Производительность по азоту, л/с: 400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 75
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: 2
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN30SH
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 4000
Производительность по водороду, л/с: 7000
Скорость откачки по аргону, л/с: 3500
Скорость откачки по парам воды, л/с: 10000
Время охлаждения, мин: 75
Производительность по азоту, л/с: 400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-200/1300FE 200 CF (воздушное охлаждение)
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 1300
Предельное остаточное давление, мбар: 6x10^-8
Время выхода на режим, мин: 9
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 820
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-8
Время выхода на режим, мин: 7
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN32SH
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 4 000
Производительность по водороду, л/с: 8 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 3 600
Скорость откачки по парам воды, л/с: 11 000
Время охлаждения, мин: 80