Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 75
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: 2
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-320/3001E
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 2950
Время выхода на режим, мин: 9
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN25SH
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 2500
Производительность по водороду, л/с: 3900
Скорость откачки по аргону, л/с: 2000
Скорость откачки по парам воды, л/с: 7000
Время охлаждения, мин: 75
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-160/700FE 160 CF
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 700
Предельное остаточное давление, мбар: 8x10^-10
Время выхода на режим, мин: 7
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN50SH
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 10 000
Производительность по водороду, л/с: 13 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 8 400
Скорость откачки по парам воды, л/с: 30 000
Время охлаждения, мин: 170
Производительность по азоту, л/с: 340
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-320/3000 на магнитном подшипнике с контроллером ISO-F 320
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 5х10^-9
Время выхода на режим, мин: 12
Турбомолекулярный насос с контроллером KYKY F-400/3600E ISO-K 400
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 3600
Предельное остаточное давление, мбар: 6x10^-8
Время выхода на режим, мин: <15,5