Вакуумный ввод для датчиков INFICON QCM

INFICON предлагает множество вакуумных вводов для датчиков Quartz Crystal Monitor (QCM), которые подходят для многих видов датчиков и камер. Отверстия под болты CF40 (2,75 дюйма, ConFlat) и 2,54 см (1 дюйм) доступны с различными комбинациями электрических соединений, водяного охлаждения и воздушных трубок. Вакуумный ввод INFICON также может быть оснащен компрессионными фитингами с уплотнительным кольцом Ultra-Torr для упрощения установки и регулировки длины датчика. Другие виды вакуумных вводов могут быть доступны по запросу (KF40 и т. д.).

Если не указано иное, стандартное сквозное электрическое соединение состоит из коаксиального разъема BNC со стороны атмосферы и разъема Microdot со стороны вакуума. Этот тип электрического подключения предназначен для использования со следующими датчиками INFICON: Датчик с загрузкой спереди, Двойной датчик с загрузкой спереди, Датчик распыления, CrystalSix, и Crystal 12.

Примечание: водяные и воздушные трубки имеют внешний диаметр 4,8 мм (3/16 дюйма).

В следующей таблице приведены краткие справочные сведения о требованиях к вакуумным вводам и номерам деталей в зависимости от типа датчика.

• Доступны варианты с болтом 2,54 см (1 дюйм) или CF40 (2,75 дюйма ConFlat)
• Доступные компрессионные фитинги с уплотнительным кольцом Ultra-Torr
• Доступны индивидуальные конфигурации вакуумного ввода
• Другие варианты вакуумных вводов доступны по запросу
• Держатель кристалла с фронтальной загрузкой
• Простая установка
• Доступен проходным отверстием под болт 2,54 см (1 дюйм)/проходным отверстием CF40
• Регулируемая длина при заказе с компрессионными фитингами
• Доступны комбинации датчика/прохода, приваренные к длине, указанной заказчиком
• При заказе с компрессионными фитингами и приваркой к проходному патрубку пайка не требуется