Производительность по азоту, л/с: 340
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3
Производительность по азоту, л/с: 340
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3
Магниторазрядный ионно-геттерный вакуумный насос KYKY 3L-400C
Тип:
Магниторазрядный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Предельное остаточное давление, мбар: 1*10(-8)
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN90S
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 34 000
Производительность по водороду, л/с: 60 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 28 000
Скорость откачки по парам воды, л/с: 90 000
Время охлаждения, мин: 160
Турбомолекулярный вакуумный насос без контроллера KYKY FF-200/1300E ISO-K 200
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 1300
Предельное остаточное давление, мбар: 6x10^-8
Время выхода на режим, мин: <6
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 75
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: 2
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN50PH
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 10 000
Производительность по водороду, л/с: 13 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 8 400
Скорость откачки по парам воды, л/с: 30 000
Время охлаждения, мин: 150