Страна: КНР
Позиция установки: любая
Вес: 76 кг
Входной фланец: 320 ISO-F
Выходной фланец: KF-40
Скорость откачки по азоту: 2950 л/с
Степень сжатияДля N2 - 10^8
Предельное давление, Па: 10^(-7)
Макс. Мгновенное форвакуумное давление: 2100 Па
Скорость вращения: 21000 об/мин
Время выхода на режим: 9 мин
Тип охлаждения: водяной
Расход охлаждающей воды: 3 л/мин
Температура охлаждающей воды: 20
Производительность по азоту, л/с: 2400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-400/3500E DN 400 ISO-K
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 3500
Предельное остаточное давление, мбар: 6x10^-6
Время выхода на режим, мин: <18,8
Производительность по азоту, л/с: 900
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Магниторазрядный ионно-геттерный вакуумный насос KYKY 2L-100
Тип:
Магниторазрядный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.