Производительность по азоту, л/с: 1300
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-320/3001E
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 2950
Время выхода на режим, мин: 9
Магниторазрядный ионно-геттерный вакуумный насос KYKY 3L-25
Тип:
Магниторазрядный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 1300
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GENW40A
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Скорость откачки по парам воды, л/с: 10 000
Время охлаждения, мин: 30
Производительность по азоту, л/с: 340
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3