Производительность по азоту, л/с: 2400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Турбомолекулярный вакуумный насос с контроллером KYKY FF-63/80E DN63 ISO-K
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 82
Предельное остаточное давление, мбар: 5x10^-9
Время выхода на режим, мин: 2
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GENW25L
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Скорость откачки по парам воды, л/с: 7 000
Время охлаждения, мин: 120
Производительность по азоту, л/с: 400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GENW40A
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Скорость откачки по парам воды, л/с: 10 000
Время охлаждения, мин: 30