Приходите на выставку «Нефтегаз-2026», 2-5 марта Подробнее →

Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I10

На этой странице мы поможем подобрать оборудование для решения вашей задачи или проблемы с минимальными сроками и максимальной вовлеченностью с нашей стороны

  • В наличии

product-card

Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I10
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I10
Описание
Характеристики

Описание товара отсутствует

Производитель
ERSTVAK Ltd.
Предельный вакуум, Па
2
Вакуумметр
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Скорость откачки, м³/ч
Насос Рутса + 60
Мощность, Вт
1200
Электропитание, фаза
3
Электропитание
AC 380 В, 50/60 Гц (100A)
Материал камеры
Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
Дисплей
7"
Программное обеспечение
Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
1300 × 1190 × 1790
Частота, МГц
13.56, твердотельный радиочастотный источник питания
Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
Автоматическое согласование полных сопротивлений
Режим разрядки
RIE
Производительность, л
165
Электрод
Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
Габариты камеры, мм
500 × 600 × 500
Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
508 × 520
Слои для обработки
8
Расстояние между монослоями, мм
51
Регулятор расхода газа
Регулятор массового расхода (MFC
Интенсивность потока, мл
0 — 500
Газовый канал
2 канала (Опционально — 3 / 4 / 5 / 6) (поддерживается различный технологический газ, такой как кислород, аргон, водород, азот и др.).
Программируемый логический контроллер
Panasonic
Частота газа
99.999%
Выхлопное отверстие
KF40
Минимальное давление газа, МПа
0.6
Максимальное давление газа, МПа
0.8
Масса, кг
500

Товары из этой же серии

Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 50
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 55
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 600
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC (По запросу — Пирани)
  • Масса, кг: 60
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 200
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 65
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
  • Масса, кг: 300
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 500
В корзину
1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Предельный вакуум, Па: 1
  • Вакуумметр: SMC
  • Масса, кг: 80
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Мощность, Вт: 300
В корзину
1

Не забудьте купить

Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN40S
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN40S
  • Производитель: Cryo H&I
  • Производительность по азоту, л/с: 5000
  • Производительность по водороду, л/с: 10000
  • Скорость откачки по аргону, л/с: 4500
  • Время охлаждения, мин: 160
  • Масса, кг: 60
В корзину
1
Промышленный чиллер с воздушным охлаждением ERSTVAK FRIONA ASW 60
Промышленный чиллер с воздушным охлаждением ERSTVAK FRIONA ASW 60
  • Режим работы: Охлаждение
  • Хладагент: R407C
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Присоединительный размер: DN80
  • Напряжение питания, В: 380
  • Масса, кг: 1560
В корзину
1
Климатическая камера тепла-холода-влаги ERSTVAK EVCLIM-КТХВ-250U
Климатическая камера тепла-холода-влаги ERSTVAK EVCLIM-КТХВ-250U
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Исполнение: моноблочное
  • Тип конструкции: холодильный модуль и электрический шкаф расположены на раме позади камеры, контроллер находится на двери камеры
  • Датчик температуры: Pt100
  • Электропитание: AC 380 В, 50 Гц, 8 кВт, 16 А, 3 фазы + земля + нейтраль
  • Габаритные размеры (ШхГхВ), мм: 850 × 1500 × 1875
В корзину
1
Клапан электромагнитный угловой ERSTVAK EMW-25E-220V нормально закрытый
Клапан электромагнитный угловой ERSTVAK EMW-25E-220V нормально закрытый
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Фланцевое соединение: KF25
  • Материал корпуса: Алюминий
  • Количество циклов до первого обслуживания: 20000
  • Соленоид: 220В
  • Уровень течи: Не более 1,3*10^-7
В корзину
1
Вихревая воздуходувка FPZ SCL K09 TD 15 kW
Вихревая воздуходувка FPZ SCL K09 TD 15 kW
  • Режим работы: Универсальная
  • Мощность электродвигателя, кВт: 15
  • Артикул: SK09TD00+0031
  • Производитель: FPZ S.p.A.
  • Краткое название: Воздуходувка FPZ SCL K09 TD 15 kW
  • Разрежение, мбар: 450
В корзину
1
Электродинамический вибростенд настольного исполнения PIV TSM-050
Электродинамический вибростенд настольного исполнения PIV TSM-050
  • Габаритные размеры, мм: 480 × 460 × 135
  • Производитель: PIV
  • Диаметр арматуры, мм: 95
  • Краткое название: Вибростенд настольного исполнения PIV TSM-050
  • Электропитание: AC 220 В ±10%, 1300 Вт
  • Максимальная нагрузка, кг: 3
В корзину
1
Цифровой аналоговый емкостный датчик THYRACONT VCС200MA4
Цифровой аналоговый емкостный датчик THYRACONT VCС200MA4
  • Производитель: Thyracont Vacuum Instruments GmbH
  • Температура хранения: -40 — +70
  • Время отклика, мс: 120
  • Степень защиты: IP54
  • Выходной сигнал: 4 — 20 мА, линейный
  • Принцип измерения: Емкостный, абсолютное давление, независимое от типа газа
В корзину
1
Высоковакуумный затвор KIng Lai AGP-HV-CF800M
Высоковакуумный затвор KIng Lai AGP-HV-CF800M
  • Производитель: King Lai
  • Модель: AGP-HV-CF800M
  • Длина, мм: 746
  • Размер фланца: DN160
  • Назначение: Промышленный
  • Внутренний диаметр, мм: 181
В корзину
1
Смотровое окно KING LAI VP-KD-ISOK-100-O (борсиликат)
Смотровое окно KING LAI VP-KD-ISOK-100-O (борсиликат)
  • Производитель: King Lai
  • Фланцевое соединение: ISO-K 100
  • Тип соединения: ISOK
  • Размер A, мм: 130
  • Размер B, мм: 16
  • Материал стекла: борсиликат
В корзину
1
Куб 6-фланцевый King Lai CF-6CU-133M
Куб 6-фланцевый King Lai CF-6CU-133M
  • Производитель: King Lai
  • Картинка webp: /upload/iblock/armatura/webp/IMG_2908.webp
  • Размер A, мм: 17
  • Размер B, мм: 15.75
В корзину
1

Вы смотрели

Токарный обрабатывающий центр с осью Y ETHI 585-500MY
Токарный обрабатывающий центр с осью Y ETHI 585-500MY
  • Габариты (ДхШхВ), мм: 2355 × 2355 × 1710
  • Ход по оси X, мм: 175
  • Ход по оси Y, мм: 70
  • Ход по оси Z, мм: 500
  • Мощность двигателя шпинделя, кВт: 9.8/13
  • Крутящий момент шпинделя, Нм: 62/83
В корзину
1
Система испытаний на высокоинтенсивные ударные воздействия CME KRD16-2
Система испытаний на высокоинтенсивные ударные воздействия CME KRD16-2
  • Производитель: CME Technology Co., Ltd.
  • Длина, мм: 3650
  • Ширина, мм: 3300
  • Высота, мм: 3200
  • Мощность, кВт: 20
  • Масса, кг: 15000
В корзину
1
Токарный обрабатывающий центр с осью Y ETHI 626-825MY
Токарный обрабатывающий центр с осью Y ETHI 626-825MY
  • Габариты (ДхШхВ), мм: 4355 × 2085 × 1980
  • Ход по оси X, мм: 225
  • Ход по оси Y, мм: 100
  • Ход по оси Z, мм: 825
  • Мощность двигателя шпинделя, кВт: 16.5/22
  • Крутящий момент шпинделя, Нм: 105/140
В корзину
1
Цилиндрическая мановакуумная камера ERSTVAK CYL-9L
Цилиндрическая мановакуумная камера ERSTVAK CYL-9L
  • Габаритные размеры, мм: 219x250
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Масса, кг: 12
  • Краткое название: Мановакуумная камера ERSTVAK CYL-9L
  • Объем камеры, л: 9
  • Предельный вакуум, мбар: 10
В корзину
1
Мобильный гелиевый течеискатель (сухой) INFICON UL3000 Fab ULTRA
Мобильный гелиевый течеискатель (сухой) INFICON UL3000 Fab ULTRA
  • Артикул: 550-260
  • Габаритные размеры, мм: 1050х472х987
  • Производитель: INFICON
  • Максимальное рабочее давление, мбар: 2
  • Мин. определяемая течь - вакуумный режим, мбар·л/с: 5*10(-12)
  • Мин. определяемая течь - режим щупа, мбар·л/с: 5*10(-8)
В корзину
1
Климатическая камера солнечной радиации ERSTVAK EVCLIM-КСР-3500
Климатическая камера солнечной радиации ERSTVAK EVCLIM-КСР-3500
  • Артикул: EVCLIM-КСР-3500
  • Диапазон влажности, %: С излучением: 10 — 80 (+15 — +80°С)
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Мощность, кВт: 30
  • Диапазон температур, °C: С излучением: -20 — +90
  • Краткое название: Камера солнечной радиации ERSTVAK EVCLIM-КСР-3500
В корзину
1
Квадрупольный масс-спектрометр высокого давления HIDEN HMT 100 RC
Квадрупольный масс-спектрометр высокого давления HIDEN HMT 100 RC
  • Артикул: 151100
  • Производитель: Hiden Analytical Ltd.
  • Максимальное рабочее давление, мбар: 5
  • Тип детектора: Цилиндр Фарадея (FC)
  • Диапазон регистрируемых масс, а.е.м.: 100
  • Минимальное детектируемое парциальное давление, мбар: 5 × 10⁻⁸ (в режиме технологического давления)
В корзину
1
Цилиндрическая мановакуумная камера ERSTVAK CYL-17L
Цилиндрическая мановакуумная камера ERSTVAK CYL-17L
  • Габаритные размеры, мм: 263x300
  • Производитель: ERSTVAK Ltd.
  • Масса, кг: 22
  • Краткое название: Мановакуумная камера ERSTVAK CYL-17L
  • Объем камеры, л: 17
  • Предельный вакуум, мбар: 1
В корзину
1
Универсальный газовый анализатор (упрощенная версия) SRS ULT100
Универсальный газовый анализатор (упрощенная версия) SRS ULT100
  • Производитель: Stanford Research Systems
  • Длина, мм: 688
  • Ширина, мм: 305
  • Высота, мм: 279
  • Насос высокого давления: Гибридный турбомолекулярный насос
  • Масса, кг: 38.6
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!