- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Установки плазменной обработки поверхности
- Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W2
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W2
На этой странице мы поможем подобрать оборудование для решения вашей задачи или проблемы с минимальными сроками и максимальной вовлеченностью с нашей стороны
- В наличии
product-card
Описание товара отсутствует
- Производитель
- ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па
- 1
- Вакуумметр
- Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Скорость откачки, м³/ч
- 16
- Мощность, Вт
- 300
- Материал камеры
- Нержавеющая сталь 316
- Дисплей
- 4.3"
- Программное обеспечение
- Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и повторяемая, многоязычная
- Напряжение питания, В
- 220
- Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
- 553 × 553 × 732
- Частота, МГц
- 13.56
- Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
- Автоматическое согласование полных сопротивлений
- Режим разрядки
- RIE
- Производительность, л
- 13.5
- Электрод
- Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
- Габариты камеры, мм
- 240 × 280 × 200
- Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
- 210 × 204
- Слои для обработки
- 3
- Расстояние между монослоями, мм
- 45
- Регулятор расхода газа
- Регулятор массового расхода (MFC)
- Интенсивность потока, мл
- 0 — 300
- Газовый канал
- 2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).
- Вакуумная линия
- Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан
- Программируемый логический контроллер
- Panasonic
- Размер воздушной трубки, мм
- Ø8
- Частота газа
- 99.999%
- Выхлопное отверстие
- KF25
- Равномерность
- ≤±15%
- Минимальное давление газа, МПа
- 0.3
- Максимальное давление газа, МПа
- 0.6
- Масса, кг
- 80
Товары из этой же серии
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 50
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 55
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 200
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 600
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC (По запросу — Пирани)
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 200
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Масса, кг: 65
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 300
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Мощность, Вт: 500
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Масса, кг: 300
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Мощность, Вт: 500
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 80
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Не забудьте купить
- Режим работы: Нагнетание
- Мощность электродвигателя, кВт: 147
- Артикул: MAX200-C080
- Производитель: TurboMAX Co. Ltd.
- Краткое название: Воздуходувка TurboMAX MAX200-C080
- Напряжение питания, В: 440
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Рабочая температура, °С: От -20 до 150
- Размер A, мм: 38.1
- Предельное давление, Торр: 10Е-13
В корзину
1
- Режим работы: Нагнетание
- Мощность электродвигателя, кВт: 2.2
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Краткое название: Высоконапорный вентилятор ERSTVAK TCF 125/3
- Напряжение питания, В: 345 – 415Y
- Производительность, м³/ч: 2160
В корзину
1
- Артикул: ESA25D
- Габаритные размеры, мм: 1074х394х520
- Производитель: Ebara
- Предельное остаточное давление, мбар: 0.04
- Мощность, кВт: 3.7
- Масса, кг: 240
В корзину
1
- Артикул: CXF-250/2300E, CF 250
- Производитель: KYKY Technology Co. Ltd.
- Наши предложения: old
- Предельное остаточное давление, мбар: 2 × 10^(-8)
- Производительность по азоту, л/с: 2300
- Масса, кг: 58
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Модель: AD-NPTF-KF25x050
- Длина, мм: 25.4
- Размер фланца: KF25
- Назначение: Промышленный
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Размер фланца: KF16
- Картинка webp: /upload/iblock/armatura/webp/IMG_2892.webp
- Сторона А: 30
- Сторона B: 17.2
- Сторона C: 15.75
В корзину
1
- Напряжение, В: 220
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Масса, кг: 10500
- Конструкция: две колонны
- Минимальное значение точки росы, °С: -70
- Максимальное значение точки росы, °С: -40
В корзину
1
- Режим работы: Универсальная
- Мощность электродвигателя, кВт: 2.2
- Артикул: EVL 58/27 3 ф.
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Краткое название: Воздуходувка ERSTVAK EVL 58/27 3 ф.
- Разрежение, мбар: 250
В корзину
1
- Производитель: CME Technology Co., Ltd.
- Напряжение, В: 380
- Стандарты: ISTA
- Максимальная нагрузка, кг: 3000
- Условия установки: Требует специальной подготовки фундамента (виброизоляция, выравнивание), крепление на анкерные болты
- Длина стола, мм: 2200
В корзину
1
Вы смотрели
- Габаритные размеры, мм: 2600х1900х1760
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельное остаточное давление, мбар: 0.3
- Мощность, кВт: 45
- Охлаждение: воздушное/водяное
- Уровень шума, дБ: 67-80
В корзину
1
- Напряжение, В: 220
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Масса, кг: 775
- Конструкция: модульный
- Минимальное значение точки росы, °С: -70
- Максимальное значение точки росы, °С: -40
В корзину
1
- Напряжение, В: 220
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Масса, кг: 5970
- Конструкция: две колонны
- Минимальное значение точки росы, °С: -70
- Максимальное значение точки росы, °С: -40
В корзину
1
- Артикул: ELRS-3-112
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельное остаточное давление, мбар: 33
- Мощность, кВт: 15
- Краткое название: Вакуумный насос ERSTVAK ELRS-3-112
- Присоединительный размер: DN65
В корзину
1
- Артикул: 893-EMT420MCAB-00
- Производитель: Ebara
- Производительность, л/с: 400
- Выходной фланец: DN160 CF
- Охлаждение: Воздушное (вентилятор)
- Краткое название: Вакуумный насос EBARA EMT420M-CAB
В корзину
1
- Габариты (ДхШхВ), мм: 15400 × 6800 × 5600
- Ход по оси X, мм: 6000
- Ход по оси Y, мм: 3600
- Ход по оси Z, мм: 1250
- Потребление энергии, кВА: 65
- Расстояние от торца шпинделя до поверхности стола, мм: 250 — 1250
В корзину
1
- Мощность, кВт: 3.7
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Напряжение питания, В: 380
- Масса, кг: 140
- Уровень шума, дБ(А): 63
- Производительность, м³/мин: 0.4
В корзину
1
- Габариты (ДхШхВ), мм: 17400 × 7400 × 5600
- Ход по оси X, мм: 8000
- Ход по оси Y, мм: 4200
- Ход по оси Z, мм: 1200
- Потребление энергии, кВА: 65
- Расстояние от торца шпинделя до поверхности стола, мм: 250 — 1250
В корзину
1
- Артикул: ELRS-71-112
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельное остаточное давление, мбар: 33
- Мощность, кВт: 450
- Краткое название: Вакуумный насос ERSTVAK ELRS-71-112
- Присоединительный размер: DN400
В корзину
1
- Артикул: ELRS-60-112
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельное остаточное давление, мбар: 33
- Мощность, кВт: 250
- Краткое название: Вакуумный насос ERSTVAK ELRS-60-112
- Присоединительный размер: DN300
В корзину
1
Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?
