Top.Mail.Ru
Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I10 купить по цене производителя
Оборудование
Оборудование

Промышленная система плазменной обработки ERSTEVAK EV-PLASMA-I10

Характеристики

  • Предельный вакуум, Па
    2
  • Вакуумметр
    Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг
    500
  • Скорость откачки, м³/ч
    Насос Рутса + 60
  • Мощность, Вт
    1200
  • Электропитание
    380 В переменного тока, 50/60 Гц (трехфазная система, 100A)
  • Материал камеры
    Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
  • Дисплей
    7"
  • Программное обеспечение
    Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная
  • Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
    1300 × 1190 × 1790
  • Частота, МГц
    13.56, твердотельный радиочастотный источник питания
  • Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
    Автоматическое согласование полных сопротивлений
  • Режим разрядки
    CCP, RIE
  • Производительность, л
    165
  • Электрод
    Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
  • Габариты камеры, мм
    500 × 600 × 500
  • Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
    508 × 520
  • Слои для обработки
    8
  • Расстояние между монослоями, мм
    51
  • Регулятор расхода газа
    Регулятор массового расхода (MFC
  • Интенсивность потока, мл
    0 — 500
  • Газовый канал
    2 канала (Опционально — 3 / 4 / 5 / 6) (поддерживается различный технологический газ, такой как кислород, аргон, водород, азот и др.).
  • Программируемый логический контроллер
    Panasonic
  • Частота газа
    99.999%
  • Давление газа, МПа
    0.6 — 0.8
  • Выхлопное отверстие
    KF40

Другие товары из серии EV-PLASMA-I

Смотрите также

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время!
Введите символы с картинки*
WhatsApp