Производительность по азоту, л/с: 400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3
Производительность по азоту, л/с: 12000
Предельное остаточное давление, мбар: 7*10^-7
Мощность нагревателя, кВт: 7.2
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN50S
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 10 000
Производительность по водороду, л/с: 18 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 9 000
Скорость откачки по парам воды, л/с: 26 000
Время охлаждения, мин: 180
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-100/110Е DN100ISO-K
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 110
Предельное остаточное давление, мбар: 9x10^-8
Время выхода на режим, мин: 3
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN50P
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 12 000
Производительность по водороду, л/с: 20 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 10 000
Скорость откачки по парам воды, л/с: 29 000
Время охлаждения, мин: 150
Производительность по азоту, л/с: 2400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5