По типу
Сеточный ионный источник Kaufman & Robinson KDC160
Тип: Сеточный
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Рабочие газы:
Инертные, Активные, Смеси
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Типовые процессы: PC, SM, IBAD, IBE, IBSD
Высота ионного источника: 9.92"
Диаметр ионного источника: 9.1"
Сеточный ионный источник Kaufman & Robinson KDC100
Тип: Сеточный
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Рабочие газы:
Инертные, Активные, Смеси
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Типовые процессы: PC, SM, IBAD, IBE, IBSD
Высота ионного источника: 9.25"
Диаметр ионного источника: 7.6"
Сеточный ионный источник Kaufman & Robinson KDC75
Тип: Сеточный
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Рабочие газы:
Инертные, Активные, Смеси
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Типовые процессы: PC, SM, IBAD, IBE, IBSD
Высота ионного источника: 7.9"
Диаметр ионного источника: 5.5"
Сеточный ионный источник Kaufman & Robinson KDC40
Тип: Сеточный
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Рабочие газы:
Инертные, Активные, Смеси
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Типовые процессы: PC, SM, IBAD, IBE, IBSD
Высота ионного источника: 6.75"
Диаметр ионного источника: 3.5"
Сеточный ионный источник Kaufman & Robinson KDC10
Тип: Сеточный
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Рабочие газы:
Инертные, Активные, Смеси
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Типовые процессы: PC, SM, IBAD, IBE, IBSD
Высота ионного источника: 4.5"
Диаметр ионного источника: 1.52"
Неиммерсионный источник электронов Kaufman & Robinson LFN 2000
Тип: Неиммерсионный
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Рабочие газы:
Инертные, Активные, Смеси
Производитель: Kaufman & Robinson, Inc.
Типовые процессы: PC, SM, IBAD, DD, IBE, IBSD
Типовая энергия электронов, эВ: <50
Регулируемые параметры: Ток эмиссии
