Страна: КНР
Позиция установки: любая
Вес: 60 кг
Входной фланец: 250 LF, 250 ISO-F, 250 ICF
Выходной фланец: KF-40
Скорость откачки по азоту: 2260 л/с
Степень сжатияДля N2 - 10^8
Предельное давление, Па: Витоновое уплотнение - 10^(-7), Металлическое уплотнение - 10^(-8)
Макс. Мгновенное форвакуумное давление: 1500 Па
Скорость вращения: 30000 об/мин
Время выхода на режим: 9 мин
Тип охлаждения: водяной
Расход охлаждающей воды: 3 л/мин
Температура охлаждающей воды: 20
Производительность по азоту, л/с: 2400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-100/150E DN100CF
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 150
Предельное остаточное давление, мбар: 6x10^-9
Время выхода на режим, мин: <2
Турбомолекулярный вакуумный насос без контроллера KYKY FF-200/1300E ISO-K 200
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 1300
Предельное остаточное давление, мбар: 6x10^-8
Время выхода на режим, мин: <6
Производительность по азоту, л/с: 1300
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Диффузионный вакуумный насос ERSTEVAK EVD 400
Тип:
Диффузионный
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 8500
Предельное остаточное давление, мбар: 5*10^-7
Мощность нагревателя, кВт: 5