Сухие вакуумные насосы ERSTVAK EV-MR

Описание Серия сухих насосов EV-MR имеют новую интегрированную структуру «Рутс», которая обладает такими преимуществами, как широкий диапа...

Получить консультацию по Сухие вакуумные насосы ERSTVAK EV-MR

Оставьте контактный номер и с вами свяжется наш инженер Нажимая кнопку, я соглашаюсь с условиями Политики обработки данных

Описание серии

Описание

Серия сухих насосов EV-MR имеют новую интегрированную структуру «Рутс», которая обладает такими преимуществами, как широкий диапазон регулирования азота и температуры, высокая коррозионная стойкость и низкое энергопотребление. Серия EV-MR представлена как новейшая разработка для суровых условий работы в полупроводниковой промышленности.

Применения

Процесс травления оксида
Процесс травления кремния
Металлическое травление

Модель	EV-MR200	EV-MR600	EV-MR1200
Макс. скорость откачки, м³/ч	210	610	1050
Предельный вакуум, мбар	0.005	0.005	0.005
Входной диаметр	ISO63	ISO100	ISO100
Выходной диаметр	NW25	NW25	NW25
Напряжение источника питания, В	208/380	208/380	208/380
Номинальная мощность, кВт	1.9	3.8	3.8
Рабочая мощность, кВт	0.7	1.1	1.3
Расход охлаждающей жидкости, л/мин	1.9	2.1	2.1
Поток газа продувки N2, ст. л/мин	20~40	20~90	20~90
Разъем источника питания	HAN 40A	HAN 40A	HAN 40A
Масса, кг	140	250	250
Шум, дБ (А)	<63	<63	<63
Габариты (ДхШхВ), мм	695x290x434	695x290x706	695x290x706