Страна: КНР
Картридж: Масляный
Фланец на входе: DN160 CF, DN160 ISO-K
Фланец на выходе: ISO-KF DN40
Скорость откачки: N2 - 600 л/с
Коэффициент сжатия: N2 - 10^9
Предельное давление: Для CF 6×10-7 Pa Для ISO K 6×10-6 Pa
Макс. Постоянное форвакуумное давление: 240
Макс. Форвакуумное давление: N2 - 350 Пa
Скорость вращения: 27000 об/мин
Время разгона: 7 мин
Охлаждение: водяное или воздушное
Температура охлаждающей воды: 25
Форвакуумный насос: 4-8 л/с
Вес: 30 кг
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 1100
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-8
Время выхода на режим, мин: 7
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN40S
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 5 000
Производительность по водороду, л/с: 10 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 4 500
Скорость откачки по парам воды, л/с: 16 000
Время охлаждения, мин: 160
Криогенный вакуумный насос SHI Marathon CP-16 ISO 400 мм
Тип:
Криогенный
Производитель:
SHI Cryogenics Group
Производительность по водороду, л/с: 12000
Производительность по воздуху, л/с: 4800
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-200/1300FE 200 CF (воздушное охлаждение)
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 1300
Предельное остаточное давление, мбар: 6x10^-8
Время выхода на режим, мин: 9
Магниторазрядный ионно-геттерный вакуумный насос KYKY 2L-25
Тип:
Магниторазрядный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 75
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: 2
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN32SH
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 4 000
Производительность по водороду, л/с: 8 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 3 600
Скорость откачки по парам воды, л/с: 11 000
Время охлаждения, мин: 80