Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W2
На этой странице мы поможем подобрать оборудование для решения вашей задачи или проблемы с минимальными сроками и максимальной вовлеченностью с нашей стороны
- В наличии
product-card
Описание товара отсутствует
- Производитель
- ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па
- 1
- Вакуумметр
- Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Скорость откачки, м³/ч
- 16
- Мощность, Вт
- 300
- Материал камеры
- Нержавеющая сталь 316
- Дисплей
- 4.3"
- Программное обеспечение
- Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и повторяемая, многоязычная
- Напряжение питания, В
- 220
- Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
- 553 × 553 × 732
- Частота, МГц
- 13.56
- Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
- Автоматическое согласование полных сопротивлений
- Режим разрядки
- RIE
- Производительность, л
- 13.5
- Электрод
- Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
- Габариты камеры, мм
- 240 × 280 × 200
- Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
- 210 × 204
- Слои для обработки
- 3
- Расстояние между монослоями, мм
- 45
- Регулятор расхода газа
- Регулятор массового расхода (MFC)
- Интенсивность потока, мл
- 0 — 300
- Газовый канал
- 2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).
- Вакуумная линия
- Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан
- Программируемый логический контроллер
- Panasonic
- Размер воздушной трубки, мм
- Ø8
- Частота газа
- 99.999%
- Выхлопное отверстие
- KF25
- Равномерность
- ≤±15%
- Минимальное давление газа, МПа
- 0.3
- Максимальное давление газа, МПа
- 0.6
- Масса, кг
- 80
Товары из этой же серии
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 50
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 55
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 200
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 600
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC (По запросу — Пирани)
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 200
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Масса, кг: 65
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 300
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Мощность, Вт: 500
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Масса, кг: 300
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Мощность, Вт: 500
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 80
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Не забудьте купить
- Габариты (ДхШхВ), мм: 4640 × 2320 × 2070
- Ход по оси X, мм: 315
- Ход по оси Y, мм: 200
- Ход по оси Z, мм: 1035
- Мощность двигателя шпинделя, кВт: 26.2/35
- Крутящий момент шпинделя, Нм: 500/668
В корзину
1
- Габаритные размеры, мм: 1000 × 800 × 800
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Краткое название: Система очистки ERSTVAK СОУ-640-Ф
- Объем ванны, л: 640
- Ультразвуковая частота, КГц: 40
- Мощность нагрева, Вт: 21000
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Максимальная масса объекта испытаний, кг: 25000
- Минимальная частота, Гц: 0.1
- Максимальная частота, Гц: 100
- Максимальный ход, мм: 305
- Тип тестируемого автотранспорта: Тяжелый коммерческий автотранспорт
В корзину
1
- Производитель: SOLBERG
- Масса, кг: 1.35
- Фильтрующий картридж: Полиэстер
- Вход, дюйм: 0.75
- Выход, дюйм: 0.75
- Пропускная способность, м³/ч: 43
В корзину
1
- Артикул: CXF-250/2301
- Производитель: KYKY Technology Co. Ltd.
- Предельное остаточное давление, мбар: 2 × 10^(-9)
- Производительность по азоту, л/с: 2200
- Масса, кг: 58
- Краткое название: Вакуумный насос KYKY CXF-250/2301
В корзину
1
- Производитель: Thyracont Vacuum Instruments GmbH
- Температура хранения: -40 — +65
- Время отклика, мс: 40
- Степень защиты: IP54
- Выходной сигнал: 0–10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 2.2 — 8.58 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка., кроме EtherCAT, Profinet
- Принцип измерения: Пьезорезистивный / Пирани (в зависимости от типа газа)
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Модель: BB-KF-40-750L
- Длина, мм: 750
- Дополнительные функции: армированный
- Размер фланца: KF40
- Назначение: Промышленный
В корзину
1
- Производитель: SOLBERG
- Масса, кг: 9.45
- Фильтрующий картридж: SpinMeister
- Вход, дюйм: 3
- Выход, дюйм: 3
- Пропускная способность, м³/ч: 170
В корзину
1
- Артикул: 893-EMT900MCAB-00
- Габаритные размеры, мм: 264x401-407
- Производитель: Ebara
- Предельное остаточное давление, мбар: 10^(-10)
- Производительность по азоту, л/с: 900
- Краткое название: Вакуумный насос EBARA EMT900M-CAB
В корзину
1
- Предельное остаточное давление, мбар: -600
- Мощность электродвигателя, кВт: 5.5
- Частота вращения, об/мин: 1440
- Артикул: PVP140
- Габаритные размеры, мм: 882 × 460 × 336
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
В корзину
1
Вы смотрели
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 80
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Артикул: 893-EMT420MBAB-00
- Габаритные размеры, мм: 180x250-255
- Производитель: Ebara
- Предельное остаточное давление, мбар: 10^(-9)
- Производительность по азоту, л/с: 400
- Краткое название: Вакуумный насос EBARA EMT420M-BAB
В корзину
1
- Артикул: ELRPX 400
- Габаритные размеры, мм: 852x377x427
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельное остаточное давление, мбар: 33
- Мощность, кВт: 11
- Частота вращения, об/мин: 1460
В корзину
1
- Артикул: 893-EMT2400MBWB-00
- Габаритные размеры, мм: 310x340
- Производитель: Ebara
- Предельное остаточное давление, мбар: 10^(-10)
- Производительность по азоту, л/с: 2400
- Масса, кг: 45
В корзину
1
- Артикул: PRM 54 3ph
- Габаритные размеры, мм: 705x255x360
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельное остаточное давление, мбар: 5 × 10^(-3)
- Мощность, кВт: 1.5
- Уровень шума, дБ: 70
В корзину
1
- Артикул: FF-40/25E
- Производитель: KYKY Technology Co. Ltd.
- Предельное остаточное давление, мбар: 1 × 10^(-6)
- Производительность по азоту, л/с: 22
- Максимальное форвакуумное давление, Па: 1000
- Предельное давление, Па: 10^8
В корзину
1
- Производитель: KYKY Technology Co. Ltd.
- Предельное остаточное давление, мбар: 6 × 10^1
- Производительность по азоту, л/с: 140
- Максимальное форвакуумное давление, Па: 500
- Предельное давление, Па: 10^7
- Выходной фланец: ISO-KF DN25
В корзину
1
Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?
