Производитель: Thyracont Vacuum Instruments GmbH
Температура хранения: -40 — +65
Время отклика, мс: 40
Степень защиты: IP40 (IP54)
Производитель: Thyracont Vacuum Instruments GmbH
Температура хранения: -40 — +65
Время отклика, мс: 40
Степень защиты: IP40 (IP54)
Производитель: Thyracont Vacuum Instruments GmbH
Температура хранения: -40 — +65
Время отклика, мс: 40
Степень защиты: IP40 (IP54)
Производитель: Thyracont Vacuum Instruments GmbH
Температура хранения: -40 — +65
Время отклика, мс: 40
Степень защиты: IP40 (IP54)
Производитель: Thyracont Vacuum Instruments GmbH
Температура хранения: -40 — +65
Время отклика, мс: 40
Степень защиты: IP40 (IP54)
Производитель: Thyracont Vacuum Instruments GmbH
Температура хранения: -40 — +65
Время отклика, мс: 40
Степень защиты: IP40 (IP54)
Подробности
Цифровые вакуумметры Thyracont серии VSL – это комбинированный датчик типа Пьезорезистивный / Пирани. Вакуумметр оснащен пьезорезистивным датчиком для измерения атмосферного давления.
Тип вакуумметров VSL измеряет общее давление газа в диапазоне от 1х10-4 до 1200 мбар, а также относительно давление в максимальном диапазоне от -1060 до +360 мбар.
Особенности
-
Два пьезодиафрагменных датчика для контроля откачки и вентиляции камеры; датчик Пирани, измеряющий давление до 1e–4 мбар, контролирует передачу низкого давления между загрузочным шлюзом и технологической камерой, сводя к минимуму количество частиц
-
Выход дифференциального давления для точного запуска функции открытия двери
-
Короткое время отклика до 40 мс
-
Высокая точность, оптимальное разрешение и отличная стабильность
-
Стабильные показания благодаря оптимизированной температурной компенсации
-
Измерения не зависят от типа газа при давлении выше 20 мбар
|
Модель |
VSL53D |
SL54D |
VSL53DL |
VSL54DL |
VSL53E |
VSL54E |
|
Принцип измерения |
Пьезорезистивный / Пирани, в зависимости от типа газа |
|||||
|
Материалы, контактирующие с вакуумом |
Нержавеющая сталь 1.4307, вольфрам, никель, стекло, золото, оксид кремния |
|||||
|
Диапазон измерений |
Абсолютное: 1200 – 1х10^-4 мбар (900 – 1x10^-4 Торр) Относительное: -1060...+340 мбар (-795...+255 Торр) |
|||||
|
Максимальное избыточное абсолютное давление, бар |
4 |
|||||
|
Точность измерения |
Абсолютное: 1200-40 мбар: ±0,3% от полной шкалы, 40-2x10^-3 мбар: ±10% от показания; Относительное: 0.25% от колебаний |
|||||
|
Повторяемость |
1200-40 мбар: ±0,1% от полной шкалы, 40-1x10^-2 мбар: ±2% от показания |
|||||
|
Время отклика, мс |
40 |
|||||
|
Рабочая температура, °C |
+5...60 °C (Profinet +5... +50°C) |
|||||
|
Температура хранения, °C |
-40...+65 °C |
|||||
|
Максимальная температура вакуума, °C |
+125 на фланце |
|||||
|
Электропитание |
20 - 30 В постоянного тока |
|||||
|
Потребляемая мощность, мВт |
3 Вт (доп. 0.8 Вт для реле, ЖКД; доп 1.6 В для Profinet) |
0.8 Вт |
0.8 Вт |
|||
|
Выходной сигнал |
0-10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 1.5 ... 8.58 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка (по умолчанию) кроме EtherCAT, Profinet |
|||||
|
Интерфейс |
RS485: 9.6...115 Кбит/с, 8 бит данных, 1 стоп-бит, без контроля четности, EtherCAT, Profinet |
|||||
|
Электрическое подключение |
RS485/0–10 В: SubD, 15-полюсный, штекер |
RS485/EtherCAT/Profinet: 1xM12 A / 2x M12 D, розетка |
RS485/EtherCAT/Profinet: 1xM12 A / 2x M12 D, розетка |
|||
|
Коммутационные выходы |
2 реле, беспотенциальные, 49 В переменного тока / 2 А или 30 В постоянного тока / 2 А, максимум 60 ВА кроме EtherCAT, Profinet
|
|||||
|
Вакуумное соединение |
DN 16 ISO-KF |
DN 16 CF-F |
DN 16 ISO-KF |
DN 16 CF-F |
DN 16 ISO-KF |
DN 16 CF-F |
|
ЖК-дисплей |
нет |
нет |
да |
да |
нет |
нет |
|
Степень защиты |
IP40 (IP54) |
|||||
|
Габариты |
99 x 69 x 48 мм (версия с DN 16 KF) |
|||||
|
Масса, г |
195 |
|
195 |
|
195 |
|