
Регулятор массового расхода (MFC
Интенсивность потока, мл
0 — 500
Газовый канал
2 канала (Опционально — 3 / 4 / 5 / 6) (поддерживается различный технологический газ, такой как кислород, аргон, водород, азот и др.).
Программируемый логический контроллер
Panasonic
Частота газа
99.999%
Выхлопное отверстие
KF40
Минимальное давление газа, МПа
0.6
Максимальное давление газа, МПа
0.8
Масса, кг
500

Товары из этой же серии

Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 50
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 55
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 600
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC (По запросу — Пирани)
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 65
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 80
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1

Не забудьте купить

Вакуумный адаптер к резьбе King Lai AD-NPTF-KF40x012
Вакуумный адаптер к резьбе King Lai AD-NPTF-KF40x012
  • Производитель: King Lai
  • Модель: AD-NPTF-KF40x012
  • Длина, мм: 25.4
  • Размер фланца: KF40
  • Назначение: Промышленный
В корзину
1
Роторный блок воздуходувки ROBUSCHI RBS 165
Роторный блок воздуходувки ROBUSCHI RBS 165
  • Режим работы: Универсальная
  • Производитель: Robuschi S.p.A.
  • Краткое название: Блок воздуходувки РУТС ROBUSCHI RBS 165
  • Разрежение, мбар: 500
  • Производительность, м³/ч: 10400
  • Материал корпуса: UNI-EN 1561 G250;DIN 1691 0.6020;A 48 GR 30
В корзину
1
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA 100 A
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA 100 A
  • Напряжение, В: 220
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Масса, кг: 2910
  • Конструкция: две колонны
  • Минимальное значение точки росы, °С: -70
  • Максимальное значение точки росы, °С: -40
В корзину
1
Переходник цилиндрический King Lai AD-ISO100XKF50
Переходник цилиндрический King Lai AD-ISO100XKF50
  • Производитель: King Lai
  • Длина, мм: 46.3
  • Фланец: ISO100
  • Картинка webp: /upload/iblock/armatura/webp/IMG_2664.webp
  • Рабочая температура, °С: От -20 до 150
  • Предельное давление, Торр: 10Е-8
В корзину
1
Пневматический двунаправленный вертикальный стенд для ударных испытаний CME KRD17-2000
Пневматический двунаправленный вертикальный стенд для ударных испытаний CME KRD17-2000
  • Производитель: CME Technology Co., Ltd.
  • Длина, мм: 2000
  • Ширина, мм: 2000
  • Высота, мм: 1900
  • Масса, кг: 8000
  • Стандарты: UL2586
В корзину
1
Ультразвуковая система очистки ERSTVAK СОУ-99-2
Ультразвуковая система очистки ERSTVAK СОУ-99-2
  • Габаритные размеры, мм: 550 × 450 × 400
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Краткое название: Система очистки ERSTVAK СОУ-99-2
  • Объем ванны, л: 99
  • Ультразвуковая частота, КГц: 40
  • Мощность нагрева, Вт: 3000
В корзину
1
Гелиевый течеискатель Pfeiffer Vacuum ASM 390
Гелиевый течеискатель Pfeiffer Vacuum ASM 390
  • I/O интерфейсы: Basic 15 pins I/O
  • Габаритные размеры, мм: 1072x455x1025
  • Производитель: Pfeiffer Vacuum
  • Рабочие газы: H2
  • Скорость форвакуумной откачки, м³/ч: 35
  • Скорость откачки по гелию, л/с: 10
В корзину
1
Вакуумная печь для отпуска ERSTVAK VT-8812
Вакуумная печь для отпуска ERSTVAK VT-8812
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Размеры рабочей камеры, мм: 800 × 800 × 1200
  • Максимальная температура, °C: 750
  • Масса садки, кг: 1200
  • Краткое название: Вакуумная печь ERSTVAK VT-8812
  • Рабочий газ: N₂
В корзину
1
Центробежный насос ERSTVAK LAGUNA EW80-65-125-112/2
Центробежный насос ERSTVAK LAGUNA EW80-65-125-112/2
  • Мощность, кВт: 5.5
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Масса, кг: 138
  • Минимальная производительность, м³/ч: 30
  • Максимальная производительность, м³/ч: 60
  • Минимальный напор, м: 17.6
В корзину
1
Промышленный фильтр Solberg SM4-234P-301 для агрессивных условий
Промышленный фильтр Solberg SM4-234P-301 для агрессивных условий
  • Производитель: SOLBERG
  • Масса, кг: 14.4
  • Фильтрующий картридж: Бумага
  • Выход, дюйм: 3
  • Пропускная способность, м³/ч: 510
В корзину
1

Вы смотрели

Винтовой масляный вакуумный насос ERSTVAK EUREKA 1800
Винтовой масляный вакуумный насос ERSTVAK EUREKA 1800
  • Габаритные размеры, мм: 1804х1420х1455
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельное остаточное давление, мбар: 0.3
  • Мощность, кВт: 30
  • Охлаждение: воздушное/водяное
  • Уровень шума, дБ: 65-79
В корзину
1
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I10
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I10
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 2
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 500
  • Скорость откачки, м³/ч: Насос Рутса + 60
  • Мощность, Вт: 1200
В корзину
1
Токарный обрабатывающий центр с осью Y ETHI 585-500MY
Токарный обрабатывающий центр с осью Y ETHI 585-500MY
  • Габариты (ДхШхВ), мм: 2355 × 2355 × 1710
  • Ход по оси X, мм: 175
  • Ход по оси Y, мм: 70
  • Ход по оси Z, мм: 500
  • Мощность двигателя шпинделя, кВт: 9.8/13
  • Крутящий момент шпинделя, Нм: 62/83
В корзину
1
Система испытаний на высокоинтенсивные ударные воздействия CME KRD16-2
Система испытаний на высокоинтенсивные ударные воздействия CME KRD16-2
  • Производитель: CME Technology Co., Ltd.
  • Длина, мм: 3650
  • Ширина, мм: 3300
  • Высота, мм: 3200
  • Мощность, кВт: 20
  • Масса, кг: 15000
В корзину
1
Токарный обрабатывающий центр с осью Y ETHI 626-825MY
Токарный обрабатывающий центр с осью Y ETHI 626-825MY
  • Габариты (ДхШхВ), мм: 4355 × 2085 × 1980
  • Ход по оси X, мм: 225
  • Ход по оси Y, мм: 100
  • Ход по оси Z, мм: 825
  • Мощность двигателя шпинделя, кВт: 16.5/22
  • Крутящий момент шпинделя, Нм: 105/140
В корзину
1
Цилиндрическая мановакуумная камера ERSTVAK CYL-9L
Цилиндрическая мановакуумная камера ERSTVAK CYL-9L
  • Габаритные размеры, мм: 219x250
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Масса, кг: 12
  • Краткое название: Мановакуумная камера ERSTVAK CYL-9L
  • Объем камеры, л: 9
  • Предельный вакуум, мбар: 10
В корзину
1
Мобильный гелиевый течеискатель (сухой) INFICON UL3000 Fab ULTRA
Мобильный гелиевый течеискатель (сухой) INFICON UL3000 Fab ULTRA
  • Артикул: 550-260
  • Габаритные размеры, мм: 1050х472х987
  • Производитель: INFICON
  • Максимальное рабочее давление, мбар: 2
  • Мин. определяемая течь - вакуумный режим, мбар·л/с: 5*10(-12)
  • Мин. определяемая течь - режим щупа, мбар·л/с: 5*10(-8)
В корзину
1
Климатическая камера солнечной радиации ERSTVAK EVCLIM-КСР-3500
Климатическая камера солнечной радиации ERSTVAK EVCLIM-КСР-3500
  • Артикул: EVCLIM-КСР-3500
  • Диапазон влажности, %: С излучением: 10 — 80 (+15 — +80°С)
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Мощность, кВт: 30
  • Диапазон температур, °C: С излучением: -20 — +90
  • Краткое название: Камера солнечной радиации ERSTVAK EVCLIM-КСР-3500
В корзину
1
Квадрупольный масс-спектрометр высокого давления HIDEN HMT 100 RC
Квадрупольный масс-спектрометр высокого давления HIDEN HMT 100 RC
  • Артикул: 151100
  • Производитель: Hiden Analytical Ltd.
  • Максимальное рабочее давление, мбар: 5
  • Тип детектора: Цилиндр Фарадея (FC)
  • Диапазон регистрируемых масс, а.е.м.: 100
  • Минимальное детектируемое парциальное давление, мбар: 5 × 10⁻⁸ (в режиме технологического давления)
В корзину
1
Цилиндрическая мановакуумная камера ERSTVAK CYL-17L
Цилиндрическая мановакуумная камера ERSTVAK CYL-17L
  • Габаритные размеры, мм: 263x300
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Масса, кг: 22
  • Краткое название: Мановакуумная камера ERSTVAK CYL-17L
  • Объем камеры, л: 17
  • Предельный вакуум, мбар: 1
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!