Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Масса, кг: 250
Предельный вакуум, мбар: 0.005
Максимальная скорость откачки, м³/ч: 1050
Описание
Серия сухих насосов EV-MR имеют новую интегрированную структуру «Рутс», которая обладает такими преимуществами, как широкий диапазон регулирования азота и температуры, высокая коррозионная стойкость и низкое энергопотребление. Серия EV-MR представлена как новейшая разработка для суровых условий работы в полупроводниковой промышленности.
Применения
- Процесс травления оксида
- Процесс травления кремния
- Металлическое травление
|
Модель |
EV-MR200 |
EV-MR600 |
EV-MR1200 |
|
Макс. скорость откачки, м3/ч |
210 |
610 |
1050 |
|
Предельный вакуум, мбар |
0.005 |
0.005 |
0.005 |
|
Входной диаметр |
ISO63 |
ISO100 |
ISO100 |
|
Выходной диаметр |
NW25 |
NW25 |
NW25 |
|
Напряжение источника питания, В |
208/380 |
208/380 |
208/380 |
|
Номинальная мощность, кВт |
1.9 |
3.8 |
3.8 |
|
Рабочая мощность, кВт |
0.7 |
1.1 |
1.3 |
|
Расход охлаждающей жидкости, л/мин |
1.9 |
2.1 |
2.1 |
|
Поток газа продувки N2, ст. л/мин |
20~40 |
20~90 |
20~90 |
|
Разъем источника питания |
HAN 40A |
HAN 40A |
HAN 40A |
|
Масса, кг |
140 |
250 |
250 |
|
Шум, дБ (А) |
<63 |
<63 |
<63 |
|
Габариты (ДхШхВ), мм |
695x290x434 |
695x290x706 |
695x290x706 |