Система плазменной обработки подложек ERSTEVAK EV-PLASMA-W2

Характеристики

• Предельный вакуум, Па
  1
• Вакуумметр
  Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
• Масса, кг
  80
• Скорость откачки, м³/ч
  16
• Мощность, Вт
  300
• Электропитание
  220 В
• Материал камеры
  Нержавеющая сталь 316
• Дисплей
  4.3"
• Программное обеспечение
  Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и повторяемая, многоязычная
• Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
  553 × 553 × 732
• Частота, МГц
  13.56
• Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
  Автоматическое согласование полных сопротивлений
• Режим разрядки
  CCP, RIE
• Производительность, л
  13.5
• Электрод
  Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
• Габариты камеры, мм
  240 × 280 × 200
• Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
  210 × 204
• Слои для обработки
  3
• Расстояние между монослоями, мм
  45
• Регулятор расхода газа
  Регулятор массового расхода (MFC)
• Интенсивность потока, мл
  0 — 300
• Газовый канал
  2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).
• Вакуумная линия
  Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан
• Программируемый логический контроллер
  Panasonic
• Размер воздушной трубки, мм
  Ø8
• Частота газа
  99.999%
• Давление газа, МПа
  0.3 — 0.6
• Выхлопное отверстие
  KF25
• Равномерность
  ≤±15%