Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W2
На этой странице мы поможем подобрать оборудование для решения вашей задачи или проблемы с минимальными сроками и максимальной вовлеченностью с нашей стороны
- В наличии
product-card
Описание товара отсутствует
- Производитель
- ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па
- 1
- Вакуумметр
- Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Скорость откачки, м³/ч
- 16
- Мощность, Вт
- 300
- Материал камеры
- Нержавеющая сталь 316
- Дисплей
- 4.3"
- Программное обеспечение
- Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и повторяемая, многоязычная
- Напряжение питания, В
- 220
- Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
- 553 × 553 × 732
- Частота, МГц
- 13.56
- Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
- Автоматическое согласование полных сопротивлений
- Режим разрядки
- RIE
- Производительность, л
- 13.5
- Электрод
- Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
- Габариты камеры, мм
- 240 × 280 × 200
- Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
- 210 × 204
- Слои для обработки
- 3
- Расстояние между монослоями, мм
- 45
- Регулятор расхода газа
- Регулятор массового расхода (MFC)
- Интенсивность потока, мл
- 0 — 300
- Газовый канал
- 2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).
- Вакуумная линия
- Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан
- Программируемый логический контроллер
- Panasonic
- Размер воздушной трубки, мм
- Ø8
- Частота газа
- 99.999%
- Выхлопное отверстие
- KF25
- Равномерность
- ≤±15%
- Минимальное давление газа, МПа
- 0.3
- Максимальное давление газа, МПа
- 0.6
- Масса, кг
- 80
Товары из этой же серии
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 50
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 55
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 200
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 600
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC (По запросу — Пирани)
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 200
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Масса, кг: 65
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 300
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Мощность, Вт: 500
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Масса, кг: 300
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Мощность, Вт: 500
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 80
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Не забудьте купить
- Производитель: King Lai
- Модель: ISOK-BL-100
- Ширина, мм: 11.9
- Назначение: Промышленный
- Внешний диаметр, мм: 130
- Рабочая температура, °С: От -20 до 150
В корзину
1
- Ход по оси X, мм: 4000
- Ход по оси Y, мм: 3000
- Ход по оси Z, мм: 3000
- Размер стола (ДxШ), мм: 2000 × 2500
- Макс. нагрузка на стол, кг: 20000
- Тип конуса шпинделя: ISO50
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Количество отверстий: 24
- Диаметр отверстий, мм: 8.43
- Рабочая температура, °С: От -190 до 450
- Размер A, мм: 253.24
- Размер B, мм: 208.24
В корзину
1
- Производитель: Cryo H&I
- Производительность по азоту, л/с: 660
- Производительность по водороду, л/с: 1300
- Скорость откачки по аргону, л/с: 550
- Время охлаждения, мин: 80
- Масса, кг: 11
В корзину
1
- Мощность, кВт: 2.2
- Напряжение, В: 220
- Габаритные размеры, мм: 800 × 700 × 880
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Присоединительный размер: G2"
- Масса, кг: 110
В корзину
1
- Артикул: RE200-PRO
- Напряжение, В: 220 — 380
- Габаритные размеры, мм: 1160 × 600 × 1860
- Производитель: DLAB Ltd.
- Присоединительный размер: 16
- Краткое название: Ротационный испаритель DLAB RE200-Pro
В корзину
1
- Артикул: 8153614089
- Габаритные размеры, мм: 1300x900x1100
- Производитель: Atlas Copco
- Предельное остаточное давление, мбар: 0.35
- Мощность, кВт: 7.5
- Частота вращения, об/мин: 7000
В корзину
1
- Режим работы: Нагнетание
- Мощность электродвигателя, кВт: 37
- Артикул: MAX50-C100
- Производитель: TurboMAX Co. Ltd.
- Краткое название: Воздуходувка TurboMAX MAX50-C100
- Напряжение питания, В: 440
В корзину
1
- Габариты (ДхШхВ), мм: 15400 × 5300 × 5200
- Ход по оси X, мм: 6000
- Ход по оси Y, мм: 2800
- Ход по оси Z, мм: 1000
- Потребление энергии, кВА: 60
- Расстояние от торца шпинделя до поверхности стола, мм: 250 — 1250
В корзину
1
- Мощность электродвигателя, кВт: 90
- Артикул: ESC-120D 8 атм
- Габаритные размеры, мм: 2100 × 1400 × 1780
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Присоединительный размер: G2"
- Краткое название: Компрессор ERSTVAK ESC-120D 8 атм
В корзину
1
Вы смотрели
- Артикул: ELRS-75-112
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельное остаточное давление, мбар: 160
- Мощность, кВт: 500
- Краткое название: Вакуумный насос ERSTVAK ELRS-75-112
- Диапазон частоты вращения, об/мин: 236-398
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельное остаточное давление, мбар: 0.5
- Быстрота откачки, м³/ч: 20
- Суммарная мощность, кВт: 0.75
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1165 × 640 × 1320
- Масса установки, кг: 117
В корзину
1
- Артикул: EVCLIM-КД 1000-IP9
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Расход воды, л/мин: 14 — 16
- Мощность, кВт: 25
- Краткое название: Камера дождя ERSTVAK EVCLIM-КД 1000-IP9
- Электропитание: 380 В, 50 Гц + земля + нейтраль
В корзину
1
- Артикул: ESA300W
- Габаритные размеры, мм: 1110x620x985
- Производитель: Ebara
- Предельное остаточное давление, мбар: 0.0053
- Мощность, кВт: 6.6
- Масса, кг: 700
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельное остаточное давление, мбар: 0.5
- Быстрота откачки, м³/ч: 20
- Суммарная мощность, кВт: 0.75
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1165 × 640 × 1345
- Масса установки, кг: 108
В корзину
1
- Производитель: ER-Lok
- Максимальное рабочее давление (дюймовая труба), psig: 1100
- Максимальное рабочее давление (метрическая труба), бар: 700
- Максимальный крутящийся момент при установке (без покрытия): 490
- Максимальный крутящийся момент при установке (с покрытием): 255
- Тип резьбы: Дюймовая труба - Цилиндрическая резьба ISO (PP)
В корзину
1
- Артикул: ELRS-3-112
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельное остаточное давление, мбар: 33
- Мощность, кВт: 15
- Краткое название: Вакуумный насос ERSTVAK ELRS-3-112
- Присоединительный размер: DN65
В корзину
1
- Артикул: 412922
- Габаритные размеры, мм: 260х310х190
- Производитель: WELCH
- Предельное остаточное давление, мбар: 8
- Уровень шума, дБ: 44
- Масса, кг: 15.5
В корзину
1
- Производитель: ER-Lok
- Максимальное рабочее давление (дюймовая труба), psig: 1100
- Максимальное рабочее давление (метрическая труба), бар: 700
- Максимальный крутящийся момент при установке (без покрытия): 490
- Максимальный крутящийся момент при установке (с покрытием): 255
- Тип резьбы: Метрическая труба - Цилиндрическая резьба по BSPP (RS)
В корзину
1
- Габаритные размеры, мм: 13500 × 1300 × 1600
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Максимальная температура, °C: 1150
- Расход газа, м³: 6
- Рабочий газ: CH₄
- Картинка webp: /upload/iblock/pechi-dlya-poroshkovoy-metallurgii-csf/konveyernaya-vakuumnaya-pech-spekaniya-erstevak-csf-150-65-4.webp
В корзину
1
Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?
