Производительность по азоту, л/с: 900
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN40PH
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 5 000
Производительность по водороду, л/с: 10 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 4 500
Скорость откачки по парам воды, л/с: 16 000
Время охлаждения, мин: 130
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GENW25L
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Скорость откачки по парам воды, л/с: 7 000
Время охлаждения, мин: 120
Производительность по азоту, л/с: 340
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-250/2300E на магнитном подшипнике с контроллером ISO-K 250
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 2300
Предельное остаточное давление, мбар: 2х10^-8
Время выхода на режим, мин: 11
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 75
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: 2
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-200/1400E на магнитном подшипнике с контроллером CF 200
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 1280
Предельное остаточное давление, мбар: 8х10^-9
Время выхода на режим, мин: 6
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN50S
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 10 000
Производительность по водороду, л/с: 18 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 9 000
Скорость откачки по парам воды, л/с: 26 000
Время охлаждения, мин: 180
Производительность по азоту, л/с: 900
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Производительность по азоту, л/с: 1300
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Производительность по азоту, л/с: 900
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5