Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 75
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: 2
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN50P
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 12 000
Производительность по водороду, л/с: 20 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 10 000
Скорость откачки по парам воды, л/с: 29 000
Время охлаждения, мин: 150
Производительность по азоту, л/с: 340
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3
Производительность по азоту, л/с: 900
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-250/1600G DN 250 ISO-K водяное охлаждение (противоудар)
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 1600
Предельное остаточное давление, мбар: 6x10^-8
Время выхода на режим, мин: <9
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-250/1500E DN 250 ISO-K водяное охлаждение
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 1500
Предельное остаточное давление, мбар: 6x10^-8
Время выхода на режим, мин: <8
Диффузионный вакуумный насос ERSTEVAK EVD 1200
Тип:
Диффузионный
Производитель:
ERSTEVAK Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 60000
Предельное остаточное давление, мбар: 5*10^-7
Мощность нагревателя, кВт: 30
Производительность по азоту, л/с: 400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3
Производительность по азоту, л/с: 400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3