Комбинированный вакуумметр THYRACONT VSH87D

Производитель

Thyracont Vacuum Instruments GmbH

Рабочая температура, °С

+5 — +60 (Profinet +5 — +50)

Температура хранения

-40 — +65

Время отклика, мс

<50 мс на подключение тока эмиссии БА

Степень защиты

IP54

Выходной сигнал

0–10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 1.219 — 8.6 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка., кроме EtherCAT, Profinet

Принцип измерения

Пирани / Байярда-Альперта, зависимый от типа газа

Электрическое подключение

SubD 15-полюсн, вилка, с фиксацией RS485/EtherCAT/Profinet: 1xM12 A / 2x M12 D, розетка

Потребляемая мощность

2.5 Вт (0.8 Вт доп., реле, ЖКД)

Материалы, контактирующие с вакуумом

оксид иттрия

Диапазон измерений

1000 — 5x10^-10 мбар (750 — 5x10^-10 торр)

Максимальное избыточное абсолютное давление, бар

4

Точность измерения

10 — 1 × 10^(-8) мбар: <10% от показания

Повторяемость

5% (1x10^-2 — 1x10^-8 мбар)

Ток эмиссии

Автоматическое переключение 9 µA, 100 µA, 1 мА, 2 мА

Нить накаливания Байярда-Альперта

Иридий, покрытый иттрием

Дегазация

Нагрев анода электрическим током

Максимальная температура вакуума, °C

180 на фланце (гальванически развязан с электронными компонентами)

Интерфейс

RS485: 9.6 — 115 Кбит/с, 8 бит данных, 1 стоп-бит, без контроля четности, EtherCAT, Profinet

Коммутационные выходы

2 реле, беспотенциальные, 49 В AC / 2 А или 30 В DC / 2 А, максимум 60 ВА кроме EtherCAT, Profinet

Вакуумное соединение

DN 25 ISO-KF

ЖК-дисплей

нет

Масса, г

475

Скорость снятия показаний, с

IP54

Мин. напряжение питания (постоянный ток), В

20

Макс. напряжение питания (постоянный ток), В

30