Производительность по азоту, л/с: 1300
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-320/3001 на магнитном подшипнике со встроенным контроллером
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 3200
Предельное остаточное давление, мбар: 5х10^-9
Время выхода на режим, мин: 12
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN40P
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 6 000
Производительность по водороду, л/с: 12 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 5 400
Скорость откачки по парам воды, л/с: 18 000
Время охлаждения, мин: 130
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-320/3002E
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 3260
Время выхода на режим, мин: 10
Производительность по азоту, л/с: 400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN30SH
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 4000
Производительность по водороду, л/с: 7000
Скорость откачки по аргону, л/с: 3500
Скорость откачки по парам воды, л/с: 10000
Время охлаждения, мин: 75
Производительность по азоту, л/с: 400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3