Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6

Производитель

ERSTVAK

Серия

EV-PLASMA-L

Напряжение питания, В

220

Страна

Российская Федерация

Вакуумметр

SMC

Скорость откачки, м³/ч

16

Дисплей

7"

Программное обеспечение

Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная

Внешние габариты (Д×Ш×В), мм

755 × 825 × 1550

Частота, МГц

13.56, твердотельный радиочастотный источник питания

Режим разрядки

ICP

Производительность, л

15

Электрод

1 кварцевый лоток для образца

Габариты камеры, мм

Ø250 × 300

Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм

245 × 295

Слои для обработки

1

Расстояние между монослоями, мм

120 — 240

Регулятор расхода газа

Высокоточный поплавковый игольчатый клапан

Интенсивность потока, мл

0 — 500

Газовый канал

2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).

Вакуумная линия

Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан

Размер воздушной трубки, мм

Ø6

Частота газа

99.999%

Выхлопное отверстие

KF25

Минимальное давление газа, МПа

0.3

Максимальное давление газа, МПа

0.6

Программируемый логический контроллер

Mitsubishi

Предельный вакуум, Па

1

Материал камеры

Кварц

Мощность, Вт

500

Масса, кг

300